| 1 |
1
전자현미경용 형광검출기 장치로,상기 형광검출기 장치는, 시료를 투과한 전자빔 축 상에서 제1 회절각 범위 내에 원형으로 배치되고 전자빔이 입사하여 제1 색상의 광을 방출하는 명시야 형광검출기;상기 명시야 형광검출기와 동일 평면상에 상기 명시야 형광검출기를 둘러싸는 고리 형상으로 배치되되, 상기 전자빔 축 상에서 제1 회절각과 제2 회절각 사이에 위치하며, 전자빔이 입사하여 제2 색상의 광을 방출하는 암시야 형광검출기;상기 명시야 형광검출기와 암시야 형광검출기에 접하며, 상기 제1 색상의 광 및 상기 제2 색상의 광이 혼합된 혼합광을 가이드하는 광 가이드부; 상기 광 가이드부를 통과한 상기 혼합광을 제1 색상의 광 및 제2 색상의 광으로 분리하는 광 분리부; 상기 광 분리부를 통과한 상기 제1 색상 광 및 상기 제2 색상 광을 각각 검출하는 광검출기; 및 상기 광검출기에서 검출된 광을 영상화하는 제어부를 포함하고,상기 명시야 형광검출기와 상기 암시야 형광검출기는 상기 광 가이드부를 향한 방향으로 광을 방출하고,상기 광 가이드부는 입사된 광을 전반사하여 상기 광 분리부로 전달하는, 전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 암시야 형광검출기는 저각도 암시야(LAADF, Low-Angle Annular Dark Field Image) 형광검출기 및 고각도 암시야(HAADF, High-Angle Annular Dark Field Image) 형광검출기를 포함하고,상기 저각도 암시야 형광검출기는 상기 제1 회절각과 제3 회절각 사이에 위치하며, 전자빔이 입사하여 제2-1 색상의 광을 방출하고,상기 고각도 암시야 형광검출기는 상기 제3 회절각과 상기 제2 회절각 사이에 위치하며, 전자빔이 입사하여 제2-2 색상의 광을 방출하고,상기 제3 회절각은 상기 제1 회절각과 상기 제2 회절각 사이 값인,전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 광 분리부는 분광기(프리즘)이고,상기 분광기를 통과한 복수개의 단색광을 시간 또는 공간으로 분리하여 상기 광검출기로 전송하는,전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서, 상기 광 분리부는 단색광 여과기(광 필터)이고,상기 단색광 여과기를 통과한 단색광을 상기 광검출기로 전송하는,전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 5 |
5
형광검출기 장치로,상기 형광검출기 장치는, 사각형으로, 길이가 긴 한 변의 중심이 시료를 투과한 전자빔 축과 접하고, 전자빔이 입사하여 제3 색상의 광을 방출하는 제3 형광검출기;상기 제3 형광검출기와 동일한 크기의 사각형으로, 상기 전자빔 축을 중심으로 상기 제3 형광검출기와 대칭으로 배치되고, 전자빔이 입사하여 제4 색상의 광을 방출하는 제4 형광검출기;상기 제3 형광검출기와 제4 형광검출기에 접하여 광을 가이드하는 광 가이드부; 상기 광 가이드부를 통과한 광을 단색광으로 분리하는 광 분리부; 상기 광 분리부를 통과한 단색광을 검출하는 광검출기; 및상기 광검출기에서 검출된 광을 영상화하는 제어부를 포함하고,상기 제3 형광검출기와 상기 제4 형광검출기는 상기 광 가이드부를 향한 방향으로 광을 방출하고,상기 제어부는 상기 제3 색상과 상기 제4 색상의 영상을 결합하여 입체영상을 구현하는, 전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서,상기 제3 형광검출기는 상기 한 변의 중심을 경계로 동일한 크기의 정사각형인 제3-1 형광검출기와 제3-2 형광검출기로 구성되고, 전자빔이 입사하여 각각 제3-1 색상과 제3-2 색상의 광을 방출하고,상기 제4 형광검출기는 상기 제3-1 형광검출기와 동일한 크기의 정사각형으로 상기 전자빔 축을 중심으로 상기 제3-1 형광검출기와 접하는 제4-1 형광검출기 및 상기 제3-2 형광검출기와 동일한 크기의 정사각형으로 상기 전자빔 축을 중심으로 상기 제3-2 형광검출기와 접하는 제4-2 형광검출기로 구성되며, 전자빔이 입사하여 각각 제4-1 색상과 제4-2 색상의 광을 방출하며,상기 제어부는 상기 제3-1 색상, 제3-2 색상, 제4-1 색상 및 제4-2 색상 중 어느 2개의 영상을 조합하여 입체영상을 구현하는, 전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 7 |
