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내부에 공간을 형성하는 밀폐부;상기 밀폐부의 공간에서 소정의 프로세스가 수행되는 프로세스 유닛; 개폐가 가능하며, 상기 밀폐부의 공간을 외부와 차단하는 도어유닛;상기 도어유닛에 부착되어 상기 도어유닛의 이동과 동시에 이동되며, 복수의 마커들을 포함하는 마커부; 상기 도어유닛의 마커부를 광학 센싱하는 센서유닛; 및상기 센서유닛의 센싱 결과로부터 상기 도어유닛이 이동한 것으로 판단되면 상기 프로세스 유닛의 동작을 즉각 중단시키는 제어유닛을 포함하고, 상기 센서유닛은 센싱영역의 내부에 위치하는 상기 마커부의 마커들을 센싱하는 것을 특징으로 하는 도어 동작 감지시스템
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제1항에 있어서, 상기 마커부는 상기 도어유닛의 외측에 부착되며, 상기 센서유닛은 상기 밀폐부의 외부에 위치하여 상기 마커부를 센싱하는 것을 특징으로 하는 도어 동작 감지시스템
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제2항에 있어서, 상기 제어유닛은, 상기 밀폐부의 내부에 위치하여 상기 프로세스 유닛의 동작을 즉각 중단하는 동작제어부; 및상기 센서유닛의 센싱 결과를 무선네트워크를 통해 수신하는 송수신부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 동작 감지시스템
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제1항에 있어서, 상기 제어유닛은, 상기 센서유닛에서 센싱된 상기 마커들의 정보를 바탕으로 상기 도어유닛이 이동하였는지의 여부를 판단하는 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 동작 감지시스템
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제5항에 있어서, 상기 판단부가 판단하는 상기 마커들의 정보는, 상기 센싱영역 내에서의, 상기 마커들의 개수의 변화, 상기 마커들의 움직임, 상기 마커들의 강도 변화 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 도어 동작 감지시스템
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