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진행파관기에 적용되는 도파관에 있어서,사각형의 단면을 가지며, 지그재그로 연결된 접혀진 형상의 도파관;과전자빔이 발생되는 전자총;과상기 전자총에서 나온 전자빔이 상기 도파관의 전자파가 입력되는 입력단부터 전자파가 출력되는 출력단까지 일직선으로 이동할 수 있도록 상기 도파관 벽을 일렬로 관통하여 형성된 다수 개의 빔 홀;과상기 진행파관기의 내부 기체가 상기 도파관의 전자파가 입력되는 입력단부터 전자파가 출력되는 출력단까지 일직선으로 이동할 수 있도록 상기 도파관 벽을 일렬로 관통하여 형성된 다수 개의 유동 홀;을 포함하며,다수 개의 상기 유동 홀은 하나의 이동 경로를 형성하며, 같은 이동 경로에 위치한 다수 개의 상기 유동 홀의 직경은 동일하고, 상기 이동 경로는 복수 개 형성되고,상기 유동 홀은 상기 빔 홀과 일정거리 이격되어 형성되며, 상기 빔 홀을 기준으로 대칭되어 형성되며,상기 유동 홀의 직경은 상기 빔 홀의 직경보다 작으며, 상기 유동 홀에 의해 진공도가 달성되는 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제1항에 있어서,상기 도파관의 연결은 U자형으로 주기적으로 교차 배열된 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제2항에 있어서,상기 빔 홀의 반지름은 전자파 주파수 대역에 따라 가변적인 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제3항에 있어서,다수 개의 상기 빔 홀은 하나의 이동 경로를 형성하며, 같은 이동 경로에 위치한 다수 개의 상기 빔 홀의 직경은 동일한 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제4항에 있어서,상기 도파관을 내부에 수용하는 구조체인 하우징은, 직육면체 형상에서 상기 도파관의 상기 입력단 및 상기 출력단과 대응되는 위치에 상기 도파관의 단면과 같은 크기와 형태로 일정 높이 돌출된 상기 도파관이 연장된 구조이며, 상기 돌출된 부분의 끝단면에는 상기 도파관의 단면과 같은 크기의 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제8항에 있어서,상기 하우징에는 상기 빔 홀 및 상기 유동 홀과 대응되는 위치에 상기 빔 홀 및 상기 유동 홀과 같은 직경의 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제9항에 있어서,상기 하우징은 알루미늄 혹은 코발트-크로미움(CrCo) 합금을 이용하여 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제10항에 있어서,상기 도파관은 직접식 금속 레이저 소결(DMLS, Direct Metal Laser Sintering) 공정을 이용하여 제작될 수 있는 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제10항에 있어서,상기 도파관은 리가 공정(LIGA, Lithograpie Galvanofomung Abformung process)을 이용하여 제작될 수 있는 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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제12항에 있어서,상기 도파관은 상기 리가 공정을 이용하여 상기 하우징과 일체로 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 접혀진 형상의 도파관 및 이를 포함하는 진행파관기
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