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상부면 일측에서 하부면 일측까지 수직방향으로 연장되어 소정의 절연체로 둘러싸여 형성되는 전극 라인과 연결되는 감지 전극을 구비하며, 상부면에 검사대상 웨이퍼를 안착하는 웨이퍼 플레이트; 및복수 개의 접촉 프로브를 이용하여 상기 웨이퍼의 상면에 형성된 어느 하나의 반도체소자의 동일 전극의 서로 다른 두 지점에 각각 대응하는 영역과, 상기 전극 라인에 대응하는 상기 웨이퍼 플레이트의 하부면 상의 제1영역과, 상기 제1영역으로부터 소정 거리 이격된 상기 웨이퍼 플레이트의 하부면 상의 제2영역에 각각 접촉하여 상기 반도체소자의 전기적 특성을 측정하는 웨이퍼 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 웨이퍼 측정부는, 상기 반도체소자의 어느 하나의 전극에 대응하는 영역에 소정의 전압을 인가하고 상기 제1영역에 접지 전압을 인가한 후, 상기 반도체소자의 나머지 하나의 전극에 대응하는 영역과 상기 제2영역의 전위차를 측정하여 상기 반도체소자의 전기적 특성을 측정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 측정 장치
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제1항에 있어서,중앙에 절연유를 밀폐 상태로 수용하기 위한 소정 크기의 수용 홀이 형성되며, 상기 웨이퍼가 안착한 상기 웨이퍼 플레이트의 상부면에 장착되어 상기 웨이퍼의 상부를 눌러 고정하는 웨이퍼 고정 척을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 측정 장치
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제3항에 있어서,상기 웨이퍼 고정 척은,상기 웨이퍼 플레이트에 대응하는 크기로 형성되되 상기 수용 홀의 내주연 직경이 상기 웨이퍼의 외주연 직경보다 크게 형성되어 상기 웨이퍼 플레이트의 상부면에 장착되는 차폐부; 및상기 웨이퍼의 상부를 눌러 고정하도록 상기 웨이퍼 플레이트의 상부면에 장착되되 상기 수용 홀에 대응하는 위치에 'X'자 형태로 배치되는 복수 개의 클립 형태의 고정 홀더와, 상기 고정 홀더의 일단을 고정하는 고정핀을 포함하는 고정부를 포함하며,상기 웨이퍼의 상부는 상기 고정핀에 의해 고정되지 않은 상기 고정 홀더의 하부에 의해 눌려 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 측정 장치
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