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배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법에 있어서,(ⅰ) 증착챔버에 기판을 고정시키고, 상기 기판과 증발원(heat source) 간 소정의 위치에 열 차단의 기능을 구비한 배플(baffle)을 1개 이상 3개 이하의 층으로 설치하는 단계;(ⅱ) 상기 증착챔버 내부를 진공상태로 만들어주는 단계;(ⅲ) 진공상태인 상기 증착챔버에 불활성 기체인 공정가스를 주입하여, 상기 증착챔버 내부에 0
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청구항2에 있어서,상기 홀(hole)은, 원 또는 다각형의 형상인 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서,상기 (ⅰ)단계의 배플의 두께는, 0
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청구항1에 있어서, 상기 (ⅰ)단계의 배플은 금속, 합금 및 세라믹 물질로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항6에 있어서, 상기 (ⅰ)단계의 배플은 철(Fe), 타이타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 코발트(Co), 니켈(Ni), 텅스텐(W), 베릴륨(Be), 납(Pb), 주석(Sn), 규소(Si), 크롬(Cr), 아연(Zn), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 된 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항6에 있어서,상기 (ⅰ)단계의 배플은 알루미나, 실리콘 나이트라이드, 실리콘 카바이드 및 지르코니아로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 세라믹 물질로 된 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서, 상기 (ⅰ)단계의 기판은 종이, 합성수지, 세라믹 물질, 유리, 규소 및 금속으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서,상기 기판과 상기 배플 간의 거리는, 0
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청구항1에 있어서, 상기 (ⅳ)단계는, 상기 기판이 냉각부에 밀착되게 고정되어 수행되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서, 상기 증착챔버는, 상기 증착입자의 흐름이 상기 증발원으로부터 상기 증착챔버의 상단면으로 형성되도록 상기 증착챔버의 상단면에 배기구가 구비되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서, 상기 증착챔버는, 상기 증착입자의 흐름이 상기 증발원으로부터 상기 증착챔버의 일측면으로 형성되도록 상기 증착챔버의 일측면 소정의 위치에 배기구가 구비되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서, 상기 증착입자는, 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 철(Fe), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 니켈(Ni), 타이타늄(Ti), 아연(Zn), 납(Pb), 바나듐(V), 코발트(Co), 어븀(Er), 칼슘(Ca), 홀뮴(Ho), 사마륨(Sm), 스칸듐(Sc), 터븀(Tb), 몰리브덴(Mo) 및 백금(Pt)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 된 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항1에 있어서, 상기 (iii)단계의 공정가스는, 불활성 기체로서의 아르곤(Ar), 질소(N2), 헬륨(He), 네온(Ne), 크립톤(Kr), 크세논(Xe), 라돈(Rn) 중 선택되는 하나 이상의 기체인 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 증착입자는, 주석(Sn), 니켈(Ni), 구리(Cu), 타이타늄(Ti), 바나듐(V), 크롬(Cr), 망간(Mn), 철(Fe), 코발트(Co), 아연(Zn), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 리튬(Li), 알루미늄(Al), 안티몬(Sb), 비스무스(Bi), 마그네슘(Mg), 규소(Si), 인듐(In), 납(Pb) 및 팔라듐(Pd)의 산화물로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속산화물로 된 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항19에 있어서,상기 금속산화물로 형성된 나노다공성3차원구조 박막은, 상기 증발원의 소재인 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 및 탄탈륨(Ta)으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 (iii)단계에서의 공정가스는, 불활성 기체로서의 아르곤(Ar), 질소(N2), 헬륨(He), 네온(Ne), 크립톤(Kr), 크세논(Xe) 및 라돈(Rn)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 기체와 산소(02)와의 혼합물이고, 상기 산소(02)는 금속산화물의 성분 제어 및 산화상태의 안정성을 확보하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 (ⅴ)단계에서의 증착입자의 생성은, 열증발법 또는 스퍼터링법에 의하는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막의 제조방법
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나노다공성3차원구조 박막에 있어서, 청구항 1, 청구항 3, 청구항 5 내지 청구항 10, 청구항 12 내지 청구항 14, 및 청구항 17 내지 청구항 22 중 선택되는 어느 하나의 항의 방법에 의해 제조되고, 비표면적(specific surface area)값은 0
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청구항26에 있어서,상기 나노다공성3차원구조 박막의 밀도비(벌크대비)는 0
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청구항26에 있어서, 상기 나노다공성3차원구조 박막은, 직경이 1
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청구항26에 있어서, 상기 나노다공성3차원구조 박막은, 직경이1
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배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막 제조장비에 있어서,진공상태가 가능하며, 불활성 기체인 공정가스를 주입하면 내부에서 0
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청구항31에 있어서,상기 배플은, 1개 이상 3개 이하의 층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막 제조장비
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청구항31에 있어서,상기 배플은, 상기 증발원과 상기 기판 사이에 복수 개 설치되는 것을 특징으로 하는 배플을 이용한 나노다공성3차원구조 박막 제조장비
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