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내부에 액체 주석(Sn)을 포함하여, 상기 액체 주석(Sn)과 폐가스 중에 포함된 과불화 화합물이 반응하여 액체 불화주석(SnF2)이 발생하는 액체금속조와; 외부의 공기를 흡입하여 산소의 농도를 높여 배출함으로써 상기 액체금속조의 상단부에 고온의 화염을 공급할 수 있는 순산소 또는 산소부화 공급장치와; 상기 액체금속조로부터 이송되는 배기가스를 냉각하고 습식 처리하는 배기가스 처리장치와; 상기 순산소 또는 산소부화 공급장치로부터 이송되는 공기, 액체금속조에 공급되는 화염의 온도, 및 액체금속조로부터 발생하는 배기가스와 불화주석(SnF2)의 누적량을 감시 및 제어하는 전자제어장치를 포함하고,상기 액체금속조의 운전 온도는 230 내지 850℃로서, 상기 액체금속조 내부의 주석 및 액체금속조에서 발생한 불화주석(SnF2)이 액체로 유지되는 것인, 과불화 화합물 처리 시스템
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내부에 액체 주석(Sn)을 포함하여, 상기 액체 주석(Sn)과 폐가스 중에 포함된 과불화 화합물이 반응하여 액체 불화주석(SnF2)이 발생하는 액체금속조와; 상기 액체금속조에 구비되는 전기히터와;상기 액체금속조로부터 이송되는 배기가스를 냉각하고 습식 처리하는 배기가스 처리장치를 포함하고,상기 액체금속조의 운전 온도는 230 내지 850℃로서, 상기 액체금속조 내부의 주석 및 액체금속조에서 발생한 불화주석(SnF2)이 액체로 유지되는 것인, 과불화 화합물 처리 시스템
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 과불화 화합물은 CF4, SF6, C2F6, C3F3, CHF3 및 NF3 로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 과불화 화합물 처리 시스템
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4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 과불화 화합물 처리 시스템은 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 과불화 화합물 처리 시스템
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5
내부에 액체 주석(Sn)을 포함하는 액체금속조에 과불화 화합물 함유 폐가스를 공급하는 단계와; 순산소 또는 산소부화 공급장치를 통해 외부의 공기를 흡입하여 산소의 농도를 높여 배출함으로써 상기 액체금속조의 상단부에 화염을 공급하는 단계와; 상기 액체금속조 내에서 액체 주석(Sn) 및 공급된 화염에 의해 상기 액체 주석(Sn)과 폐가스 중에 포함된 과불화 화합물이 반응하여 액체 불화주석(SnF2)이 발생함으로써 과불화 화합물을 분해하는 단계와;상기 과불화 화합물의 분해에 의해 발생한 불화주석(SnF2)를 배출하고 배기가스를 배기가스 처리장치로 이송하는 단계와; 전자제어장치에 의해 상기 순산소 또는 산소부화 공급장치로부터 이송되는 공기, 액체금속조에 공급되는 화염의 온도, 및 액체금속조로부터 발생하는 배기가스와 불화주석(SnF2)의 누적량을 감시 및 제어를 수행하는 단계를 포함하고, 상기 액체금속조의 운전 온도는 230 내지 850℃로서, 상기 액체금속조 내부의 주석 및 액체금속조에서 발생한 불화주석(SnF2)이 액체로 유지되는 것인, 과불화 화합물 처리 방법
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6
내부에 액체 주석(Sn)을 포함하는 액체금속조에 과불화 화합물 함유 폐가스를 공급하는 단계와; 전기히터로 액체금속조를 가열하는 단계와; 상기 액체금속조 내에서 액체 주석(Sn)에 의해 상기 액체 주석(Sn)과 폐가스 중에 포함된 과불화 화합물이 반응하여 액체 불화주석(SnF2)이 발생함으로써 과불화 화합물을 분해하는 단계와;상기 과불화 화합물의 분해에 의해 발생한 불화주석(SnF2)를 배출하고 배기가스를 배기가스 처리장치로 이송하는 단계를 포함하고;상기 액체금속조의 운전 온도는 230 내지 850℃로서, 상기 액체금속조 내부의 주석 및 액체금속조에서 발생한 불화주석(SnF2)이 액체로 유지되는 것인, 과불화 화합물 처리 방법
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7
제5항 또는 제6항에 있어서,상기 과불화 화합물 처리 방법은, 상기 배기가스를 배기가스 처리장치로 이송하는 단계 후에, 배기가스를 배기가스 처리장치에서 냉각하고 습식 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 과불화 화합물 처리 방법
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8
제5항 또는 제6항에 있어서,상기 과불화 화합물 함유 폐가스는 CF4, SF6, C2F6, C3F3, CHF3 및 NF3 로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 과불화 화합물 처리 방법
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9
제5항 또는 제6항에 있어서,상기 과불화 화합물 함유 폐가스는 반도체 공정에서 발생하는 것을 특징으로 하는, 과불화 화합물 처리 방법
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삭제
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11
제5항에 있어서,상기 순산소 또는 산소부화(oxygen enrichment) 장치에 의해 액체금속조의 상단부에 공급되는 화염의 온도는 1,300℃ 이상인 것을 특징으로 하는, 과불화 화합물 처리 방법
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