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전자현미경용 형광검출기 장치로,상기 형광검출기 장치는, 시료를 투과한 전자빔 축 상에서 제1 회절각 범위 내에 원형으로 배치되고 전자빔이 입사하여 제1 색상의 광을 방출하는 명시야 형광검출기;상기 명시야 형광검출기와 동일 평면상에 상기 명시야 형광검출기를 둘러싸는 고리 형상으로 배치되되, 상기 전자빔 축 상에서 제1 회절각과 제2 회절각 사이에 위치하며, 전자빔이 입사하여 제2 색상의 광을 방출하는 암시야 형광검출기;상기 명시야 형광검출기와 암시야 형광검출기에 접하며, 상기 제1 색상의 광 및 상기 제2 색상의 광이 혼합된 혼합광을 가이드하는 광 가이드부; 상기 광 가이드부를 통과한 상기 혼합광을 제1 색상의 광 및 제2 색상의 광으로 분리하는 광 분리부; 상기 광 분리부를 통과한 상기 제1 색상 광 및 상기 제2 색상 광을 각각 검출하는 광검출기; 및 상기 광검출기에서 검출된 광을 영상화하는 제어부를 포함하고,상기 명시야 형광검출기와 상기 암시야 형광검출기는 상기 광 가이드부를 향한 방향으로 광을 방출하고,상기 광 가이드부는 입사된 광을 전반사하여 상기 광 분리부로 전달하며,상기 암시야 형광검출기는 저각도 암시야(LAADF, Low-Angle Annular Dark Field Image) 형광검출기 및 고각도 암시야(HAADF, High-Angle Annular Dark Field Image) 형광검출기를 포함하고,상기 저각도 암시야 형광검출기는 상기 제1 회절각과 제3 회절각 사이에 위치하며, 전자빔이 입사하여 제2-1 색상의 광을 방출하고,상기 고각도 암시야 형광검출기는 상기 제3 회절각과 상기 제2 회절각 사이에 위치하며, 전자빔이 입사하여 제2-2 색상의 광을 방출하고,상기 제3 회절각은 상기 제1 회절각과 상기 제2 회절각 사이 값인, 전자현미경용 형광검출기 장치
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