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탄화규소 합성 분말; 및분산제를 포함하고,상기 분산제는 함량은 상기 탄화규소 합성분말 100 wt% 대비 0
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제 1 항에 있어서,상기 분산제는 polyethyleneimine (PEI) 또는 Tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH)인 탄화규소 슬러리
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제 1 항에 있어서,상기 탄화규소 합성분말은 소결조제를 포함하며,상기 소결조제는 Al-C계, Al-B-C계 및 B-C 계로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 탄화규소 슬러리
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제 3 항에 있어서,상기 소결조제의 함량은 상기 탄화규소 합성분말 100 wt% 대비 0을 초과하고 13wt% 이하인 탄화규소 슬러리
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탄화규소 원료물질 및 소결조제 원료물질을 기계적 합금화(mechanical alloying) 공정에 의해 합성 분말로 제조하는 단계; 및상기 합성 분말에 분산매 및 분산제를 혼합하는 단계를 포함하고,상기 소결조제는 Al-C계, Al-B-C계 및 B-C 계로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄화규소 슬러리의 제조방법
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Si와 Al, B, 및 B4C로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 물질과 탄소원을 기계적 합금화(mechanical alloying) 공정에 의해 합성하여, 내부에 소결조제가 분포하는 SiC계 합성 분말을 제조하는 단계; 및 상기 합성 분말에 분산매 및 분산제를 혼합하는 단계를 포함하고,상기 소결조제는 Al-C계, Al-B-C계 및 B-C 계로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄화규소 슬러리의 제조방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 합성 분말에 분산매 및 분산제를 혼합하는 것은, 상기 합성분말, 상기 분산매 및 상기 분산제를 교반을 통해 혼합하는 공정 및 상기 분산제의 분산을 촉진시키는 초음파 분산공정을 더 포함하는 탄화규소 슬러리의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 합성 분말에 분산매 및 분산제를 혼합하는 단계이후,볼밀 또는 유성밀의 처리 공정을 더 포함하는 탄화규소 슬러리의 제조방법
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