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광대역 백색광을 평행광으로 변환시키고, 상기 평행광의 크기를 조절하여 측정물을 향하여 평행광을 조사하는 평행광 모듈;상기 측정물을 투과한 평행광의 광경로를 빔 스플리터로 직행경로와 변조경로로 나누고, 변조 경로로 나뉘어진 평행광을 편광자를 통하여 편광 상태를 변조시키고, 직행 경로로의 평행광과 변조 경로의 평행광을 수광하고 듀얼 스펙트럼 감지 모듈로 조사하는 편광 변조 모듈; 및상기 편광 변조 모듈로부터 입사된 평행광을 빔 스플리터로 분리하고, 분리된 평행광을 각각 s선형 편광상태와 p선형 편광상태로 편광하고, 듀얼 분광기로 연결하여 각각 편광된 평행광의 간섭 스펙트럼을 스냅샷으로 측정하는 듀얼 스펙트럼 감지 모듈을 포함하는 고속분광편광 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 듀얼 스펙트럼 감지 모듈이 측정한 스냅샷의 측정값을 기초로 하여 스토크스 벡터를 계산하는 컴퓨터 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 평행광 모듈은,광대역 백색광을 조사하는 백색광원;상기 백색광원에서 조사된 상기 백색광을 제1 광섬유 주입구까지 연결하는 제1 광섬유;상기 백색광을 평행광 렌즈로 조사하는 제1 광섬유 주입구;상기 조사된 백색광을 평행광으로 변환시키는 평행광 렌즈; 및상기 평행광의 크기를 조절하고, 평행광을 측정 시료에 조사하는 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 3항에 있어서,상기 평행광 렌즈로부터 입사된 평행광을 선형 편광시키는 선형 편광자;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 3항에 있어서,상기 백색광원은, 텅스텐-할로겐 램프, 제논램프, 및 백색 LED 램프 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 편광 변조 모듈은,측정물을 통과하고 상기 평행광 모듈로부터 입사되는 평행광의 광 경로를 직행경로와 변조경로로 나누는 제1 빔 스플리터;상기 제1 빔 스플리터에 의해 직행 경로로 나뉘어진 평행광이 입사되고, 제2 프리즘 거울로 평행광을 입사하고, 제2 프리즘 거울에서 반사된 평행광을 제2 빔 스플리터로 입사하는 제1 프리즘 거울;상기 제1 프리즘 거울로부터 입사된 평행광을 반사하여 다시 제1 프리즘 거울로 입사하는 제2 프리즘 거울;상기 제1 빔 스플리터에 의해 변조 경로로 나뉘어진 평행광이 입사되고, 입사된 평행광을 제1 편광자로 반사하는 제1 거울;상기 제1 거울로부터 반사된 평행광의 편광 방향을 변화시키고, 제2 편광자로 평행광을 입사하는 제1 편광자;상기 제1 편광자로부터 입사된 평행광의 편광 방향을 변화시키고, 제2 거울로 평행광을 입사하는 제2 편광자;상기 제2 편광자로부터 입사된 평행광을 제2 빔 스플리터로 반사하는 제2 거울; 및상기 제1 프리즘 거울로부터 반사된 직행 경로의 평행광과, 상기 제2 거울로부터 반사된 변조 경로의 평행광을 수광하고, 직행 경로의 평행광과 변조 경로의 평행광이 간섭된 평행광을 듀얼 스펙트럼 감지 모듈로 조사하는 제2 빔 스플리터를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 편광 변조 모듈은,측정물을 통과하고 상기 평행광 모듈로부터 입사되는 평행광의 광 경로를 직행경로와 변조경로로 나누며 다시 모인 평행광으로 간섭을 발생시키는 빔 스플리터;상기 빔 스플리터에서 입사된 평행광의 광경로를 빔 스플리터로 직행경로와 변조경로로 나누고, 변조 경로로 나뉘어진 평행광을 편광자를 통하여 편광 상태를 변조시키는 제 1, 제 2 편광자;편광자를 통과한 평행광을 다시 빔 스플리터로 반사시키는 변조경로의 반사거울;상기 직행 경로로 나누어진 평행광을 광경로 보상 시키는 윈도우; 및윈도우를 통과한 평행광을 다시 빔 스플리터로 반사시키는 직행경로의 반사거울를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 6항에 있어서,상기 제2 프리즘 거울은, 위치의 조정이 가능하여 평행광의 직행경로와 변조경로의 광로차를 조절하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 6항에 있어서,상기 제1 편광자의 선형편광 방향은 90도 또는 0도, 상기 제2 편광자의 선형편광 방향은 45도인 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 듀얼 스펙트럼 감지 모듈은,상기 편광 변조 모듈로부터 입사된 평행광을 분리하여 제3 편광자와 제4 편광자로 조사하는 제4 빔 스플리터;상기 제4 빔 스플리터로부터 입사된 평행광을 s선형 편광상태로 편광시키고, 제1 포물면 거울로 조사하는 제3 편광자;상기 제3 편광자로부터 입사된 평행광을 포물면 초점으로 집광하여 제1 분광기 광섬유 주입구로 조사하는 제1 포물면 거울;상기 제1 포물면 거울로부터 입사된 평행광을 듀얼분광기로 연결하는 제1 분광기 광섬유;상기 제4 빔 스플리터로부터 입사된 평행광을 p선형 