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피가열체의 수용 공간을 형성하며, 상기 피가열체를 가열하기 위한 발열체를 내부에 구비하는 제1 챔버; 및상기 제1 챔버와 접하는 제2 챔버를 포함하고, 상기 제2 챔버는 상기 제1 챔버보다 낮은 온도로 유지하기 위한 온도 유지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서, 상기 온도 유지 수단은 제2 발열체인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 온도 유지 수단은 냉각기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 냉각기는 냉각수 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 냉각기는 냉각 가스 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 챔버는 단열재를 포함하며, 상기 제2 챔버가 접하는 경계면은 상기 제1 챔버의 단열재와 상이한 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 챔버 내부에 피가열체를 수용하기 위한 내부 챔버를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 내부 챔버는 열전도율이 50 W/m·K 이상인 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 내부 챔버는 피가열체 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 챔버는 상기 제1 챔버의 벽면에 복수 개 형성되는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치
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규소 성형체 또는 가소결체를 수용 공간을 갖는 챔버에 장입하는 단계; 및상기 챔버를 질소 분위기로 유지하고 상기 규소 성형체 또는 가소결체를 질화 온도인 제1 온도에서 열처리하는 단계를 포함하고, 상기 열처리 단계에서, 상기 챔버의 적어도 일면을 상기 규소의 제1 온도보다 낮은 제2 온도로 유지하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조 방법
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제9항에 있어서,제1 온도는 상기 규소의 용융 온도 미만인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 제1 온도와 제2 온도의 차는 100 ℃ 이상인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 제1 온도와 제2 온도의 차는 150 ℃ 이상인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조 방법
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