기술이전플랫폼 Tech-Bridge-이전대상기술

맞춤기술찾기

홈으로 가기

맞춤기술찾기

이전대상기술

프린트하기

이전대상기술

광변조기용 리튬나오베이트(LiNbO3)기판의 제조 방법(Method of manufacturing of LiNbO3 substrate for optical modulator)

기술번호 : KST2017007558
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

상담신청 PDF 받기

상세정보
공개전문
공고전문
등록사항
통합행정정보
기술정보
과제정보
관련기술
심판사항

서지정보
인명정보
행정처리
청구항
지정국
패밀리정보
국가R&D 연구정보

이전 슬라이드 보기 다음 슬라이드 보기

요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 Ti 확산도파로가 형성된 LiNbO3 기판을 SF6가스 및 He가스를 이용한 식각공정을 통하여 표면 굴절률을 낮춘 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조방법에 의하면 SF6가스 및 He가스를 교대로 투입하면서 식각함으로써 짧은 시간에 Li를 제거할 수 있어 공정시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라, LiF와 같은 부산물을 형성하지 않는 효과가 있다.
Int. CL	G02B 6/136 (2015.12.04) G02B 6/12 (2015.12.04)
CPC	G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01)
출원번호/일자	1020150147775 (2015.10.23)
출원인	한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2017-0047543 (2017.05.08) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2015.10.23)
심사청구항수	11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원	대한민국	충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	김영백	대한민국	광주광역시 남구
2	정현택	대한민국	광주광역시 서구
3	하태원	대한민국	광주광역시 광산구
4	허기석	대한민국	광주광역시 북구
5	최범호	대한민국	광주광역시 광산구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	특허법인아이엠	대한민국	서울특별시 강남구 봉은사로 *, *호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원	대한민국	충청남도 천안시 서북구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2015.10.23	수리 (Accepted)	1-1-2015-1029872-43
2	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2017.03.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0181329-97
3	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2017.04.25	수리 (Accepted)	1-1-2017-0403260-30
4	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2017.04.25	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0403261-86
5	등록결정서 Decision to grant	2017.09.04	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0620550-02
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.07.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5123030-77

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 Ti 확산도파로가 형성된 LiNbO3 기판을 SF6가스 및 He가스를 이용한 식각공정을 통하여 표면 굴절률을 낮추는데, 상기 식각공정은 상기 SF6가스 및 He가스를 교대로 투입하면서 상기 LiNbO3 기판의 표면에 확산된 Li을 식각하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
2	2 제 1 항에 있어서,상기 LiNbO3 기판은 X축에 수직하게 잘려진 X컷 LiNbO3 기판인 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
3	3 제 2 항에 있어서,상기 식각공정은 10 내지 30sccm 범위의 일정 속도로 3 내지 10초 범위의 일정 시간 동안 상기 SF6가스를 투입하여 식각한 다음, 70 내지 90sccm 범위의 일정속도로 5 내지 15초 범위의 일정 시간 동안 상기 He가스를 투입하여 식각하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
4	4 제 3 항에 있어서,상기 식각공정을 1사이클로 하여 40 내지 110 범위의 일정 사이클의 식각공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
5	5 제 4 항에 있어서,상기 식각공정 후 상기 LiNbO3 기판의 표면 굴절률은 2
6	6 LiNbO3 기판 상에 Ti층을 증착하는 단계;상기 Ti층 상에 포토레지스트(PR)패턴을 형성하고, 상기 PR 패턴을 이용하여 상기 TI층을 식각하는 단계;열처리공정을 수행하여 상기 LiNbO3 기판에 Ti확산도파로를 형성하는 단계; 및 상기 LiNbO3 기판의 표면에 확산된 Li을 제거하기 위하여 상기 LiNbO3 기판의 표면을 식각하는 식각공정단계;를 포함하며,상기 식각공정단계는 상기 SF6가스 및 He가스를 교대로 투입하면서 상기 LiNbO3 기판의 표면에 확산된 Li을 식각하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
7	7 제 6 항에 있어서,상기 LiNbO3 기판은 X축에 수직하게 잘려진 X컷 LiNbO3 기판인 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
8	8 제 7 항에 있어서,상기 식각공정단계는 10 내지 30sccm 범위의 일정 속도로 3 내지 10초 범위의 일정 시간 동안 상기 SF6가스를 투입하여 식각한 다음, 70 내지 90sccm 범위의 일정속도로 5 내지 15초 범위의 일정 시간 동안 상기 He가스를 투입하여 식각하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
9	9 제 8 항에 있어서,상기 식각공정을 1사이클로 하여 40 내지 60 범위의 일정 사이클의 식각공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법
10	10 제 9 항에 있어서,상기 식각공정 후 상기 LiNbO3 기판의 표면 굴절률은 2
11	11 제 6항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 식각공정단계 후, 상기 LiNbO3 기판상에 SiO2 버퍼층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광변조기용 LiNbO3 기판의 제조 방법

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2015.10.23	수리 (Accepted)	1-1-2015-1029872-43
2	의견제출통지서	2017.03.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0181329-97
3	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2017.04.25	수리 (Accepted)	1-1-2017-0403260-30
4	[명세서등 보정]보정서	2017.04.25	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0403261-86
5	등록결정서	2017.09.04	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0620550-02
6	출원인정보변경(경정)신고서	2018.07.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5123030-77


과제고유번호	1711034277
세부과제번호	JA150037
연구과제명	투과율 조절형 능동 발광 스마트 윈도우 제조 플랫폼 기술 개발(1/1)
성과구분	출원
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2015
연구기간	201501~201512
기여율	1
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	IT(정보기술)

특허성과

[1020150151714]	발광소자 구동장치(Apparatus for Driving Light Emitting Device)	새창보기
[1020150147775]	광변조기용 리튬나오베이트(LiNbO3)기판의 제조 방법(Method of manufacturing of LiNbO3 substrate for optical modulator)	새창보기
[1020150101265]	후면노광을 이용한 광변조기의 전극형성 방법(METHOD FOR FORMING ELECTRODE OF OPTICAL MODULATOR USING BACKSIDE ILLUMINATION)	새창보기

의뢰할 수요기술을 선택합니다

담당자명, 주소, 이메일, 연락처, 내용, 파일선택의 정보를 제공하는 도입희망기술 뷰 페이지 의뢰하기 입력표입니다.
담당자명		활동구분※필수입력항목
이메일		연락처	- -
내용
파일선택	파일선택