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하기 화학식 1로 표시되는 무연 압전 세라믹스:[화학식 1]0
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제 1항에 있어서,0
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제 2항에 있어서,5 kV/mm의 전기장 하에서, 역압전 상수(dynamic piezoelectric constant, d33*)가 800 pm/V인 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스
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(a) Bi2O3, Na2CO3, TiO2, K2CO3, SrCO3, Li2CO3 및 Nb2O5을 포함하는 혼합 분말을 분쇄하는 단계;(b) 상기 단계(a)에서 분쇄된 혼합 분말을 하소하는 단계; (c) 상기 단계(b)에서 하소한 혼합 분말을 이용해 성형체를 제조한 후 소결하는 단계; 및(d) 상기 단계(c)에서 얻은 소결체를 분극 정렬시키는 단계를 포함하는 무연 압전 세라믹스의 제조 방법
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제 4항에 있어서,상기 (b) 단계는 800 내지 900 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 제조 방법
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제 4항에 있어서,상기 (c) 단계는 1100 내지 1200 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제 1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 세라믹스를 포함하는 무연 압전 액추에이터
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제 7항에 있어서,적층형 다층 액추에이터(multilayer actuator, MLA)인 것을 특징으로 하는 무연 압전 액추에이터
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제 8항에 있어서,상기 적층형 다층 액추에이터(multilayer actuator, MLA)는 상기 세라믹스로 이루어진 10개 층을 포함하며, 4
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