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이차원 물질을 포함한 반도체 소자(SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING TWO-DIMENSIONAL MATERIAL)

  • 기술번호 : KST2017007327
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이차원 물질을 포함한 반도체 소자가 개시된다. 일 실시예에 따른 반도체 소자는 기판, 기판 상에 형성되어 있으며 제1 영역과 이에 인접한 제2 영역을 갖는 이차원 물질층, 및 이차원 물질층의 제1 및 제2 영역과 각각 접촉하도록 형성된 소스/드레인 전극을 포함한다. 여기서, 제1 영역의 이차원 물질층의 표면에 흡착된 산소의 양인 제1 산소 흡착율과 상기 제2 영역의 이차원 물질층의 표면에 흡착된 산소의 양인 제2 산소 흡착율이 서로 다르다.
Int. CL H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 29/10 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 29/73 (2006.01.01) H01L 29/74 (2006.01.01)
CPC H01L 29/66136(2013.01) H01L 29/66136(2013.01) H01L 29/66136(2013.01) H01L 29/66136(2013.01) H01L 29/66136(2013.01) H01L 29/66136(2013.01)
출원번호/일자 1020150144946 (2015.10.16)
출원인 삼성전자주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0045040 (2017.04.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.09.23)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김언정 대한민국 경기도 오산시 운암로 ***, *
2 김효철 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 노영근 대한민국 서울특별시 송파구
4 박연상 대한민국 서울특별시 동작구
5 정재관 대한민국 서울특별시 강남구
6 이시영 대한민국 경기도 수원시 장안구
7 이영희 대한민국 경기도 수원시 권선구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-1004275-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
3 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1014133-43
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번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 상에 형성되어 있으며 제1 영역과 이에 인접한 제2 영역을 갖는 이차원 물질층; 및 상기 이차원 물질층의 제1 및 제2 영역과 각각 접촉하도록 형성된 소스/드레인 전극을 포함하고,상기 제2 영역의 이차원 물질층은 표면에 산소가 흡착된 산소 흡착 물질층을 포함하는 반도체 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 산소 흡착 물질층의 일함수(work function)는 상기 제1 영역의 이차원 물질층의 일함수와 비교하여 0
3 3
제2항에 있어서,상기 이차원 물질층은 MoS2로 형성된 반도체 소자
4 4
제3항에 있어서,상기 산소 흡착 물질층은 상기 제2 영역의 이차원 물질층의 표면에서의 산소 흡착율이 2% 이상인 반도체 소자
5 5
제4항에 있어서,상기 산소 흡착 물질층은 상기 제2 영역의 이차원 물질층의 표면에서의 산소 흡착율이 2~30%인 반도체 소자
6 6
제1항에 있어서,상기 소스/드레인 전극은 서로 다른 물질로 형성된 반도체 소자
7 7
제1항에 있어서,상기 소스/드레인 전극 중에서 하나의 전극은 Cr/Au로 형성되고 다른 하나의 전극은 Pd로 형성된 반도체 소자
8 8
제1항에 있어서,적어도 상기 이차원 물질층의 제1 영역을 덮도록 형성된 패시베이션층을 포함하는 반도체 소자
9 9
제8항에 있어서,상기 패시베이션층은 산소의 침투를 방지할 수 있는 절연 물질로 형성되는 반도체 소자
10 10
다층 구조체를 포함하는 반도체 소자에 있어서,이차원 물질로 이루어져 있으며, 제1 영역과 제2 영역을 가지되 상기 제2 영역의 이차원 물질의 표면에는 산소가 흡착된 산소 흡착 물질층을 포함하는 반도체층; 및상기 반도체층의 적어도 일면에 구비된 하나 이상의 비반도체층을 포함하는 반도체 소자
11 11
제10항에 있어서,상기 반도체 소자는 터널링 소자이고, 상기 반도체층은 터널링층인 반도체 소자
12 12
제10항에 있어서,상기 반도체 소자는 BJT(Binary Junction Transistor)이고,상기 반도체층은 터널링층인 반도체 소자
13 13
제10항에 있어서,상기 반도체 소자는 배리스터(barrister)이고, 상기 반도체층은 채널층인 반도체 소자
14 14
제10항에 있어서,상기 반도체 소자는 FET(Field Effect Transistor)이고,상기 반도체층은 채널층인 반도체 소자
15 15
제10항에 있어서,상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 인접하게 배치되어 있으며,상기 반도체 소자는 다이오드인 반도체 소자
16 16
기판; 상기 기판 상에 형성되어 있으며 제1 영역과 이에 인접한 제2 영역을 갖는 이차원 물질층; 및 상기 이차원 물질층의 제1 및 제2 영역과 각각 접촉하도록 형성된 소스/드레인 전극을 포함하고,상기 제1 영역의 이차원 물질층의 표면에 흡착된 산소의 양인 제1 산소 흡착율과 상기 제2 영역의 이차원 물질층의 표면에 흡착된 산소의 양인 제2 산소 흡착율이 서로 다른 반도체 소자
17 17
제16항에 있어서, 상기 제1 산소 흡착율은 0%이고, 상기 제2 산소 흡착율은 2% 이상인 반도체 소자
18 18
제17항에 있어서,상기 제2 산소 흡착율은 2~30%인 반도체 소자
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09991371 US 미국 FAMILY
2 US20170110564 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2017110564 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9991371 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.