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기판, 상기 기판에 위에 배치되는 적층하고자 하는 적층 소재, 상기 기판 위의 적층 소재에 와이어를 공급하는 와이어 공급장치, 상기 와이어 공급 장치에서 공급되는 와이어와 상기 기판 위의 적층 소재에 전자빔을 발생시키는 전자총, 및 상기 기판에 접촉되고 상기 기판에 전달된 열을 냉각하고, 상기 기판의 하부에 설치되는 냉각부재를 포함하고,상기 냉각부재의 내부에는 열 매체가 순환되는 메인 냉각 유로가 형성되고,상기 메인 냉각 유로에는 상기 냉각부재의 외측에 위치되는 제1 외부 냉각 순환관이 설치되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제1항에 있어서,상기 냉각부재는 알루미늄(Al), 베릴륨(Be), 구리(Cu)와 같은 금속으로 이루어지는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제2항에 있어서,상기 냉각부재는 상기 기판의 하단부 외측면을 둘러싸는 크기로 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 냉각 유로는 상기 냉각부재의 어느 일측에서 타측으로 관통 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제4항에 있어서,상기 메인 냉각 유로는 상기 기판의 직하부에 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제5항에 있어서,상기 메인 냉각 유로의 단면 형상은 원형, 사각형, 다각형, 타원형 중에서 선택되는 어느 하나의 형상으로 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 냉각 유로에는 상기 메인 냉각 유로로부터 적어도 하나 이상 분기된 분기 냉각 유로가 연통 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제7항에 있어서,상기 분기 냉각 유로의 단면 형상은 원형, 사각형, 다각형, 타원형 중에서 선택되는 어느 하나의 형상으로 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 외부 냉각 순환관은 제1 연결관에 의하여 상기 메인 냉각 유로와 연통되게 연결되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제7항에 있어서,상기 분기 냉각 유로에는 상기 냉각부재의 외측에 위치되는 제2 외부 냉각 순환관이 설치되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제10항에 있어서,상기 제2 외부 냉각 순환관은 제2 연결관에 의하여 상기 분기 냉각 유로와 연통되게 연결되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제11항에 있어서,상기 열 매체는 물, 오일, 알코올과 같은 액체로 이루어지는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 외부 냉각 순환관의 단면 형상은 원형, 타원형, 사각형, 다각형, 다면체의 각 면에 삼각형으로 돌출된 구조 중 어느 하나로 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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제11항에 있어서,상기 제2 외부 냉각 순환관의 단면 형상은 원형, 타원형, 사각형, 다각형, 다면체의 각 면에 삼각형으로 돌출된 구조 중 어느 하나로 형성되는 것인 전자빔 3차원 적층 변형 방지 장치
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