| 1 |
1
OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치에 있어서,상부에 피 측정물이 놓이는 안착부를 구비하되, 상기 안착부가 일정한 곡률을 가지는 곡면으로 형성되는 제1 지그 부재;상기 피 측정물을 기준으로 상기 제1 지그 부재 위에서 대향되게 배치되고, 상기 제1 지그 부재의 안착부와 동일한 곡률을 가지면서 상기 피 측정물을 가압하는 가압부를 구비하는 제2 지그 부재; 및상기 OCT 시스템으로부터 주사된 빛을 굴절시키고, 상기 굴절된 빛이 상기 제2 지그 부재를 투과하여 상기 피 측정물에 수직한 방향으로 주사되도록 하는 렌즈 부재를 포함하고,상기 제2 지그 부재는굴절률을 가지는 투명 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1 지그 부재의 안착부는오목한 형상으로 형성되어 일정한 곡률을 가지고,상기 제2 지그 부재의 가압부는볼록한 형상으로 형성되어 상기 안착부와 동일한 곡률을 가지는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 렌즈 부재는세타(θ) 렌즈를 포함하여 복수의 렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 제1 지그 부재는블랙 또는 무반사 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 제1 지그 부재는무반사 코팅이 된 투명 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 제1 지그 부재는상하로 관통 형성되는 복수의 진공 홀을 더 구비하고, 상기 복수의 진공 홀을 통해 상기 피 측정물과 상기 안착부 사이의 공기를 흡입하여 상기 피 측정물이 상기 안착부에 밀착되도록 하는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 피 측정물은투명하면서 플렉서블(flexible)한 기판인 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 9 |
9
OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치에 있어서,상부에 피 측정물이 놓이며 일정한 곡률을 가지는 곡면으로 형성되는 안착부, 및 상하로 관통 형성되는 복수의 진공 홀을 구비하는 제1 지그 부재; 및상기 OCT 시스템으로부터 주사된 빛을 굴절시키고, 상기 굴절된 빛이 상기 제1 지그 부재에 놓인 상기 피 측정물에 수직한 방향으로 주사되도록 하는 렌즈 부재를 포함하고,상기 제1 지그 부재는상기 복수의 진공 홀을 통해 상기 피 측정물과 상기 안착부 사이의 공기를 흡입하여 상기 피 측정물이 상기 안착부에 밀착되도록 하고,상기 피 측정물을 기준으로 상기 제1 지그 부재 위에서 대향되게 배치되고, 상기 제1 지그 부재의 안착부와 동일한 곡률을 가지면서 상기 피 측정물을 가압하는 가압부를 구비하는 제2 지그 부재를 더 포함하고,상기 제2 지그 부재는굴절률을 가지는 투명 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 제1 지그 부재의 안착부는오목한 형상으로 형성되어 일정한 곡률을 가지는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 11 |
11
제9항에 있어서,상기 제1 지그 부재는블랙 또는 무반사 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 12 |
12
제9항에 있어서,상기 제1 지그 부재는무반사 코팅이 된 투명 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
제9항에 있어서,상기 제2 지그 부재의 가압부는볼록한 형상으로 형성되어 상기 안착부와 동일한 곡률을 가지는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 15 |
15
삭제
|
| 16 |
16
제9항에 있어서,상기 렌즈 부재는세타(θ) 렌즈를 포함하여 복수의 렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
| 17 |
17
제9항에 있어서,상기 피 측정물은투명하면서 플렉서블(flexible)한 기판인 것을 특징으로 하는 OCT 시스템을 이용한 기판 결함 검출용 지그 장치
|