7
제 5항에 있어서, 상기 광 분리부는 분광기(프리즘)이고,상기 분광기를 통과한 복수개의 단색광을 시간 또는 공간으로 분리하여 상기 광검출기로 전송하는,전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 8 |
8
형광검출기 장치로,상기 형광검출기 장치는, 사각형으로, 길이가 긴 한 변의 중심이 시료로 입사하는 전자빔 축과 미리 정한 간격으로 이격하여 위치하고, 상기 입사하는 전자빔의 후방산란 전자가 입사하여 ‘가’번 색상의 광을 방출하는 ‘가’번 형광검출기;상기 ‘가’번 형광검출기와 동일한 크기의 사각형으로, 상기 입사하는 전자빔 축을 중심으로 상기 ‘가’번 형광검출기와 대칭으로 배치되고, 후방산란전자가 입사하여 ‘나’번 색상의 광을 방출하는 ‘나’번 형광검출기;상기 ‘가’번 형광검출기와 ‘나’번 형광검출기에 접하여 광을 가이드하는 광 가이드부; 상기 광 가이드부를 통과한 광을 단색광으로 분리하는 광 분리부; 상기 광 분리부를 통과한 단색광을 검출하는 광검출기; 및상기 광검출기에서 검출된 광을 영상화하는 제어부를 포함하고,상기 ‘가’번 형광검출기와 상기 ‘나’번 형광검출기는 상기 광 가이드부를 향한 방향으로 광을 방출하고,상기 제어부는 상기 ‘가’번 색상과 상기 ‘나’번 색상의 영상을 결합하여 입체영상을 구현하는, 전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서,상기 ‘가’번 형광검출기는 상기 한 변의 중심을 경계로 동일한 크기의 정사각형인 가-1번 형광검출기와 가-2번 형광검출기로 구성되고, 후방산란전자가 입사하여 각각 가-1번 색상과 가-2번 색상의 광을 방출하고,상기 ‘나’번 형광검출기는 상기 가-1번 형광검출기와 동일한 크기의 정사각형으로 상기 전자빔 축을 중심으로 상기 가-1번 형광검출기와 접하는 나-1번 형광검출기 및 상기 가-2번 형광검출기와 동일한 크기의 정사각형으로 상기 전자빔 축을 중심으로 상기 가-2번 형광검출기와 접하는 나-2번 형광검출기로 구성되며, 전자빔이 입사하여 각각 나-1번 색상과 나-2번 색상의 광을 방출하며,상기 제어부는 상기 가-1번 색상, 가-2번 색상, 나-1번 색상 및 나-2번 색상 중 어느 2개의 영상을 조합하여 입체영상을 구현하는, 전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 10 |
10
제 8항에 있어서, 상기 광 분리부는 분광기(프리즘)이고,상기 분광기를 통과한 복수개의 단색광을 시간 또는 공간으로 분리하여 상기 광검출기로 전송하는,전자현미경용 형광검출기 장치
|
| 11 |
11
제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 형광검출기 장치를 포함하는,전자현미경
|
| 12 |
12
제 8항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 형광검출기 장치를 후방산란전자 영상관찰용 검출기로 포함하는,전자현미경
|
| 13 |
13
제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항의 형광검출기 장치를 투과빔 영상관찰용 검출기로 포함하고,제 8항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 형광검출기 장치를 후방산란전자 영상관찰용 검출기로 포함하는,전자현미경
|
