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폐 육불화황 가스를 회수하는 단계;회수된 폐 육불화황 가스를 가압, 냉각하는 단계;가압, 냉각된 폐 육불화황 가스에 알칼리 용액을 첨가하여, 육불화황 가스의 하이드레이트 및 염을 형성하고 불순물 가스를 제거하는 단계; 및육불화황 가스의 하이드레이트를 해리하고, 수분을 제거하여 육불화황 가스를 회수하는 단계;를 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제1항에 있어서,상기 폐 육불화황 가스를 회수하는 단계에서,폐 육불화황 가스는 HF 10 내지 10,000 ppmv, SO2 10 내지 1,000ppmv, N2 0
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제1항에 있어서,상기 회수된 폐 육불화황 가스를 가압, 냉각하는 단계는회수된 폐 육불화황 가스를 1 내지 15bar의 압력 및 0 내지 10℃의 온도로 가압, 냉각하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제1항에 있어서,육불화황 가스의 하이드레이트 및 염을 형성하고 불순물 가스를 제거하는 단계에서,상기 불순물 가스는 HF, SO2, SOF2, SOF4, N2 및 O2를 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제1항에 있어서,육불화황 가스의 하이드레이트 및 염을 형성하고 불순물 가스를 제거하는 단계는상기 가압, 냉각된 폐 육불화황 가스 100 중량부에 대해 알칼리 용액 210 내지 250 중량부를 첨가하는 것을 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제1항에 있어서,상기 알칼리 용액은 NaOH, Ca(OH)2, CaO 및 MgO 중에서 선택되는 1종 이상의 알칼리 성분을 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제6항에 있어서,상기 알칼리 용액 100 중량%에 대하여 상기 알칼리 성분 0
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제1항에 있어서,상기 알칼리 용액은 음이온 계면활성제, 테트라하이드로퓨란 또는 암모늄 염을 더 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제8항에 있어서,상기 음이온 계면활성제는 소듐도데실술페이트 또는 선형알킬벤젠술포네이트인 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제8항에 있어서,상기 암모늄 염은 테트라뷰틸암모늄브로마이드인 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제8항에 있어서,상기 음이온 계면활성제, 테트라하이드로퓨란 또는 암모늄 염은 알칼리 용액 100 중량%에 대해 0
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제1항에 있어서,상기 육불화황 가스의 하이드레이트를 15 내지 50℃의 온도에서 해리하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제1항에 있어서,회수된 육불화황 가스를 가압하여 중전기에 충전하는 단계를 더 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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제1항에 있어서,육불화황 가스가 해리된 액체에서 염을 여과하고, 알칼리 성분을 보충하여 육불화황 가스의 하이드레이트에 재사용하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 방법
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폐 육불화황 가스를 회수하는 회수부; 상기 회수부와 연결되며, 회수된 폐 육불화황 가스를 가압 또는 냉각하여, 내부에 포함된 알칼리 용액과 함께 육불화황 가스의 하이드레이트를 형성하는 제1 반응기; 및상기 제1 반응기와 연결되어, 형성된 육불화황 가스의 하이드레이트를 이송 받아, 감압 또는 승온하여, 육불화황 가스를 해리 후 분리하는 제2 반응기;를 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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제15항에 있어서,상기 알칼리 용액은 NaOH, Ca(OH)2, CaO 및 MgO 중에서 선택되는 1종 이상의 알칼리 성분을 포함하는 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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제15항에 있어서,상기 알칼리 용액 100 중량%에 대하여 상기 알칼리 성분 0
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제15항에 있어서,상기 제1 반응기는 1 내지 15bar의 압력 및 0 내지 10℃의 온도로 유지되는 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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제15항에 있어서,상기 제1 반응기는 상부와 하부로 구성되며, 상기 상부는 N2 및 O2를 포함하는 잔류가스를 포집하여 배출하고, 상기 하부는 하이드레이트화된 액체를 수집하여, 상기 제2 반응기로 이동시키는 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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제15항에 있어서,상기 제2 반응기는 15 내지 50℃의 온도로 유지되는 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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제15항에 있어서,상기 제2 반응기의 상부는 실리카겔, 분자체(molecular sieve) 또는 제올라이트(zeolite)가 설치된 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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제15항에 있어서,상기 제2 반응기의 하부에는 육불화황 가스가 해리된 액체가 포집되고, 포집된 액체에서 염을 여과하고, 알칼리 성분을 보충하여 상기 제1 반응기에 다시 투입되는 육불화황 가스의 분리 및 회수 장치
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