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요약 |
본 발명의 실시예에 따른 혼성 압력 센서를 제공한다. 혼성 압력 센서는 압전 소자, 상기 압전 소자로부터 발생한 신호들을 측정하여 처리하는 제어부를 포함하고, 상기 압전 소자는, 상면 및 이에 대향하는 하면을 가지는 압전층, 상기 압전 소자의 상기 상면 상에 배치되는 제 1 전극 및 상기 압전 소자의 상기 하면 상에 배치되는 제 2 전극을 포함하고, 상기 신호들은 상기 제 1 전극의 저항 변화, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이의 거리에 따른 전기 용량 변화 및 상기 압전층에 가해지는 힘에 의해 발생되는 전압에 관한 신호이다.
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Int. CL |
G01L 1/00 (2006.01.01) G01L 1/14 (2006.01.01) G01L 1/16 (2006.01.01) G01L 1/22 (2006.01.01)
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CPC |
G01L 1/00(2013.01) G01L 1/00(2013.01) G01L 1/00(2013.01) G01L 1/00(2013.01)
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출원번호/일자 |
1020160018601
(2016.02.17)
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출원인 |
한국전자통신연구원
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등록번호/일자 |
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공개번호/일자 |
10-2017-0033761
(2017.03.27)
문서열기
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공고번호/일자 |
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국제출원번호/일자 |
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국제공개번호/일자 |
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우선권정보 |
대한민국 | 1020150131089 | 2015.09.16
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법적상태 |
공개 |
심사진행상태 |
수리 |
심판사항 |
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구분 |
신규 |
원출원번호/일자 |
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관련 출원번호 |
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심사청구여부/일자 |
Y
(2020.03.11)
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심사청구항수 |
10 |