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선격자 편광자의 제조 방법(MANUFACTURING METHOD OF WIRE GRID POLARIZER)

  • 기술번호 : KST2017006208
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 선격자 편광자의 제조 방법은, 일면에 나노 구조체를 가지는 스탬프를 준비하고 상기 일면에 이방성 진공 증착으로 마스크층을 형성하는 단계와, 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, 마스크층 가운데 나노 구조체 상부의 마스크층을 금속막 위로 전사하는 단계와, 금속막 가운데 마스크층으로 덮이지 않은 부위를 건식 식각으로 제거하여 금속막을 금속선들로 패터닝하는 단계를 포함한다.
Int. CL G02B 5/30 (2015.10.21)
CPC G02B 5/3058(2013.01)
출원번호/일자 1020150131007 (2015.09.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0033106 (2017.03.24) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.09.16)
심사청구항수 24

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정준호 대한민국 대전광역시 서구
2 최준혁 대한민국 대전광역시 서구
3 최대근 대한민국 대전광역시 유성구
4 전소희 대한민국 서울특별시 서초구
5 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구
6 정주연 대한민국 대전광역시 유성구
7 황순형 대한민국 대전광역시 유성구
8 성상근 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0901033-51
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2016.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0187028-18
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0330756-96
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0565272-08
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0565284-45
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0704346-07
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.11.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1077050-34
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2016-1077049-98
9 등록결정서
Decision to grant		 2017.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0146114-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일면에 복수의 돌출부를 가지는 스탬프를 준비하고, 상기 스탬프의 두께 방향과 일치하는 방향으로 이방성 진공 증착을 진행하여 상기 복수의 돌출부 각각의 상부 표면과 상기 복수의 돌출부 사이의 오목한 표면에 마스크층을 형성하는 단계;기판 위에 금속막을 형성하는 단계;상기 마스크층 가운데 상기 복수의 돌출부 각각의 상부 표면에 위치한 마스크층을 상기 금속막 위로 전사하는 단계;상기 금속막 가운데 상기 마스크층으로 덮이지 않은 부위를 건식 식각으로 제거하여 상기 금속막을 금속선들로 패터닝하는 단계를 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 마스크층은 무기물 또는 상기 금속막과 다른 종류의 금속을 포함하며,상기 금속막의 식각 가스에 대한 상기 금속막 대비 상기 마스크층의 식각 비율은 1 이하인 선격자 편광자의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 마스크층은 실리콘산화물, 실리콘질화물, 폴리실리콘, 알루미늄산화물, 알루미늄, 구리, 금, 텅스텐, 티타늄, 및 티타늄-텅스텐 중 어느 하나의 단일막 또는 이들의 적층막으로 형성되는 선격자 편광자의 제조 방법
4 4
제2항에 있어서,상기 금속막 위에 접착 프라이머를 포함하는 접착층이 형성되며,상기 마스크층은 상기 접착층 위에 전사되는 선격자 편광자의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 금속막 위에 상기 금속막과 다른 종류의 금속을 포함하는 하드 마스크층이 형성되고,상기 금속막의 식각 가스에 대한 상기 금속막 대비 상기 하드 마스크층의 식각 비율은 1 이하인 선격자 편광자의 제조 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 마스크층은 무기물 또는 상기 하드 마스크층과 다른 종류의 금속을 포함하며,상기 하드 마스크층의 식각 가스에 대한 상기 하드 마스크층 대비 상기 마스크층의 식각 비율은 1 이하인 선격자 편광자의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 마스크층은 상기 하드 마스크층 위에 전사되며,상기 금속막을 상기 금속선들로 패터닝하는 단계는 제1 식각 가스를 이용하여 상기 하드 마스크층을 건식 식각하는 제1 과정과, 제2 식각 가스를 이용하여 상기 금속막을 건식 식각하는 제2 과정을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 제2 과정에서 상기 마스크층의 전부와 상기 하드 마스크층의 일부는 식각으로 제거되는 선격자 편광자의 제조 방법
