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열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 및 그 제조방법(Vertical thermoelectric module using the thermoelectric film and method of manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2017007255
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 및 그 제조방법에 있어서, 복수의 기판 상부에 p형 열전필름 및 n형 열전필름을 각각 적층하는 단계와; 상기 p형 열전필름 및 상기 n형 열전필름이 각각 형성된 상기 기판을 적층하여 p형 다중층 및 n형 다중층을 각각 형성하는 단계와; 상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층의 최상부와 최하부에 코팅막을 형성하는 단계와; 상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층에 전극금속을 형성하고, 상기 코팅막을 제거하는 단계와; 상기 p형 다중층에 상기 전극금속이 형성된 p형 레그 및 상기 n형 다중층에 상기 전기금속이 형성된 n형 레그를 정렬하여 열전모듈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 2차원 열전필름을 사용하여 3차원 수직형 열전모듈을 제조할 수 있으며, 특히 초격자와 같은 2차원 나노구조 형성기술을 적용가능한 효과를 얻을 수 있다. 또한 2차원 미세공정기술 플랫폼에 열전기술이 직접적으로 접목될 수 있어 열전기술의 확장성, 실용성 및 양산성이 획기적으로 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 35/34 (2006.01.01) H01L 35/32 (2006.01.01) H01L 35/26 (2006.01.01) H01L 35/02 (2006.01.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01)
출원번호/일자 1020150143820 (2015.10.15)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0044305 (2017.04.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주성재 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김봉서 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 류병기 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 민복기 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 박수동 대한민국 경상남도 창원시 성산구
6 이지은 대한민국 서울특별시 성북구
7 이희웅 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0995602-56
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번호 청구항
1 1
열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법에 있어서,복수의 기판 상부에 p형 열전필름 및 n형 열전필름을 각각 적층하는 단계와;상기 p형 열전필름 및 상기 n형 열전필름이 각각 형성된 상기 기판을 적층하여 p형 다중층 및 n형 다중층을 각각 형성하는 단계와;상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층의 최상부와 최하부에 코팅막을 형성하는 단계와;상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층에 전극금속을 형성하고, 상기 코팅막을 제거하는 단계와;상기 p형 다중층에 상기 전극금속이 형성된 p형 레그 및 상기 n형 다중층에 상기 전기금속이 형성된 n형 레그를 정렬하여 열전모듈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 코팅막을 형성하는 단계 이후에,상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층을 x축에 수직한 방향을 따라 절단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 코팅막을 제거하는 단계 이후에,상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층을 y축에 수직한 방향을 따라 절단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 p형 열전필름 및 n형 열전필름을 각각 적층하는 단계는,상기 p형 열전필름 및 상기 n형 열전필름이 증착(vapor deposition), 도금(electroplating) 또는 프린팅(printing) 공정을 통해 적층되는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 p형 열전필름 및 n형 열전필름을 각각 적층하는 단계 이후에,상기 기판의 두께를 감소시키기 위하여 상기 p형 열전필름 또는 상기 n형 열전필름이 형성된 상기 기판의 이면에 후면연마(backside polishing)를 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 기판을 적층하여 p형 다중층 및 n형 다중층을 각각 형성하는 단계는,절연성 접착제를 이용하여 p형 필름이 형성된 상기 기판 사이 및 n형 필름이 형성된 상기 기판 사이를 접착하여 상기 p형 다중층 및 상기 n형 다중층을 형성하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 열전모듈을 형성하는 단계는,상기 p형 레그 및 상기 n형 레그가 절연성 접착제에 의해 서로 접착되는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
8 8
제 1항에 있어서,상기 p형 레그의 전극금속과 상기 n형 레그의 전극금속은 서로 상이한 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
9 9
제 1항에 있어서,상기 기판은 강성 기판(rigid substrate) 또는 유연 기판(flexible substrate) 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
10 10
제 1항에 있어서,상기 p형 열전필름 및 상기 n형 열전필름의 수평 방향은 온도구배가 걸리는 방향과 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈 제조방법
11 11
열전필름을 이용한 수직형 열전모듈에 있어서,한 쌍의 모듈상판 및 모듈하판과;p형 필름이 적층된 기판을 중첩하여 형성되는 p형 레그와;n형 필름이 적층된 기판을 중첩하여 형성되는 n형 레그와;상기 p형 레그 및 상기 n형 레그 각각의 최상부와 최하부에 형성되어 상기 p형 레그 및 상기 n형 레그의 최상부는 상기 모듈상판과, 상기 p형 레그 및 상기 n형 레그의 최하부는 상기 모듈하판과 결합되도록 사이에 형성된 전극금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 열전필름을 이용한 수직형 열전모듈
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.