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나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판에 있어서,모든 각도의 빛에 대해 분석물질이 반응하도록 표면에 홈부 또는 돌부가 형성된 기판; 및배플이 설치된 증착챔버 내 증착공정을 통해 나노 크기의 증착입자를 성장시켜 상기 기판 상에 형성된 3차원 다공성 구조를 가지고, 내부에서 두께 방향으로 상대밀도 차이에 의해 밀도구배가 형성되는 나노포러스층;을 포함하고,상기 배플은 상기 증착입자의 이동을 위해 복수 개의 타공된 홀을 구비하여 상기 증착입자의 흐름을 제어함으로써, 상기 증착입자가 상기 기판에 균일하게 증착될 수 있도록 하며,증착챔버 내부에서 공정압력을 시간에 따라 변화시켜 상기 증착입자의 에너지와 크기를 변화시킴으로써, 상기 나노포러스층 내부에서 밀도구배를 형성하며,상기 나노포러스층 내부의 밀도구배에 있어서, 상기 공정압력을 시간에 따라 점진적으로 증가 또는 감소시켜, 상기 나노포러스층 두께의 바깥방향으로 상대밀도를 연속적으로 증가 또는 감소시킴으로써, 상기 나노포러스층을 형성하거나,또는, 상기 공정압력을 시간에 따라 이산적으로 증가 또는 감소시켜, 상기 나노포러스층 두께의 바깥방향으로 상대밀도를 단계적으로 증가 또는 감소시킴으로써, 상대밀도에 따라 구분된 레이어를 형성하면서 상기 나노포러스층을 형성하며, 상기 나노포러스층 내부의 밀도구배에 의해, 상기 기판과 상기 나노포러스층 사이의 접착력을 증가 또는 감소시키는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판
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청구항1에 있어서, 상기 나노포러스층은, 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 백금(Pt)으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판
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청구항1에 있어서,상기 나노포러스층은, 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 백금(Pt)으로 이루어진 군에서 선택되는 둘 이상 금속의 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판
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청구항1에 있어서, 상기 기판은 합성수지, 세라믹 물질, 유리, 규소, 금속 및 산화금속으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판
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청구항1에 있어서,상기 나노포러스층의 두께는, 1 내지 1000 나노미터(㎚)인 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판
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청구항1에 있어서, 상기 나노포러스층의 비표면적(specific surface area)값은 0
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청구항1에 있어서, 상기 나노포러스층은, 직경이1
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청구항1에 있어서,상기 나노포러스층은, 열증발법 또는 스퍼터링법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판
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나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판 제조방법에 있어서,(ⅰ) 증착챔버에 모든 각도의 빛에 대해 분석물질이 반응하도록 표면에 홈부 또는 돌부가 형성된 기판을 고정시키는 단계;(ⅱ) 상기 증착챔버 내부를 진공상태로 만들어주는 단계;(ⅲ) 진공상태인 상기 증착챔버에 공정가스를 주입하여 상기 공정가스가 초기공정압력을 형성하는 단계;(ⅳ) 상기 기판의 온도를 50℃ 이하로 설정하는 단계;(ⅴ) 증착물질이 담긴 증발원(heat source)의 온도를 상승시켜 상기 증착물질의 증기를 형성하는 단계; 및(ⅵ) 상기 (ⅴ)단계에서 생성된 증착입자가 상기 기판의 일면에 나노포러스층을 형성하고, 상기 증착챔버 내부에서 공정압력을 시간에 따라 변화시켜 상기 증착입자의 에너지와 크기를 변화시킴으로써, 상기 나노포러스층 내부에서 밀도구배를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 (ⅰ)단계와 상기 (ⅱ)단계 사이에, 상기 기판과 상기 증발원(heat source) 간 소정의 위치에 열 차단의 기능을 구비한 배플(baffle)을 설치하는 단계를 더 포함하며,상기 나노포러스층은 나노 크기의 상기 증착입자를 성장시켜 상기 기판 상에 형성된 3차원 다공성 구조를 가지고,상기 배플은 상기 증착입자의 이동을 위해 복수 개의 타공된 홀을 구비하여 상기 증착입자의 흐름을 제어함으로써, 상기 증착입자가 상기 기판에 균일하게 증착될 수 있도록 하며,상기 나노포러스층 내부의 밀도구배에 있어서, 상기 공정압력을 시간에 따라 점진적으로 증가 또는 감소시켜, 상기 나노포러스층 두께의 바깥방향으로 상대밀도를 연속적으로 증가 또는 감소시킴으로써, 상기 나노포러스층을 형성하거나,또는, 상기 공정압력을 시간에 따라 이산적으로 증가 또는 감소시켜, 상기 나노포러스층 두께의 바깥방향으로 상대밀도를 단계적으로 증가 또는 감소시킴으로써, 상대밀도에 따라 구분된 레이어를 형성하면서 상기 나노포러스층을 형성하며, 상기 나노포러스층 내부의 밀도구배에 의해, 상기 기판과 상기 나노포러스층 사이의 접착력을 증가 또는 감소시키는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판 제조방법
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청구항11에 있어서,상기 배플은, 1개 이상 3개 이하의 층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판 제조방법
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청구항11에 있어서,상기 배플은 금속, 합금 및 세라믹 물질로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판 제조방법
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청구항11에 있어서,상기 기판과 상기 배플 간의 거리는, 0
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청구항1의 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판을 이용한 물질 분석방법에 있어서,(ⅰ) 나노포러스층이 형성된 기판을 준비하는 단계;(ⅱ) 분석물질을 나노몰(nM) 농도로 용매에 분산시켜 분석용액을 획득하는 단계;(ⅲ) 상기 나노포러스층에 상기 분석용액을 도포하여 상기 분석물질을 흡착시키는 단계; 및(ⅳ) 상기 분석물질이 흡착된 상기 나노포러스층에 레이저를 조사하여 스펙트럼을 획득하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노포러스구조를 구비하는 표면강화 라만 산란(SERS) 기판을 이용한 물질 분석방법
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