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내측에 일정간격 이격되며 볼트 및 너트에 의해 결합고정할 수 있도록 다수의 결합공을 포함하는 한쌍의 플랜지와;상기 한쌍의 플랜지의 내측에 위치하는 메쉬망을 포함하는 메쉬전극에 있어서, 상기 한쌍의 플랜지에는 일면에 각각 볼록홈와 오목홈을 구비하고,상기 한쌍의 플랜지는 도넛형상으로 형성되며, 하나의 플랜지는 평면인 일면으로부터 외측으로 돌출된 볼록홈가 구성되고, 다른 하나의 플랜지는 평면인 일면으로부터 내측으로 오목한 오목홈이 형성되며, 상기 볼록홈와 오목홈은 각각 플랜지의 내경 테두리와 다수의 결합공 사이에 각각 위치하고,상기 한쌍의 플랜지의 일면에 각각 형성된 볼록홈 및 오목홈은 원호형으로 일정간격 이격되어 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조
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제1항에 있어서, 상기 한쌍의 플랜지의 일면에 각각 형성된 볼록홈 및 오목홈은 평면이 하나의 원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조
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제1항에 있어서, 상기 한쌍의 플랜지의 일면에 각각 형성된 볼록홈 및 오목홈은 단면이 원형, 사각형, 삼각형의 다각형 중 선택된 어느 한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조
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제1항에 있어서, 상기 메쉬망은 한쌍의 플랜지의 볼록홈와 오목홈에 의해 가압되어 원둘레 방향으로 잡아당겨 5㎛ 이내의 평탄도를 가질 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조
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제1항에 있어서, 상기 메쉬망은 한쌍의 플랜지에 포함된 블럭부와 오목홈의 사이에 고정시킨 다음 고정볼트를 조이게 되면 인장력이 발생하여 그물망을 평탄화하는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조
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제1항에 있어서, 상기 메쉬전극은 절연애자를 이용하여 공간부를 형성함과 동시에 다수개의 메쉬전극을 적층시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조
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제1플랜지의 볼록홈와 제2플랜지의 오목홈이 서로 마주보도록 위치시키는 플랜지 준비단계와;상기 제1플랜지와 제2플랜지의 사이에 그물망을 위치시켜 제1플랜지의 볼록홈와 제2플랜지의 오목홈을 결합하는 그물망 결합단계와;그물망이 결합된 상태에서 상기 제1플랜지와 제2플랜지에 구성된 결합공에 볼트로 고정시키는 플랜지 고정단계를 포함하고,상기 제1,2플랜지는 도넛형상으로 형성되며, 상기 제1플랜지는 평면인 일면으로부터 외측으로 돌출된 볼록홈가 구성되고, 상기 제2플랜지는 평면인 일면으로부터 내측으로 오목한 오목홈이 형성되며, 상기 볼록홈와 오목홈은 각각 상기 제1,2플랜지의 내경 테두리와 다수의 결합공 사이에 각각 위치하고,상기 제1,2플랜지의 일면에 각각 형성된 볼록홈 및 오목홈은 원호형으로 일정간격 이격되어 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조를 이용한 결합방법
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제9항에 있어서, 상기 그물망 결합단계에서 제공되는 그물망은 2~100㎛의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 편향계의 메쉬전극 구조를 이용한 결합방법
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제9항에 있어서, 상기 플랜지 고정단계는 볼트 및 너트의 죔정도에 따라 인장력을 달리할 수 있도록 하는 것을 특징으로 정전 편향계의 메쉬전극 구조를 이용한 결합방법
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제9항에 있어서, 상기 플랜지 고정단계는 볼트의 죔 정도에 따라 그물망의 평탄도를 5㎛ 이내로 형성하는 것을 특징으로 정전 편향계의 메쉬전극 구조를 이용한 결합방법
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