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2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자(Electronic Device Having 2 Dimensional Conduction Layer)

  • 기술번호 : KST2017005653
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판과 상기 기판의 상부에 전도성 물질 단독으로 또는 전도성 물질에 절연성 산화물이 혼합되어 형성되는 2 차원 전도층 및 상기 2 차원 전도층의 상부에 형성되는 절연층을 포함하며, 상기 2 차원 전도층은 n형 산화물 반도체 물질 또는 p형 산화물 반도체 물질로 형성되는 것을 2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자를 개시한다.
Int. CL H01L 29/778 (2006.01.01) H01L 21/316 (2006.01.01) H01L 21/3205 (2006.01.01) H01L 29/737 (2006.01.01)
CPC H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01)
출원번호/일자 1020150123999 (2015.09.02)
출원인 홍익대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0027425 (2017.03.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.09.02)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황진하 대한민국 서울시 마포구
2 박다희 대한민국 서울시 마포구
3 황희수 대한민국 서울시 마포구
4 박찬록 대한민국 서울시 마포구
5 고명희 대한민국 서울시 마포구
6 권경우 대한민국 서울시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김호종 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **-*, *층 (역삼동, 신도빌딩)(태산특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0852053-25
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0699463-11
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1170232-52
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-1292410-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0099749-55
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0099790-17
7 등록결정서
Decision to grant
2017.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0431125-22
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과 상기 기판의 상부에 전도성 물질에 절연성 산화물이 혼합되어 형성되는 2 차원 전도층 및상기 2 차원 전도층의 상부에 형성되는 절연층을 포함하며,상기 전도성 물질은 산화물 반도체 물질인 ZnO 또는 NiO이고, 상기 절연성 산화물은 Al2O3이며,상기 2차원 전도층은 산화물 반도체 물질 증착 공정과 절연성 산화물 증착 공정이 반복되어 진행되는 원자층 증착 공정에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자
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3 3
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제 1 항에 있어서상기 2 차원 전도층은 0
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7 7
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제 1 항에 있어서상기 전도성 물질과 절연성 산화물은 20 : 1 ~ 1 : 20의 원자층 증착 공정의 단위 싸이클 비율로 혼합되어 형성되는 것을 특징으로 하는 2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자
9 9
제 1 항에 있어서상기 기판은 SrTiO3의 단결정, 실리콘 단결정의 상면에 SrTiO3 박막 또는 후막이 증착된 기판 또는 유리의 상면에 SrTiO3이 박막 또는 후막으로 증착된 기판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자
10 10
제 1 항에 있어서상기 절연층은 Al2O3 또는 Al2O3에 ZnO, NiO, ZrO2, HfO2와 중에서 선택되는 적어도 하나의 금속 산화물 물질을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자
11 11
제 1 항에 있어서상기 전자 소자는 산화물 기반 저항성 메모리 또는 나노 부유 게이트 메모리로 적용되는 것을 특징으로 하는 2 차원 전도층을 구비하는 전자 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 홍익대학교 산학협력단 이공분야 기초연구사업(일반연구자-기본) 결함화학과 계면공학을 결합한 이종 절연체 산화물 계면의 2차원 자유전자층(2 Dimensional Electron Gas Layer) 설계 및 응용 연구