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롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치 및 제조 방법(Apparatus for fine pattern formation using Roll-to-roll printed electronics process)

  • 기술번호 : KST2017005471
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 패턴을 구현할 수 있는 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치를 위하여, 유연 기판에 제1얼라인 마크를 마킹하는 얼라인 마크 생성부, 상기 얼라인 마크 생성부에서 이송되는 상기 유연 기판에 제2얼라인 마크를 인쇄하며 패턴을 상기 유연 기판에 인쇄하는 인쇄부 그리고 상기 인쇄부에서 인쇄되어 나온 상기 유연 기판에 형성된 상기 제1얼라인 마크와 상기 제2얼라인 마크의 이미지를 획득하는 이미지 획득부를 포함하는, 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치가 제공된다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 23/544 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01) H01L 51/0004(2013.01)
출원번호/일자 1020150120666 (2015.08.27)
출원인 한밭대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0026718 (2017.03.09) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동수 대한민국 대전광역시 서구
2 배성우 대한민국 세종특별자치시 마음안

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 추혁 대한민국 경기도 화성시 동탄대로 ***-** 효성아이씨티타워 ****호(지엠국제특허)
2 김진동 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** 다원빌딩 *층(푸른국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0831416-69
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0837860-57
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0877845-09
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2016-0687841-05
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0827175-45
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0053755-88
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0257048-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5058417-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5065033-29
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0429216-39
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0429199-40
13 등록결정서
Decision to grant
2017.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0692525-81
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유연 기판에 제1얼라인 마크를 마킹하는 얼라인 마크 생성부;상기 얼라인 마크 생성부에서 이송되는 상기 유연 기판에 제2얼라인 마크를 인쇄하며, 패턴을 상기 유연 기판에 인쇄하는 인쇄부; 및상기 인쇄부에서 인쇄되어 나온 상기 유연 기판에 형성된 상기 제1얼라인 마크와 상기 제2얼라인 마크의 이미지를 획득하는 이미지 획득부를 포함하고,상기 인쇄부는,상기 유연 기판에 상기 패턴을 인쇄하는 인쇄롤;상기 유연 기판에 상기 패턴을 인쇄하는데 불필요한 부분만을 상기 인쇄롤로부터 오프하는 제1제판롤; 및상기 인쇄롤에 잉크를 공급하는 잉크 공급 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 얼라인 마크 생성부는 상기 유연 기판에 레이저로 상기 제1얼라인 마크를 생성하는 생성 레이저 모듈을 포함하는, 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 인쇄부는, 제2제판롤을 더 포함하고, 상기 제1제판롤과 상기 제2제판롤을 선택적으로 상기 인쇄롤로부터 오프되는, 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 유연 기판에 인쇄된 불량 패턴을 제거하고, 제거된 부분에 금속을 도포하는 불량 패턴 수정부를 더 포함하는, 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치
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제5항에 있어서,상기 불량 패턴 수정부는,상기 불량 패턴에 레이저를 조사하여 상기 불량 패턴을 제거하는 제거 레이저 모듈 그리고상기 불량 패턴이 제거된 부분에 메탈을 증착하는 메탈젯 모듈을 포함하는, 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한밭대학교 한밭대학교 신임교수연구비 인쇄전자소자 제작용 Roll Printer 개발