| 1 |
1
투명판의 두께를 검사하는 장치(100)로서,레이저발생부(120)에 인접하여 장착되고, 레이저발생부(120)로부터 발생된 레이저가 투과되는 기준투명판(110);기준투명판(110) 및 측정대상 투명판(10)에 각각 레이저를 조사하는 레이저발생부(120);상기 기준투명판(110) 및 측정대상 투명판(10)을 투과한 레이저를 수광하여 간섭패턴을 획득하는 간섭패턴획득부(130);상기 간섭패턴획득부(130)로부터 획득한 간섭패턴 데이터를 바탕으로 위상차를 계산하여 측정대상 투명판(10)의 두께를 기준투명판(110)과 비교하여 비교데이터를 산술처리하는 제어부(140); 및상기 기준투명판(110)의 위치를 조정하여 기준투명판(110)으로 투과되는 레이저의 위치를 변경시킬 수 있는 위치조정부(111);를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 위치조정부(111)는, 기준투명판(110)으로 입사되는 레이저의 입사각을 변경할 수 있도록, 기준투명판(110)의 기울기를 조정하는 기울기조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 투명판 두께검사 장치(100)는:상기 레이저발생부(120)의 위치를 조정하여 기준투명판(110)으로 투과되는 레이저의 위치를 변경시킬 수 있는 위치조정부(121)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 위치조정부(121)는, 기준투명판(110)으로 입사되는 레이저의 입사각을 변경할 수 있도록, 레이저발생부(120)의 기울기를 조정하는 기울기조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 투명판 두께검사 장치(100)는:상기 측정대상 투명판(10)의 위치를 변경시킬 수 있는 운송부(150)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 운송부(150)의 일측부 또는 양측부에는, 레이저발생부(120)로부터 발생된 레이저가 측정대상 투명판(10)에 조사될 수 있도록 관통구조의 레이저 진행로(151)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 투명판 두께검사 장치(100)는:레이저발생부(120)로부터 발생된 레이저를 기준투명판(110)으로 향하는 제 1 레이저와 측정대상 투명판(10)으로 향하는 제 2 레이저로 분리시키는 제 1 빔스플리터(161);상기 제 1 빔스플리터(161)에 의해 분리된 제 1 레이저와 제 2 레이저 각각을 기준투명판(110)과 측정대상 투명판(10)으로 향하게 하는 둘 이상의 미러(163); 및기준투명판(110)과 측정대상 투명판(10)을 투과한 제 1 레이저와 제 2 레이저를 중첩시켜 중첩된 레이저를 간섭패턴획득부(130)로 향하게 하는 제 2 빔스플리터(162);를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 9 |
9
제 8 항에 있어서,상기 투명판 두께검사 장치(100)는:측정대상 투명판(10)을 투과한 제 2 레이저를 수광하여 측정대상 투명판(10)의 투광율을 측정하는 투광율측정부(170)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 10 |
10
제 8 항에 있어서,상기 투명판 두께검사 장치(100)는:측정대상 투명판(10)을 투과한 제 2 레이저를 수광하여 측정대상 투명판(10)의 기울기 변화를 검출하고, 검출된 기울기 변화값에 따라 제 2 레이저의 형태를 바꾸어 간섭패턴획득부(130)로부터 획득하는 간섭패턴을 보정하는 4분할PD(180)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 장치
|
| 11 |
11
제 1 항, 제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 투명판 두께검사 장치(100)를 포함하는 투명판 두께검사 시스템(200)으로서,투명판 두께검사 장치(100)의 제어부(140)로부터 전달받은 비교데이터 산술처리결과를 운용자에게 시각적으로 표시하는 영상출력장치(210); 및투명판 두께검사 장치(100)의 제어부(140)로부터 전달받은 측정대상 투명판(10)의 두께값이 기설정된 두께 범위 내의 값일 경우 합격신호를 출력하고, 측정대상 투명판(10)의 두께값이 기설정된 두께 범위를 벗어나는 값일 경우 불합격신호를 출력하는 합격판별장치(220);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 시스템
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서,상기 합격판별장치(220)에 입력된 기설정된 두께 범위는, 운용자에 의해 변경 가능한 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 시스템
|
| 13 |
13
제 12항에 따른 투명판 두께검사 시스템을 운용하는 방법(S100)으로서,a) 기준투명판(110)을 장착하고, 측정대상 투명판(10)의 합격 두께 범위를 설정하는 준비단계(S110);b) 기준투명판(110)과 측정대상 투명판(10)에 각각 레이저를 조사하는 레이저조사단계(S120);c) 기준투명판(110)과 측정대상 투명판(10)을 투과한 레이저를 수광하여 간섭패턴을 획득하는 간섭패턴 획득단계(S130);d) 간섭패턴 획득단계(S130)로부터 획득한 간섭패턴 데이터를 바탕으로 위상차를 계산하여 측정대상 투명판(10)의 두께를 기준투명판(110)과 비교하여 비교데이터를 산술처리하는 산술처리단계(S140); 및e) 비교데이터 산술처리결과를 운용자에게 시각적으로 표시하고, 측정대상 투명판(10)의 합격 또는 불합격 여부를 출력하는 결과출력단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 시스템 운용방법
|
| 14 |
14
제 13 항에 있어서,상기 산술처리단계(S140)는:d-1) 간섭패턴을 통해 간섭된 레이저의 광강도 I 값을 검출하는 광감도검출단계(S141);d-2) 검출된 광감도 값을 이용하여 제 1 레이저와 제 2 레이저의 위상차 값을 계산하는 위상차 계산단계(S142); 및d-3) 계산된 위상차 값을 이용하여 기준투명판(110)과 측정대상 투명판(10)의 두께 차이를 계산하는 두께 계산단계(S143);를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명판 두께검사 시스템 운용방법
|
