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그래핀 저온 전사방법(LOW-TEMPERATURE TRANSFER METHOD OF GRAPHENE)

  • 기술번호 : KST2017007142
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고분자 매개성 그래핀 전사법을 이용하되, 고분자 잔류물 없는 깨끗한 표면을 가진 그래핀 박막이 전사된 기재(substrate)를 제조하는 방법; 그래핀 표면으로부터 잔류물 없이 고분자를 제거하는 방법; 그래핀 상 고분자 패턴 형성 방법; 유기용매 처리시 고분자층이 제거되지 않도록 그래핀 상에 고분자 층을 고정하는 방법; 및 고분자 잔류물 없는 깨끗한 표면을 가진 그래핀 박막이 전사된 기재를 포함하는 전기전자소자에 관한 것이다. 본 발명은 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태를 결정하고, 상기 결정된 금속 표면 상태로 금속 함유 층을 변화시키는 조건을 결정하는 것이 특징이다.
Int. CL C01B 31/04 (2016.10.19) H01B 1/04 (2016.10.19) H01B 5/14 (2016.10.19) B01J 21/00 (2016.10.19) B01J 23/00 (2016.10.19)
CPC
출원번호/일자 1020160133143 (2016.10.13)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0043472 (2017.04.21) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150142791   |   2015.10.13
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.13)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최원진 대한민국 대전광역시 서구
2 박세린 대한민국 대전광역시 유성구
3 이정오 대한민국 대전광역시 유성구
4 양철수 대한민국 경상북도 경산시 경안
5 공기정 대한민국 대전광역시 유성구
6 장현주 대한민국 대전광역시 유성구
7 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
8 임진오 대한민국 경기도 부천시 원미구
9 채시은 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0994735-86
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0255638-93
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0582336-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0582335-09
7 등록결정서
Decision to grant
2018.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0655117-99
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번호 청구항
1 1
고분자 매개성 그래핀 전사법을 이용하되, 고분자 잔류물 없는 깨끗한 표면을 가진 그래핀 박막이 전사된 기재(substrate)를 제조하는 방법에 있어서,순서대로 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체를 형성하는 제1단계; 상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는, 금속 함유 층의 금속 표면 상태로 변하는 것을 억제하는 4℃ 이하이면서 금속 함유 층을 제거하는 용액의 어는점 이상인 저온 조건하에, 금속 함유 층을 제거하는 제2단계; 및 상기 금속 함유 층이 제거된 그래핀 박막 및 고분자층을 구비한 복합체를 기재에 전사한 후 고분자를 제거하는 제3단계를 포함하는 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 제1단계는, 금속 함유 층 상에 형성된 그래핀 박막의 표면에 고분자층 형성시, 상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태로 변하는 것을 억제하는 저온 조건하에 고분자층을 형성시키거나, 상기 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체에 대해 상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태로 변화를 야기하는 고온 어닐링을 수행하지 않는 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기판의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 금속 함유 층은 그래핀 성장용 금속 촉매층인 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 그래핀 성장용 금속 촉매층은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, Fe, 황동(brass), 청동(bronze), 스테인레스 스틸(stainless steel), Ge 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로 부터 선택된 것을 포함하는 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 금속 함유 층은 금속 호일인 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 금속 함유 층은 구리 호일이고, 구리 호일 상 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 구리의 산화상태는 CuII인 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 금속 함유 층은 구리 호일이고 구리 호일 상 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 구리의 표면 상태는 평균 표면 거칠기가 10 나노미터 이상인 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 기재는 유리, 고분자, 반도체, 금속 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 기재는 투명성, 유연성, 또는 둘다를 가지는 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 제2단계는 금속 에칭 용액을 사용하고, 제3단계는 해당 고분자를 용해시키는 고분자 제거액을 사용하는 것이 특징인 그래핀 박막이 전사된 기재의 제조방법
12 12
그래핀 표면으로부터 잔류물 없이 고분자를 제거하는 방법에 있어서, 순서대로 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체를 형성하는 단계; 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 확인하여 상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태를 결정하고, 상기 결정된 금속 표면 상태로 금속 함유 층이 변하지 아니하는 조건을 결정하는 단계;고분자층이 완전히 제거될 때까지, 이전단계에서 결정된 조건으로, 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체를 관리하는 단계; 및고분자층을 제거하는 단계를 포함하는 것이 특징인 그래핀 상 고분자 제거 방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 복합체를 관리하는 단계는 상기 결정된 조건에서 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체로부터 금속 함유 층을 제거하는 단계를 포함하는 것이 특징인 그래핀 상 고분자 제거 방법
14 14
제12항에 있어서, 고분자층 제거 단계 이후, 금속 함유 층; 및 그래핀 박막을 구비한 복합체로부터 금속 함유 층을 제거하는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 그래핀 상 고분자 제거 방법
15 15
그래핀 상 고분자 패턴 형성 방법에 있어서,순서대로 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체를 형성하는 A단계; 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 확인하여 상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태를 결정하고, 상기 결정된 금속 표면 상태로 금속 함유 층을 변화시키는 조건을 결정하는 단계;상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태로 변화시키는 조건에서 상기 복합체를 처리하는 B단계; 및 고분자층 일부를 제거하여 그래핀 상에 고분자 패턴을 형성하는 C단계를 포함하되,상기 고분자 패턴에 해당하는 패턴으로 금속 함유 층을 상기 복합체 내에 형성하거나, 상기 고분자 패턴에 해당하는 금속 함유 층 부위에서만 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 상기 금속 표면 상태로 변화시킴으로써, 그래핀 상에 상기 고분자 패턴에 해당하는 고분자 층을 고정하여, C단계에서 고분자층 제거 시 그래핀 상에 고분자 패턴을 형성시키는 것이 특징인 그래핀 상 고분자 패턴 형성 방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 금속 함유 층의 구리 호일이고, 구리 호일 상 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 구리의 표면상태는 평균 표면 거칠기가 10 나노미터 이상이거나 구리의 산화상태는 CuII 인 것이 특징인 그래핀 상 고분자 패턴 형성 방법
17 17
유기용매 처리시 고분자층이 제거되지 않도록 그래핀 상에 고분자 층을 고정하는 방법에 있어서,순서대로 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체를 형성하는 단계; 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 확인하여 상기 금속 함유 층 상(上) 그래핀 박막의 표면에너지를 증가시키는 금속 함유 층의 금속 표면 상태를 결정하고, 상기 결정된 금속 표면 상태로 금속 함유 층을 변화시키는 조건을 결정하는 단계; 및이전 단계에서 결정된 금속 표면 상태로 금속 함유 층을 변화시키는 조건하에 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체를 처리하여 그래핀 상에 고분자 층을 고정하는 단계를 포함하는 것이 특징인 그래핀 상 고분자층 고정 방법
18 18
제17항에 있어서, 그래핀 상 고분자층 고정 단계 이후 금속 함유 층; 그래핀 박막; 및 고분자층을 구비한 복합체로부터 금속 함유 층을 제거하는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 그래핀 상 고분자층 고정 방법
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20 20
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1 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 다기능 그래핀 소재 및 소자화 기술 개발
2 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 분자제어를 통한 기능성 유/무기 소재 및 유연 전자 소자 개발
3 교육과학기술부 한국화학연구원 과학기술국제화사업 기능성 그래핀 소자 개발 및 응용
4 기획예산처 한국화학연구원 정부출연 일반사업 (Sub) 화학시뮬레이션 플랫폼 기반 구축