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하부 트레이;상기 하부 트레이 내에 안착될 수 있는 상부 트레이로서, 처리될 기판을 수용할 수 있는 하나 이상의 기판 수용 요부가 상부에 형성되어 있는 상부 트레이;상기 상부 트레이의 상부에 배치되어 상기 기판 수용 요부를 밀폐시키는 플랭크를 포함하고;이때 상기 하부 트레이는 트레이 바닥 및 상기 트레이 바닥으로부터 상방으로 연장하는 트레이 벽을 구비하고, 상기 트레이 벽부에 하나 이상의 공극이 형성되며, 상기 하부 트레이의 내부는 상기 하나 이상의 공극을 통해 상기 트레이 외부 환경과 서로 유체가 소통될 수 있게 연결되며,상기 상부 트레이의 기판 수용 요부는 기판 수용 요부 바닥 및 기판 수용 요부 벽을 구비하고, 상기 요부 벽의 두께는 처리될 기판의 두께보다 크며, 상기 기판 수용 요부 바닥 및 기판 수용 요부 벽 모두에 하나 이상의 공극이 형성되되 상기 하부 트레이와 상기 기판 수용 요부가 상기 하나 이상의 공극에 의해 서로 유체가 소통될 수 있게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치
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제 1항에 있어서,상기 하부 트레이는, 트레이 바닥 및 상기 트레이 바닥으로부터 상방으로 연장하는 트레이 벽을 구비하고, 상기 상부 트레이는 그 몸체로부터 연장하는 플랜지부를 구비하며,상기 플랜지부가 상기 트레이 벽 상단에 지지됨으로써, 상기 상부 트레이 몸체 밑면이 상기 하부 트레이 바닥으로부터 이격되는,박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치
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제 1항에 있어서,상기 상부 트레이와 상기 하부 트레이가 서로 기밀 체결되며,상기 상부 트레이와 상기 플랭크가 서로 기밀 체결되는,박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치
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칼코젠 기화 소스를 수용하기 위한 하부 트레이;상기 하부 트레이 내에 안착될 수 있는 상부 트레이로서, 전구체가 적층된 기판을 수용하기 위한 하나 이상의 기판 수용 요부가 상부에 형성되어 있는 상부 트레이;상기 상부 트레이의 상부에 배치되어 상기 기판 수용 요부를 밀폐시키는 플랭크를 포함하며;상기 칼코젠 기화 소스는 황(S), 셀레늄 (Se) 및 칼코젠 화합물 (SeS2)중 하나 이상을 포함하고,상기 전구체는 구리(Cu), 아연 (Zn), 주석 (Sn), 갈륨(Ga) 및 인듐(In) 중 하나 이상을 포함하며,이때 상기 하부 트레이는 트레이 바닥 및 상기 트레이 바닥으로부터 상방으로 연장하는 트레이 벽을 구비하고, 상기 트레이 벽부에 공극이 형성되며, 상기 하부 트레이의 내부는 상기 공극을 통해 상기 트레이 외부 환경과 서로 유체가 소통될 수 있게 연결되며,상기 상부 트레이의 기판 수용 요부는 기판 수용 요부 바닥 및 기판 수용 요부 벽을 구비하고, 상기 요부 벽의 두께는 처리될 기판의 두께보다 크며, 상기 기판 수용 요부 바닥 및 기판 수용 요부 벽 모두에 하나 이상의 공극이 형성되되 상기 하부 트레이와 상기 기판 수용 요부가 상기 하나 이상의 공극에 의해 서로 유체가 소통될 수 있게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치
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제 7항에 있어서,상기 하부 트레이는, 트레이 바닥 및 상기 트레이 바닥으로부터 상방으로 연장하는 트레이 벽을 구비하고, 상기 상부 트레이는 그 몸체로부터 연장하는 플랜지부를 구비하며,상기 플랜지부가 상기 트레이 벽 상단에 지지됨으로써, 상기 상부 트레이 몸체 밑면이 상기 하부 트레이 바닥으로부터 이격되는,박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치
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제 7항에 있어서,상기 상부 트레이와 상기 하부 트레이가 서로 기밀 체결되며,상기 상부 트레이와 상기 플랭크가 서로 기밀 체결되는,박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치
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제1항 또는 제7항에 따른 칼코젠 열처리 내부 장치를 이용하여 칼코젠 열처리하는 방법으로서, 1) 기화시키기 위한 칼코젠 기화 소스를 하부 트레이 상에 주입하는 단계; 2) 상기 칼코젠 열처리 내부 장치를 열처리 챔부 내부에 배치시키는 단계; 3) 열원에 의한 가열 전에 진공 및 상압을 연속적으로 수행하는 단계; 4) 열원에 의해 상기 칼코젠 열처리 내부 장치를 가열함으로써, 기판 열전달 및 칼코젠 기화를 동시에 수행하는 열처리 단계;를 포함하는 칼코젠 열처리 방법
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