9 9
제6항에 있어서,상기 하드 마스크층 위에 접착 프라이머를 포함하는 접착층이 형성되고,상기 마스크층은 상기 접착층 위에 전사되는 선격자 편광자의 제조 방법
10 10
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크층은 적어도 하나의 마스크 물질층과 적어도 두 개의 기능층을 가지는 다층막 구조로 형성되고,상기 기능층은 상기 스탬프의 표면과 접하는 이형층과, 상기 마스크 물질층 위에 형성된 접착 강화층을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 이형층은 금속을 포함하고,상기 마스크 물질층은 무기물 또는 상기 이형층 및 상기 금속막과 다른 종류의 금속을 포함하며,상기 접착 강화층은 상기 금속막과 같은 종류의 금속을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
12 12
제10항에 있어서,상기 마스크 물질층은 적어도 두 개의 층으로 분리되며,상기 기능층은 상기 분리된 적어도 두 개의 층들 사이 각각에 형성되어 상기 마스크층 전체의 유연성을 높이는 적어도 하나의 유연층을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
13 13
일면에 복수의 돌출부를 가지는 스탬프를 준비하고, 상기 스탬프의 두께 방향에 대해 경사진 방향으로 이방성 진공 증착을 진행하여 상기 복수의 돌출부 각각의 상부 표면과 일 측면에 마스크층을 형성하는 단계;기판 위에 금속막을 형성하는 단계;상기 마스크층을 상기 금속막 위로 전사하는 단계; 및상기 금속막 가운데 상기 마스크층으로 덮이지 않은 부위를 건식 식각으로 제거하여 상기 금속막을 금속선들로 패터닝하는 단계를 포함하며,상기 금속막 위로 전사된 상기 마스크층은 일정한 두께의 평탄부와, 상기 평탄부의 일측 가장자리와 접하는 돌기를 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
14 14
제13항에 있어서,상기 금속막 위로 전사된 상기 마스크층은 식각 가스에 노출되어 상기 평탄부가 모두 제거될 때까지 식각되고,상기 돌기의 일부가 남아 최종 마스크층을 구성하는 선격자 편광자의 제조 방법
15 15
제13항에 있어서, 상기 마스크층은 서로 다른 두 방향에서 경사 증착되어 상기 복수의 돌출부 각각의 상부 표면과 양 측면에 형성되고,상기 금속막 위로 전사된 상기 마스크층에서 상기 돌기는 상기 평탄부의 양측 가장자리와 접하는 선격자 편광자의 제조 방법
16 16
제15항에 있어서,상기 금속막 위로 전사된 상기 마스크층은 식각 가스에 노출되어 상기 평탄부가 모두 제거될 때까지 식각되고,상기 돌기의 일부가 남아 최종 마스크층을 구성하는 선격자 편광자의 제조 방법
17 17
제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마스크층은 무기물 또는 상기 금속막과 다른 종류의 금속을 포함하며,상기 금속막의 식각 가스에 대한 상기 금속막 대비 상기 마스크층의 식각 비율은 1 이하인 선격자 편광자의 제조 방법
18 18
제17항에 있어서,상기 금속막 위에 접착 프라이머를 포함하는 접착층이 형성되며,상기 마스크층은 상기 접착층 위에 전사되는 선격자 편광자의 제조 방법
19 19
제17항에 있어서,상기 금속막 위에 상기 금속막과 다른 종류의 금속을 포함하는 하드 마스크층이 형성되고,상기 금속막의 식각 가스에 대한 상기 금속막 대비 상기 하드 마스크층의 식각 비율은 1 이하인 선격자 편광자의 제조 방법
20 20
제19항에 있어서,상기 마스크층은 상기 하드 마스크층 위에 전사되며,상기 금속막을 상기 금속선들로 패터닝하는 단계는 제1 식각 가스를 이용하여 상기 하드 마스크층을 건식 식각하는 제1 과정과, 제2 식각 가스를 이용하여 상기 금속막을 건식 식각하는 제2 과정을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
21 21
제17항에 있어서,상기 마스크층은 적어도 하나의 마스크 물질층과 적어도 두 개의 기능층을 가지는 다층막 구조로 형성되고,상기 기능층은 상기 스탬프의 표면과 접하는 이형층과, 상기 마스크 물질층 위에 형성된 접착 강화층을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
22 22
제21항에 있어서,상기 이형층은 금속을 포함하고,상기 마스크 물질층은 무기물 또는 상기 이형층 및 상기 금속막과 다른 종류의 금속을 포함하며,상기 접착 강화층은 상기 금속막과 같은 종류의 금속을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
23 23
제21항에 있어서,상기 마스크 물질층은 적어도 두 개의 층으로 분리되며,상기 기능층은 상기 분리된 적어도 두 개의 층들 사이 각각에 형성되어 상기 마스크층 전체의 유연성을 높이는 적어도 하나의 유연층을 포함하는 선격자 편광자의 제조 방법
24 24
제1항 또는 제13항에 있어서,상기 스탬프는 가요성 물질로 형성되고, 상기 마스크층이 상기 기판을 향하도록 상기 기판 위에 정렬되며, 롤러에 의해 가압된 후 상기 기판으로부터 분리되는 선격자 편광자의 제조 방법
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