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블록공중합체에 있어서,폴리스틸렌-블록-폴리메틸메타크릴레이트(PS-b-PMMA) 블록공중합체에서, 폴리스티렌 블록에 아지드기가 결합되어 가교결합이 가능하게 된 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체
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제 1항에 있어서, 상기 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체는 아래의 화학식1로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체
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제 2항에 있어서, 상기 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체에 포함된 아지드기는 5 내지 10mol%인 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체
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제 2항에 있어서, 상기 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체에 포함된 아지드기의 양에 따라 식각 선택성이 달라지는 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체
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가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체의 제조방법에 있어서,라프트(RAFT) 중합법으로 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 블록을 중합하는 PMMA 합성단계;P(S-r-(S-Cl))-b-PMMA 합성단계;상기 P(S-r-(S-Cl))-b-PMMA 블록공중합체에서 염소기를 아지드기로 치환하여 P(S-r-(S-N3))-b-PMMA 블록공중합체를 합성하는 P(S-r-(S-N3))-b-PMMA 합성단계; 및 폴리스티렌(PS) 블록 부분에 가교결합을 형성하는 가교결합 형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체의 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 P(S-r-(S-Cl))-b-PMMA 중합단계는상기 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 블록에 스티렌(styrene)과 4-비닐벤질클로라이드(4-vinylbenzyl chloride)를 라프트(RAFT) 중합법으로 랜덤하게 중합하여 P(S-r-(S-Cl))-b-PMMA 블록공중합체를 합성하는 단계인 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체의 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 P(S-r-(S-N3))-b-PMMA 중합단계는상기 P(S-r-(S-Cl))-b-PMMA 블록공중합체를 아조디이소부티로니트릴(AIBN) 및 톨루엔(toluene) 용액에서 반응시켜 라프트 시약(RAFT agent)을 제거한 뒤, 과량의 아지드화나트륨(NaN3)과 반응시켜 염소기(-Cl기)를 아지드기(-N3기)로 치환하는 단계인 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체의 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 가교결합 형성단계는상기 P(S-r-(S-N3))-b-PMMA 블록공중합체를 neutral brush로 처리된 실리콘 기판에 스핀코팅한 뒤 150 내지 300℃에서 써멀 어닐링(thermal annealing)하여 수직 배향시키고 200 내지 300℃에서 처리하여 폴리스티렌(PS)블록 부분이 가교결합을 형성하도록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 가교결합 가능한 기능기가 도입된 PS-b-PMMA 블록공중합체의 제조방법
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