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섬모 구조를 이용한 전자소자의 전사인쇄 방법(Method for development of the transfer printing using cilia structure)

  • 기술번호 : KST2017007015
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 전자소자의 전사 인쇄방법은 핸들링 기판 위에 희생층을 형성하는 과정, 상기 희생층 위에 보호층을 형성하는 과정, 상기 보호층 위에 고분자 기판을 형성하는 과정, 상기 고분자 기판 위에 패턴을 형성하고, 상기 고분자 기판의 측면에 섬모 형상의 접착로드를 형성하는 과정, 상기 접착로드가 형성된 고분자 기판 위에 지지층을 형성하는 과정 및 상기 희생층 및 상기 보호층을 제거하고, 뒤집어 지지층을 용해시키면서 피인쇄체에 전사 인쇄하는 과정을 포함한다.
Int. CL H05K 3/12 (2015.11.20) H05K 3/32 (2015.11.20) H05K 1/03 (2015.11.20)
CPC H05K 3/12(2013.01) H05K 3/12(2013.01) H05K 3/12(2013.01) H05K 3/12(2013.01)
출원번호/일자 1020150140859 (2015.10.07)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0041440 (2017.04.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.10.07)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고흥조 대한민국 광주광역시 북구
2 윤종원 대한민국 광주광역시 북구
3 정윤경 대한민국 전라북도 군산시 해망로 ***-** (
4 유성광 대한민국 광주광역시 북구
5 김희제 대한민국 광주광역시 북구
6 황영규 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송정부 대한민국 서울특별시 마포구 양화로 **, ***호 (서교동, 삼인빌딩)(송특허법률사무소)
2 신용현 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, *층(삼성동, 삼영빌딩)(이버드특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0970952-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0175280-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0010335-06
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0221055-63
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0221069-02
7 등록결정서
Decision to grant
2017.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0470703-61
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번호 청구항
1 1
핸들링 기판 위에 희생층을 형성하는 과정;상기 희생층 위에 보호층을 형성하는 과정;상기 보호층 위에 고분자 기판을 형성하는 과정;상기 고분자 기판 위에 패턴을 형성하고, 상기 고분자 기판의 측면에 섬모 형상의 접착로드를 형성하는 과정;상기 접착로드가 형성된 고분자 기판 위에 지지층을 형성하는 과정 및상기 희생층 및 상기 보호층을 제거하고, 뒤집어 지지층을 용해시키면서 피인쇄체에 전사 인쇄하는 과정을 포함하는 전자소자의 전사 인쇄방법
2 2
청구항1에 있어서,상기 핸들링 기판은 유리 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 전자소자의 전사 인쇄방법
3 3
청구항1에 있어서,상기 희생층은 물에 녹을 수 있는 게르마늄 산화물(GeOx)을 포함하는 전자소자의 전사 인쇄방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 보호층은 물에 녹지 않는 실리콘 산화막, 금속 박막 및 고분자 박막 중에 선택되는 어느 하나를 포함하는 전자소자의 전사 인쇄방법
5 5
청구항1에 있어서,상기 고분자 기판은 폴리이미드(Polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르술폰(Polyethersulfone, PES), 폴리스타이렌(polystyrene, PS), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylen naphthalate, PEN), 폴리아릴레이트(Polyarylate, PAR) 및 SU-8 폴리머 중의 선택되는 어느 하나를 포함하는 전자소자의 전사 인쇄방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 섬모 형상의 접착로드는 박막형태로서 일자형 또는 Y자형인 것을 특징으로 하는 전자소자의 전사 인쇄방법
7 7
청구항 1에 있어서,상기 지지층은 폴리메틸 메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate, PMMA)을 포함하는 전사소자의 전사 인쇄방법
8 8
청구항 1에 있어서,상기 전사 인쇄과정은 유기용매와 접착제를 혼합한 접착용액을 투입하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자소자의 전사 인쇄방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 유기용매는 톨루엔, 아세톤 또는 헥산이며, 상기 접착제는 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 또는 폴리메틸 메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate, PMMA)인 것을 특징으로 하는 전자소자의 전사 인쇄방법
10 10
피인쇄체의 표면에 안정적으로 유연 전자소자를 전사 인쇄하기 위한 전사 인쇄용 전자소자 지지체로서,핸들링 기판;상기 핸들링 기판 위에 형성된 희생층;상기 희생층 위에 형성된 보호층;상기 보호층 위에 형성되며, 상면에 전자소자가 형성되도록 패터닝되어 있고, 측면에 섬모 형상의 접착로드가 형성되어 있는 고분자 기판 및상기 고분자 기판 위에 형성되어 이를 지지하는 지지층을 포함하는 전사 인쇄용 전자소자 지지체
11 11
청구항 10에 있어서,상기 고분자 기판은 폴리이미드(Polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르술폰(Polyethersulfone, PES), 폴리스타이렌(polystyrene, PS), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylen naphthalate, PEN), 폴리아릴레이트(Polyarylate, PAR) 및 SU-8 폴리머 중의 선택되는 어느 하나를 포함하는 전사 인쇄용 전자소자 지지체
12 12
청구항 10에 있어서,상기 섬모 형상의 접착로드는 박막형태로서 일자형 또는 Y자형인 것을 특징으로 하는 전사 인쇄용 전자소자 지지체
13 13
피인쇄체의 표면에 전사 인쇄되어 있는 유연 전자 소자로서,표면에 전자소자가 형성되도록 패터닝되어 있고, 측면에 섬모 형상의 접착로드가 형성되어 있는 고분자 기판을 포함하고, 상기 섬모 형상의 접착로드가 피인쇄체와 밀착되는 것을 특징으로 하는 유연 전자 소자
14 14
청구항 13에 있어서,상기 피인쇄체는 구부러질 수 있는 표면이 변형이 일어날 수 있는 유연한 소재 또는 표면의 단차가 형성되어 불규칙적인 소재인 것을 특징으로 하는 유연 전자 소자
15 15
청구항 13에 있어서,상기 섬모 형상의 접착로드는 박막형태로서 일자형 또는 Y자형인 것을 특징으로 하는 유연 전자 소자
16 16
청구항 13에 있어서,상기 섬모 형상의 접착로드와 상기 피인쇄체의 표면은 접착제를 매개로 밀착되는 것을 특징으로 하는 유연 전자 소자
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 광주과학기술원 중견연구자지원사업(핵심) 접합 및 접이 기술을 이용한 레고형 초박막 광전자 소자