| 1 |
1
진공 상태하에서 공정을 수행하는 진공장치 내의 히터 장치에 장착되는 열선 거치대에 있어서, 일면에 시편이 고정설치되는 시편홀더와 특정간격 이격되어 배치되는 판형태의 거치대몸체;상기 거치대몸체의 하면 가장자리 측에 구비되어, 상기 거치대몸체와 상기 시편홀더를 특정간격 이격시키는 복수의 지지부;상기 거치대몸체의 일단에 관통형성된 제1관통홀과, 상기 거치대몸체의 타단에 관통형성된 제2관통홀;상기 제1관통홀에 관통삽입되는 제1전극봉과, 상기 제2관통홀에 관통삽입되는 제2전극봉; 및상기 제1전극봉의 하단과 상기 제2전극봉의 하단 사이에 연결되는 열선;을 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 히터장치용 열선 거치대
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 거치대몸체의 일단과 타단 사이 하면에 형성되는 다수의 장착홈과, 상기 장착홈 각각에 장착되는 전극단을 포함하고, 상기 열선은 상기 제1전극봉 하단에서 다수의 전극단을 지그재그형태로 교차하여 상기 제2전극봉 하단에 연결되는 것을 특징으로 하는 다기능 히터장치용 열선 거치대
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서, 상기 거치대몸체와 상기 지지부는 세라믹으로 구성되고, 상기 열선은 텅스텐 필라멘트인 것을 특징으로 하는 다기능 히터장치용 열선 거치대
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 제1전극봉 상단과 상기 제2전극봉 상단 각각에 전극선을 고정시키는 연결용너트; 및상기 제1전극봉 상단에 고정된 전극선에 전압이 인가되고, 상기 제2전극봉 상단에 고정된 전극선은 그라운드되는 것을 특징으로 하는 다기능 히터장치용 열선 거치대
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 제1전극봉과 상기 제2전극봉은 관통형 몰리브덴 볼트로 구성되며, 상기 전극단은 비관통형 몰리브덴 볼트로 구성되고, 상기 연결용 너트는 몰리브덴 너트로 구성되는 것을 특징으로 하는 다기능 히터장치용 열선 거치대
|
| 6 |
6
진공장치용 다기능 히터장치에 있어서, 일단과 타단을 갖는 스테이지;상기 스테이지의 일단과 타단 사이에 장착되는 시편홀더;상기 시편홀더의 일측에 면접촉되어 고정설치되는 시편; 및상기 시편홀더에 장착되어지는 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 열선거치대;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서, 일단은 상기 스테이지의 일단 측에 특정간격 이격되어 위치되고, 타단은 상기 스테이지의 타단 측에 특정간격 이격되어 위치되는 전극층; 및상기 스테이지 일단과 상기 전극층 사이, 상기 스테이지 타단과 상기 전극층 사이에 구비되는 절연층;을 포함하고, 상기 열선 거치대의 지지부가 상기 전극층에 결합되어 거치대몸체에 설치된 열선과 상기 시편홀더가 특정간격 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서, 상기 열선 거치대의 제1전극봉 상단에 고정된 전극선을 통해 전압을 인가하는 제1전압인가부;를 포함하고, 상기 열선에서 발생된 복사열에 의해 상기 시편홀더와 상기 시편이 가열되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 시편홀더 일측에는 외부로 돌출된 손잡이를 더 포함하고, 상기 시편홀더는 상기 스테이지의 일단과 타단 사이 탈부착되어지는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 절연층은 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 11 |
11
제 10항에 있어서
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서, 상기 제2전압인가부에 의해 전압이 인가되면, 상기 열선에서 방출되는 열전자가 상기 시편과 상기 시편홀더 측으로 가속되어 충돌되면서, 상기 시편이 가열되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 13 |
13
제 12항에 있어서, 상기 시편 측 온도를 실시간으로 측정하는 온도센서와, 상기 제1전압인가부 및 상기 제2전압인가부 중 적어도 어느 하나를 제어하여 상기 시편의 온도를 설정된 온도값으로 유지하도록 하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
|
| 14 |
14
진공 상태하에서 공정을 수행하는 진공장치 내에 구비되는 제6항에 따른 히터 장치의 작동방법에 있어서, 제1전압인가부에 의해 제1전극봉 상단에 연결용 너트를 통해 결합된 전극선에 전압을 인가하는 단계; 상기 제1전극봉과 복수의 전극단과 상기 제2전극봉 사이에 구비된 열선에 전류가 흐르면서 발열되는 단계; 및상기 열선의 복사열에 의해 상기 열선과 특정간격 이격된 시편홀더와, 상기 시편홀더에 접촉된 시편이 가열되는 단계;를 포함하고,온도센서가 상기 시편 측의 온도를 실시간으로 측정하며, 제어부가 상기 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로 상기 제1전압인가부를 제어하여 상기 시편의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치의 작동방법
|
| 15 |
15
제 14항에 있어서, 전자빔 모드가 필요한 경우, 제2전압인가부가 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 단계; 및 상기 열선에서 방출되는 열전자가 상기 시편과 상기 시편홀더 측으로 가속되어 충돌되면서, 상기 시편이 가열되는 단계를 포함하고,제어부가 상기 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로 상기 제2전압인가부를 제어하여 상기 시편의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치의 작동방법
|
