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기판상에 전이층, 버퍼층, 배리어층 및 보호층을 순차로 형성하는 단계; 상기 보호층의 제1 영역을 식각하여 패터닝하는 단계; 및상기 보호층의 패터닝에 의하여 노출된 상기 배리어층의 상기 제1 영역에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제1 영역은,상기 적어도 하나의 전극 형성을 위한 영역이고, 상기 보호층은, 소자의 트랩 효과 및 누설 전류를 방지하기 위해 상기 배리어층 보다 넓은 밴드갭을 갖는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 보호층은, 질화알루미늄(Aluminum Nitride, AlN)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 보호층의 제1 영역을 식각하여 패터닝하는 단계는, 상기 보호층 상에 제1 절연층을 증착하는 단계; 상기 제1 절연층의 상기 제1 영역을 식각하여 패터닝하는 단계; 및 상기 패터닝된 제1 절연층을 마스크로 이용하여 상기 보호층을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 보호층을 패터닝하는 단계는, 상기 제1 절연층의 패터닝에 의하여 노출된 상기 보호층의 상기 제1 영역을 선택적 에칭으로 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계는, 상기 배리어층의 상기 제1 영역에서, 상기 보호층에 인접한 일부 영역에 제1 절연막을 형성하는 단계; 및상기 배리어층의 상기 제1 영역에서, 상기 제1 절연막이 형성되지 않은 영역에 상기 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제5항에 있어서, 제1 절연막은,나이트라이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 제1 절연막은, 상기 적어도 하나의 전극 및 상기 보호층을 이격시키고, 상기 소자의 트랩 효과 및 상기 누설 전류를 방지하기 위하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 제1 절연막을 형성하는 단계는, 상기 배리어층의 상기 제1 영역에 제2 절연층을 형성하는 단계; 상기 제2 절연층의 상기 보호층에 인접한 일부 영역을 식각하는 단계; 상기 제2 절연층의 식각에 의해 노출된 영역으로, 상기 배리어층의 상기 제1 영역 중 상기 보호층에 인접한 일부 영역에 상기 제1 절연막을 증착하는 단계; 및 상기 제2 절연층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 제2 절연층의 상기 보호층에 인접한 일부 영역을 식각하는 단계는, 상기 제2 절연층 상에 제1 감광막을 형성하는 단계; 상기 제1 감광막의 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역을 식각하여 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 제1 감광막을 마스크로 이용하여 상기 제2 절연층을 과에칭하는 단계; 및 상기 제1 감광막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극의 길이는,상기 제1 감광막의 패터닝 및 상기 제2 절연층의 과에칭에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계는,상기 보호층, 상기 적어도 하나의 전극 및 상기 제1 절연막 상에 제2 감광막을 증착하는 단계; 상기 제2 감광막의 상기 제1 영역에서, 상기 제1 절연막이 형성되지 않은 영역을 식각하여 패터닝하는 단계; 및상기 제2 감광막에 패터닝에 의하여 노출된 영역으로, 상기 배리어층의 상기 제1 영역 중 상기 제1 절연막이 형성되지 않은 영역에, 상기 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 보호층, 상기 적어도 하나의 전극 및 상기 제1 절연막 상에 제2 절연막을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극은,게이트, 소스 및 드레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자 제조 방법
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기판;상기 기판상에 형성되는 전이층;상기 전이층 상에 형성되는 버퍼층;상기 버퍼층 상에 형성되는 배리어층;상기 배리어층 상에 형성되는 적어도 하나의 전극; 및상기 배리어층 상에서 상기 적어도 하나의 전극 간에 형성되는 보호층을 포함하되,상기 보호층은, 소자의 트랩 효과 및 누설 전류를 방지하기 위해 상기 배리어층 보다 넓은 밴드갭을 갖는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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제14항에 있어서, 상기 보호층은,질화알루미늄(Aluminum Nitride, AlN)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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제14항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극 및 상기 보호층 사이에 형성되는 제1 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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제16항에 있어서, 상기 제1 절연막은, 나이트라이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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제16항에 있어서, 상기 제1 절연막은, 상기 적어도 하나의 전극 및 상기 보호층을 이격시키고, 상기 소자의 트랩 효과 및 상기 누설 전류를 방지하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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제16항에 있어서, 상기 보호층, 상기 적어도 하나의 전극 및 상기 제1 절연막 상에 형성되는 제2 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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제14항에 있어서, 상기 적어도 하나의 전극은,게이트, 소스 및 드레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 전력 소자
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