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플렉서블 전자소자가 접합되며, 플렉서블한 성질을 갖는 기판;상기 기판의 일측면에 마련되는 형상 기억 합금; 및상기 형상 기억 합금을 상기 기판에 고정시키는 복수개의 감광제를 포함하고, 상기 형상 기억 합금은 상기 기판의 길이에 대응되는 복수개의 라인 형태로 상기 기판 상에 복수개가 배열되고,상기 감광제는 상기 형상 기억 합금의 연장 방향을 따라 상기 형상 기억 합금의 일부를 내부에 포함하면서 일정거리만큼 이격되도록 배치되고, 각 감광제의 사이에는 상기 형상 기억 합금의 일부가 노출되며,상기 형상 기억 합금은 상기 감광제에 의해 상기 기판과 소정의 거리만큼 이격되는 자가변형 플렉서블 필름
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제 1항에 있어서,상기 감광제는 육면체 형상이며, 상기 기판 상에서 행렬을 이루도록 패터닝되는 자가변형 플렉서블 필름
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제 1항에 있어서,상기 감광제 각각은 가로, 세로 및 높이가 서로 동일하며, 가로 및 세로 방향으로 이격된 거리가 동일한 자가변형 플렉서블 필름
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제 1항에 있어서, 상기 형상 기억 합금은 부분적으로 상기 감광제 내부에 삽입된 형태로 고정되는 자가변형 플렉서블 필름
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 PI (Polyimide), PET (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate) 중에서 어느 하나로 선택되는 자가변형 플렉서블 필름
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제 1항에 있어서, 상기 감광제는 SU-8 또는 INTERVIA인 자가변형 플렉서블 필름
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제 1항에 있어서,상기 형상 기억 합금은 니켈과 티타늄의 합금인 니티놀인 자가변형 플렉서블 필름
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플렉서블한 성질을 가지는 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 제1 감광제를 도포하고 패터닝 하는 단계;패터닝된 제1 감광제 상에 형상 기억 합금을 배열하는 단계;상기 형상 기억 합금을 덮도록 기판 상에 제2 감광제를 도포하는 단계; 및상기 제2 감광제를 하부의 제1 감광제와 동일한 형상으로 패터닝하는 단계;를 포함하고,상기 형상 기억 합금은 상기 기판의 길이에 대응되는 복수개의 라인 형태로 상기 제1 감광제와 상기 제2 감광제 사이에 배치되며, 패터닝된 적층 구조의 상기 제1 감광제와 제2 감광제는 상기 형상 기억 합금의 연장 방향을 따라 상기 형상 기억 합금을 주기적으로 노출시키도록 배치되며, 상기 형상 기억 합금은 상기 제1 감광제에 의해 상기 기판과 소정의 거리만큼 이격되는 자가변형 플렉서블 필름의 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 제1 감광제는 상기 기판 상에 일정한 높이를 갖는 육면체 형상이며, 소정 개수의 행과 열로 이루어지도록 복수개로 패터닝되는 자가변형 플렉서블 필름의 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 제1 감광제는 상기 형상 기억 합금을 부분적으로 고정시키도록 소정의 간격만큼 이격되도록 패터닝되는 자가변형 플렉서블 필름의 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 제1 감광제와 제2 감광제는 동일한 물질로 이루어지는 자가변형 플렉서블 필름의 제조 방법
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제 9항에 있어서,상기 형상 기억 합금은 라인 형태로 하나의 감광제에 의해 고정되며, 패터닝된 상기 제1 감광제의 행 방향 또는 열 방향을 따라 복수개가 배치되는 자가변형 플렉서블 필름의 제조 방법
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