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커프 형태의 전극에 있어서, 상기 커프 형태의 광학적 투과율을 만족시키기 위한 윈도우부; 상기 윈도우부의 형태를 유지하기 위한 구조물부;상기 구조물부 위에 형성되는 전극부; 및상기 전극부 위에 도포되는 보호층;을 포함하고, 상기 구조물부, 상기 전극부 및 상기 윈도우부는 이종 소재이고, 상기 윈도우부 및 상기 보호층은 동일한 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극
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제1항에 있어서, 상기 윈도우부는 성형 후 유연성을 유지하는 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극
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제2항에 있어서, 상기 윈도우부는 페릴렌, PDMS(polydimethylsiloxane), PET(polyethylene terephthalate), PEN(Polyethylene Naphthalate) 중 적어도 하나의 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극
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제1항에 있어서, 상기 구조물부는 성형 후 고정되는 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극
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제4항에 있어서, 상기 구조물부는 폴리이미드(PI), SU-8, 액정고분자(Liquid crystal polymer) 중 적어도 하나의 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극
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제1항에 있어서, 상기 전극부는 금(Au), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 산화이리듐(IrOx) 중 적어도 하나의 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극
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커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법에 있어서, 캐리어에 희생층을 도포하는 단계; 상기 희생층 위에 윈도우부를 도포하는 단계; 상기 윈도우부 위에 구조물부를 도포 및 패터닝하는 단계;상기 패터닝된 구조물부 위에 전극부를 도포하는 단계;상기 전극부를 보호하기 위해 상기 윈도우부와 동일한 소재로 도포하는 단계; 및상기 전극부를 보호하기 위해 도포된 층을 노출시키는 단계;를 포함하고, 상기 윈도우부, 상기 구조물부 및 상기 전극부는 이종 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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제7항에 있어서, 상기 전극부를 도포하는 단계 전에, 접착층을 도포하는 단계를 더 포함하는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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삭제
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제7항에 있어서, 상기 윈도우부는 성형 후 유연성을 유지하는 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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제11항에 있어서, 상기 윈도우부는 페릴렌, PDMS(polydimethylsiloxane), PET(polyethylene terephthalate), PEN(Polyethylene Naphthalate) 중 적어도 하나의 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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제7항에 있어서, 상기 구조물부는 성형 후 고정되는 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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제13항에 있어서, 상기 구조물부는 폴리이미드(PI), SU-8, 액정고분자(Liquid crystal polymer) 중 적어도 하나의 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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제7항에 있어서, 상기 전극부는 금(Au), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 산화이리듐(IrOx) 중 적어도 하나의 소재로 형성되는, 커프 형태의 전극을 제조하기 위한 방법
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