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마이크로 가스센서 제조방법(METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO GAS SENSOR)

  • 기술번호 : KST2017007001
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 가스센서를 구성하는 감지전극 상에 도포되는 감지물질을 정확하게 도포하기 위한 마이크로 가스센서 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판 상부에 제1절연막을 형성하는 단계와, 상기 제1절연막 상부에 가열 전극들을 형성하는 단계와, 상기 가열 전극들을 감싸며 상기 제1절연막 상부에 제2절연막을 형성하는 단계와, 상기 제2절연막 상부에 감지전극들과 접지전극을 형성하는 단계와, 상기 감지전극들만을 에워싸는 위치에 초소수성 물질을 도포하여 초소수성 물질 박막층을 형성하는 단계와, 상기 초소수성 물질 박막층에 의해 둘러싸인 상기 감지전극들상에 감지물질을 도포하여 건조시키는 단계;를 포함함을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 27/407 (2006.01.01) B05D 5/00 (2006.01.01) B05D 7/02 (2006.01.01) B05D 3/02 (2006.01.01)
CPC G01N 27/4071(2013.01) G01N 27/4071(2013.01) G01N 27/4071(2013.01) G01N 27/4071(2013.01) G01N 27/4071(2013.01) G01N 27/4071(2013.01)
출원번호/일자 1020150141016 (2015.10.07)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0041506 (2017.04.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준식 대한민국 경기도 군포시 고산로***번길 **, *
2 박광범 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0972087-58
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-0114784-10
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0040178-32
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0250949-74
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0555788-93
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0581886-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-0704445-00
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0704457-47
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0808627-65
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번호 청구항
1 1
실리콘 기판 상부에 제1절연막을 형성하는 단계와;상기 제1절연막 상부에 가열 전극들을 형성하는 단계와;상기 가열 전극들을 감싸며 상기 제1절연막 상부에 제2절연막을 형성하는 단계와;상기 제2절연막 상부에 감지전극들과 접지전극을 형성하는 단계와;상기 감지전극들만을 에워싸는 위치에 초소수성 물질을 도포하여 초소수성 물질 박막층을 형성하는 단계와;상기 초소수성 물질 박막층에 의해 둘러싸인 상기 감지전극들상에 감지물질을 도포하여 건조시키는 단계;를 포함하되, 상기 가열 전극들이 형성된 실리콘 기판의 후면 영역을 제거하여 멤브레인 형성한 마이크로 가스센서 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 초소수성 물질 소재는 폴리프로필렌(polypropylene), Plasma Polymerized Fluorocarbon(PPFC), 폴리비닐이딘 플루오라이드(nylidene fluoride(PVDF)) 중 어느 하나임을 특징으로 하는 마이크로 가스센서 제조방법
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실리콘 기판 상부에 제1절연막을 형성하는 단계와;상기 제1절연막 상부에 복수의 그룹화된 가열 전극들을 형성하는 단계와;상기 복수의 그룹화된 가열 전극들을 감싸며 상기 제1절연막 상부에 제2절연막을 형성하는 단계와;상기 복수의 그룹화된 가열 전극들 각각이 위치하는 상기 제2절연막 상부에 복수의 그룹화된 감지전극들과 접지전극을 형성하는 단계와;상기 그룹화된 감지전극들 각각을 에워싸는 위치에 초소수성 물질을 도포하여 복수의 초소수성 물질 박막층을 형성하는 단계와;상기 초소수성 물질 박막층 각각에 의해 둘러싸인 감지전극들상에 감지물질을 도포하여 건조시키는 단계;를 포함하되, 상기 그룹화된 가열 전극들이 형성된 실리콘 기판의 후면 영역을 제거하여 멤브레인 형성한 어레이 형태의 마이크로 가스센서 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 초소수성 물질 소재는 폴리프로필렌(polypropylene), Plasma Polymerized Fluorocarbon(PPFC), 폴리비닐이딘 플루오라이드(nylidene fluoride(PVDF)) 중 어느 하나이며, 상기 감지물질은 서로 다른 종류의 감지물질을 사용함을 특징으로 하는 어레이 형태의 마이크로 가스센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜ 대양전기공업 SW융합형부품 기술개발사업 초소형 스마트 환경 센서 측정 모듈과 제어용 Chip 개발 및 응용 프로그램 개발