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경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈; 및상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부;를 포함하는, 전자기파 변환 모듈
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2
제 1 항에 있어서,상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 단면적 변환부로 집속시키는 집속 렌즈를 더 포함하고,상기 단면적 변환부는,상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는, 전자기파 변환 모듈
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제 2 항에 있어서,상기 스캐닝 렌즈 및 상기 집속 렌즈는 대칭형 렌즈인, 전자기파 변환 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 단면적 변환부는,제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비되는, 전자기파 변환 모듈
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5
제 4 항에 있어서,상기 단면적 변환부는,포물면(parabolic) 형상을 가지는, 전자기파 변환 모듈
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제 4 항에 있어서,상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 전자기파 변환 모듈
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7 |
7
제 4 항에 있어서,상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비되는, 전자기파 변환 모듈
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8
제 1 항에 있어서,상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 상기 단면적 변환부 및 상기 검출부는 일직선 상에 배치되는, 전자기파 변환 모듈
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9
입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부;상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈;상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는 단면적 변환부; 및상기 단면적 변환부에 의해 단면적이 변환된 전자기파를 검출하는 검출부를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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10
제 9 항에 있어서,상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 단면적 변환부로 집속시키는 집속 렌즈를 더 포함하고,상기 단면적 변환부는,상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파의 단면적의 크기를, 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작게 변환시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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11
제 10 항에 있어서,상기 스캐닝 렌즈 및 상기 집속 렌즈는 대칭형 렌즈인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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12
제 9 항에 있어서,상기 단면적 변환부는,제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고, 제 1 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 상기 집속 렌즈로부터 입사되는 전자기파가 출사되는 측에 구비되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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13
제 12 항에 있어서,상기 단면적 변환부는,포물면(parabolic) 형상을 가지는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 12 항에 있어서,상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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15
제 12 항에 있어서,상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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16
제 12 항에 있어서,상기 단면적 변환부는,제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하는 제 1 단면적 변환부; 및제 3 단면적을 가지는 제 3 개구부 및, 제 4 단면적을 가지는 제 4 개구부를 포함하는 제 2 단면적 변환부를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 16 항에 있어서,상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적보다 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 제 3 단면적과 같거나 작고, 제 4 단면적은 제 3 단면적보다 작고, 상기 제 4 단면적은 상기 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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18
제 16 항에 있어서,상기 제 1 개구부, 상기 제 2 개구부, 상기 제 3 개구부 및 상기 제 4 개구부는 일직선상에 배치되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 9 항에 있어서,상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 상기 단면적 변환부 및 상기 검출부는 일직선 상에 배치되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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20
제 9 항에 있어서,전자기파 생성부로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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