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매트릭스 형태로 배치된 복수 개의 전자석들;상기 전자석들 상에서 자기력에 의하여 부상하며 적어도 하나의 제1 영구자석을 갖는 제1 파지부재;상기 제1 파지부재와 마주하며 상기 전자석들 상에서 자기력에 의하여 부상하며 적어도 하나의 제2 영구자석을 갖는 제2 파지부재;상기 전자석들에 연결되어 각각의 상기 전자석들에 인가되는 전류의 방향과 전류의 세기를 조절하는 전류 조절부; 및부도체로 형성되고 상기 전자석들 상에 배치되어 상기 전자석들을 덮는 베이스 플레이트를 포함하며,상기 제1 파지부재 및 상기 제2파지 부재는상기 베이스 플레이트 상에서, 서로 마주하여 X축, Y축, 및 Z축 방향으로 이동하고, 상기 X축, 상기 Y축, 및 상기 Z축 상에서 A방향, B방향 및 C방향으로 각각 회전하는 자기부상을 이용한 그리퍼
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제1 항에 있어서,상기 제1 파지부재는 외형을 이루는 하우징과 상기 하우징 내에 배치된 복수 개의 제1 영구자석을 포함하는 자기부상을 이용한 그리퍼
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제2 항에 있어서,상기 하우징에는 파지대상 물체과 맞닿는 파지 홈이 형성된 자기부상을 이용한 그리퍼
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제2 항에 있어서,상기 하우징은 파지대상 물건과 끼움 결합되는 지지부를 갖는 자기부상을 이용한 그리퍼
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제4 항에 있어서,상기 지지부는 돌기로 이루어진 자기부상을 이용한 그리퍼
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제4 항에 있어서,상기 지지부는 홈으로 이루어진 자기부상을 이용한 그리퍼
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제2 항에 있어서,상기 영구자석들은 기둥 형상으로 이루어지고 상기 영구자석의 N극과 S극은 높이 방향으로 배열된 자기부상을 이용한 그리퍼
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제2 항에 있어서,상기 하우징 내에는 4개의 영구자석이 설치되고 상기 영구자석들은 상기 하우징의 코너부에 배치된 자기부상을 이용한 그리퍼
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제2 항에 있어서,상기 하우징 내에는 하나의 영구자석이 설치되고, 상기 영구자석은 십자 막대 형상으로 이루어진 자기부상을 이용한 그리퍼
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제1 항에 있어서,상기 전자석은 공심형 코일로 이루어진 자기부상을 이용한 그리퍼
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