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제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계;기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계;상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 위상전이마스크는,상대적으로 넓은 선폭의 제1패턴영역과 상대적으로 좁은 선폭의 제2패턴영역으로 이루어진 크롬패턴이 형성된 크롬마스크를 준비하는 단계;기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 크롬마스크를 위치시킨 후 노광 및 현상하여 감광제패턴을 형성하는 단계; 및상기 감광제패턴이 형성된 기판 상부에 고분자 재료를 붓고 열경화 처리한 후, 상기 감광제패턴이 형성된 기판으로부터 위상전이마스크를 분리하는 단계;를 포함하여 제조되는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 위상전이마스크의 패턴 높이는,1~10㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 위상전이마스크는 상대적으로 넓은 선폭의 제1패턴영역과 상대적으로 좁은 선폭의 제2패턴영역을 가지며,상기 위상전이마스크의 제1패턴영역은 상기 센서패턴영역에 대응하며,상기 위상전이마스크의 제2패턴영역은 상기 배선패턴영역에 대응하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 일방향패턴 형성단계는,기판 상부에 감광제를 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 기판 상부에 제1위상전이마스크를 위치시킨 후, 자외선을 조사하여 제1양각 감광패턴을 일방향으로 형성하는 단계;상기 제1양각 감광패턴이 형성된 기판 상부에 1차 도금층을 형성한 후, 상기 제1양각 감광패턴이 형성된 기판으로부터 음각패턴이 형성된 제1일방향패턴 금속시편을 분리하는 단계; 및상기 음각패턴이 형성된 제1일방향패턴 금속시편 상부에 2차 도금층을 형성한 후, 상기 제1일방향패턴 금속시편으로부터 양각패턴이 형성된 제2일방향패턴 금속시편을 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 메시패턴 형성단계는,상기 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 일방향패턴 금속시편 상부에 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후, 자외선을 조사하여 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 제2양각 감광패턴을 형성하는 단계; 및상기 제2양각 감광패턴이 형성된 금속시편 상부에 3차 도금층을 형성한 후, 상기 제2양각 감광패턴이 형성된 금속시편으로부터 음각 메시패턴이 형성된 제1메시패턴 금속시편을 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 음각 메시패턴이 형성된 제1메시패턴 금속시편의 상부에 3-1차 도금층을 형성한 후, 상기 제1메시패턴 금속시편으로부터 양각 메시패턴이 형성된 제2메시패턴 금속시편을 분리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 전극 형성단계는,상기 메시패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 메시패턴 금속시편 상부에 크롬마스크를 위치시킨 후, 노광 및 현상하여 상기 센서전극이 형성되는 센서전극영역 및 상기 배선전극이 형성되는 배선전극영역의 감광제를 부분 제거해 패터닝하는 단계;상기 감광제가 패터닝된 메시패턴 금속시편 상부에 4차 도금층을 형성한 후, 상기 감광제가 패터닝된 메시패턴 금속시편으로부터 양각패턴이 형성된 금속스탬프를 분리하는 단계; 및상기 양각패턴이 형성된 금속스탬프 상부에 액상 고분자 및 필름을 차례로 덮은 후, 상기 양각패턴이 형성된 금속스탬프로부터 음각패턴이 형성된 필름을 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 감광제를 부분 제거해 패터닝 하는 공정과, 상기 감광제가 패터닝된 메시패턴 금속시편 상부에 4차 도금층을 형성하는 공정 사이에는,상기 부분 제거된 감광제를 제외한 나머지 영역의 감광제 표면이 편평해지도록 100~160℃, 30초~3분 하에서 리플로우(reflow)하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 전극 형성단계는,상기 메시패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 메시패턴 금속시편 상부에 크롬마스크를 위치시킨 후, 노광 및 현상하여 상기 센서전극이 형성되는 센서전극영역 및 상기 배선전극이 형성되는 배선전극영역의 감광제를 제외한 나머지 영역의 감광제를 부분 제거해 패터닝하는 단계;상기 감광제가 패터닝된 영역을 포함한 메시패턴 금속시편 상부에 금속을 증착한 후, 감광제 제거액에 투입하여 상기 감광제가 부분 제거된 영역에 증착된 금속증착물을 제외한 감광제로 이루어진 감광제층과, 상기 감광제층 상부에 증착된 금속증착층을 제거하는 단계;상기 감광제층 및 상기 금속증착층이 제거된 메시패턴 금속시편 상부에 4차 도금층을 형성한 후, 상기 감광제층 및 상기 금속증착층이 제거된 메시패턴 금속시편으로부터 양각패턴이 형성된 금속스탬프를 분리하는 단계; 및상기 양각패턴이 형성된 금속스탬프 상부에 액상 고분자 및 필름을 차례로 덮은 후, 상기 양각패턴이 형성된 금속스탬프로부터 음각패턴이 형성된 필름을 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제8항 또는 제10항에 있어서,상기 메시패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포하는 단계에서는,상기 감광제가 스핀 코팅 또는 스프레이 코팅 방식으로 도포되되,상기 스핀 코팅은 감광제의 점도 및 스핀 코팅의 회전속도에 따라 도포되는 감광제의 두께가 조절되며,상기 스프레이 코팅은 감광제의 점도 및 감광제의 분사량에 따라 도포되는 감광제의 두께가 조절되는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제8항 또는 제10항에 있어서,상기 음각패턴이 형성된 필름을 분리하는 단계 다음에는,상기 음각패턴에 전극물질을 충진하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 도금은,니켈도금 또는 니켈합금도금인 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 센서전극과 상기 배선전극은,동일한 선폭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 센서전극은 2㎛ 이하의 선폭을 지니며,상기 센서전극과 상기 센서전극 사이의 피치는 상기 선폭의 100배 이상을 지녀 광투과율 특성이 향상되는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 배선전극은 2㎛ 이하의 선폭을 지니며,상기 배선전극과 상기 배선전극 사이의 피치는 상기 선폭의 40배 이하인 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 블록배선전극은 1개 이상의 배선전극이 전기적으로 결합되어 블록을 이루는 배선전극으로써,상기 블록배선전극 내의 배선전극은 2㎛ 이하의 선폭을 지니며,상기 배선전극과 상기 배선전극 사이의 피치는 상기 선폭의 40배 이하인 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 투명전극은,상기 블록배선전극과 전기적으로 연결되는 유연 PCB가 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
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