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TiO2/Ag/TiO2 다층박막 구조를 갖는 플렉시블 투명 전극 및 그 제조방법(Transparent electrode with TiO2/Ag/TiO2 multilayered structure and method for preparing the same)

  • 기술번호 : KST2017005360
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 TiO2/Ag/TiO2 다층박막 구조를 갖는 플렉시블 투명 전극에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, Ag 금속층; 및 상기 Ag 금속층의 상면 및 하면에 각각 적층된 TiO2층을 포함하는 플렉시블 투명 전극으로서, 상기 Ag 금속층의 두께는 11 nm 내지 25 nm이며, 상기 TiO2층의 두께는 20 nm 내지 80 nm인 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명 전극에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 종래 ITO 전극에 비견할 만한 높은 투과도를 지니면서도, 낮은 면저항값을 갖고, 상온 증착 공정에 의해서 제조되어 고온 열처리가 필요 없이 폴리머 기판에 그대로 제조가 가능한 플렉시블 투명전극을 제공할 수 있다.
Int. CL H01B 5/00 (2006.01.01) B32B 15/04 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/18 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01) H01L 33/40 (2010.01.01)
CPC H01B 5/00(2013.01) H01B 5/00(2013.01) H01B 5/00(2013.01) H01B 5/00(2013.01) H01B 5/00(2013.01) H01B 5/00(2013.01)
출원번호/일자 1020150120150 (2015.08.26)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0024751 (2017.03.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.08.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김준호 대한민국 서울특별시 성북구
2 성태연 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0828044-17
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0528589-53
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0245910-94
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0533463-62
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0639967-13
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0757419-50
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0862899-82
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0862898-36
9 등록결정서
Decision to grant		 2017.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0902398-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
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번호 청구항
1 1
Ag 금속층; 및상기 Ag 금속층의 상면 및 하면에 각각 적층된 TiO2층을 포함하는 플렉시블 투명 전극으로서, 상기 Ag 금속층의 두께는 19 nm이며,상기 TiO2층의 두께는 40 nm이고,600 ~ 700 ㎚의 가시광선 파장대역에서 90% 이상의 광투과도를 갖고, 10 Ω/sq
2 2
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3 3
삭제
4 4
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5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 Ag 금속층 및 상기 TiO2층은 폴리에테르술폰, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 글라스 재질로 이루어진 군으로부터 선택된 유연성 기판 상에 적층된 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명 전극
7 7
a) 기판 상에 TiO2층을 40 nm의 두께로 형성하는 단계;b) 상기 TiO2층 상에 Ag 금속층을 19 nm의 두께로 형성하는 단계; 및c) 상기 Ag 금속층 상에 다시 TiO2층을 40 nm의 두께로 형성하는 단계를 포함하고,600 ~ 700 ㎚의 가시광선 파장대역에서 90% 이상의 광투과도를 갖고, 10 Ω/sq
8 8
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9 9
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10 10
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11 11
제7항에 있어서,상기 a) 내지 c) 단계는 스퍼터링법, 전자빔 증착법 및 연속 증발 증착법으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 공정에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명 전극의 제조방법
12 12
제7항에 있어서,상기 a) 내지 c) 단계는 회분식 공정에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명 전극의 제조방법
13 13
제1항 또는 제6항에 따른 플렉시블 투명 전극을 포함하는 태양전지
14 14
제1항 또는 제6항에 따른 플렉시블 투명 전극을 포함하는 발광 다이오드
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1 WO2017034078 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2017034078 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 덕산하이메탈(주) 벤처형전문소재기술개발사업 OLED조명을 위한 flexible 기판용 광추출 효율이 2.0배 향상된 flexible 전도성 광추출 기판 기술 개발
2 중소기업청 덕산하이메탈(주) WC300 프로젝트 RandD 기술개발지원사업 자동차용 디자인프리 OLED 조명을 위한 100lm/W 효율 구현이 가능한 일체형 리버스-전사 공정기술 기반의 투명 전도성 광전 복합기판 소재 및 공정 기술 개발