편광상태로 편광시키고, 제2 포물면 거울로 조사하는 제4 편광자;상기 제4 편광자로부터 입사된 평행광을 포물면 초점으로 집광하여 제2 분광기 광섬유 주입구로 조사하는 제2 포물면 거울;상기 제2 포물면 거울로부터 입사된 평행광을 듀얼분광기로 연결하는 제2 분광기 광섬유; 및상기 제1 분광기 광섬유 및 상기 제2 분광기 광섬유로부터 각각 전송되는 평행광의 간섭 스펙트럼을 스냅샷으로 측정하는 듀얼 분광기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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제 9항에 있어서,상기 듀얼 분광기는,s채널 간섭스펙트럼 및 p채널 간섭스펙트럼을 스냅샷으로 측정하는 s 편광채널 및 p 편광채널;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정장치
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고속분광편광 측정장치가 고속분광편광 측정하는 방법에 있어서,(a) 광대역 백색광을 평행광으로 변환하고, 평행광의 크기를 조절하는 단계;(b) 측정물을 향하여 평행광을 조사하는 단계;(c) 측정물을 투과한 평행광이 빔 스플리터에 의해 직행 경로와 변조 경로로 나뉘는 단계;(d) 변조경로의 평행광이 편광자에 의해 편광되는 단계;(e) 직행경로와 변조경로의 평행광을 수광하고, 듀얼 스펙트럼 감지 모듈로 조사하는 단계;(f) 빔 스플리터로 평행광을 분리하고, 분리된 평행광을 편광하는 단계; 및(g) 듀얼 분광기에서 간섭 스펙트럼의 스냅샷을 측정하는 단계를 포함하는 고속분광편광 측정방법
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제 12항에 있어서,상기 (a) 단계는, 백색광을 평행광으로 변환 후 선형 편광시키는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정방법
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제 12항에 있어서,상기 (d) 단계는,변조경로의 평행광을 제1 편광자, 제2 편광자로 편광하고, 제1 편광자의 선형편광 방향은 90도 또는 0도, 제2 편광자의 선형편광 방향은 45도인 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정방법
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제 12항에 있어서,상기 (f) 단계는,분광된 평행광을 각각 p선형 편광상태와 s선형 편광상태로 편광시키는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정방법
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제 12항에 있어서,(h) 컴퓨터 장치가 상기 듀얼 스펙트럼 감지 모듈이 측정한 스냅샷의 측정값을 기초로 하여 스토크스 벡터를 계산하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고속분광편광 측정방법
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광대역 백색광을 평행광으로 변환시키고, 상기 평행광의 크기를 조절하여 측정물을 향하여 평행광을 조사하는 평행광 모듈;상기 측정물에서 반사된 평행광의 광경로를 빔 스플리터로 직행경로와 변조경로로 나누고, 변조 경로로 나뉘어진 평행광을 편광자를 통하여 편광 방향을 변화시키고, 직행 경로로의 평행광과 변조 경로의 평행광을 수광하고 듀얼 스펙트럼 감지 모듈로 조사하는 편광 변조 모듈; 및상기 편광 변조 모듈로부터 입사된 평행광을 빔 스플리터로 분리하고, 분리된 평행광을 각각 s선형 편광상태와 p선형 편광상태로 편광하고, 듀얼 분광기로 연결하여 각각 편광된 평행광의 간섭 스펙트럼을 스냅샷으로 측정하는 듀얼 스펙트럼 감지 모듈을 포함하는 고속분광타원계측기
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광대역 백색광을 평행광으로 변환시키고, 상기 평행광의 크기를 조절하여 빔 스플리터를 향하여 평행광을 조사하는 평행광 모듈;상기 평행광 모듈로부터 입사된 평행광을 반사형 측정물로 조사하고, 반사형 측정물이 반사하는 평행광을 재투과하여 편광 변조 모듈로 조사하는 빔 스플리터;상기 빔 스플리터에서 입사된 평행광의 광경로를 빔 스플리터로 직행경로와 변조경로로 나누고, 변조 경로로 나뉘어진 평행광을 편광자를 통하여 편광 방향을 변화시키고, 직행 경로로의 평행광과 변조 경로의 평행광을 수광하고 듀얼 스펙트럼 감지 모듈로 조사하는 편광 변조 모듈; 및상기 편광 변조 모듈로부터 입사된 평행광을 빔 스플리터로 분리하고, 분리된 평행광을 각각 s선형 편광상태와 p선형 편광상태로 편광하고, 듀얼 분광기로 연결하여 각각 편광된 평행광의 간섭 스펙트럼을 스냅샷으로 측정하는 듀얼 스펙트럼 감지 모듈을 포함하는 고속분광반사계측기
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