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검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부; 및상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 포함하는, 전자기파 검출 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 하우징부는,상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함하는, 전자기파 검출 모듈
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제 2 항에 있어서,상기 고정부는,상기 검출부의 상단에 상기 검사 대상 물체가 배치되도록, 상기 하우징부에 형성된, 전자기파 검출 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 검출부는,상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비되는, 전자기파 검출 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 검출부는,단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함하는, 전자기파 검출 모듈
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제 5 항에 있어서,상기 검출부용 구동부는,2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시키는, 전자기파 검출 모듈
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7
검사 대상 물체를 이송하는 이송부; 및상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함하는, 전자기파 검출 모듈
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8
제 7 항에 있어서,상기 검출부는,단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함하는, 전자기파 검출 모듈
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9
제 8 항에 있어서,상기 검출부용 구동부는,2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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10
제 7 항에 있어서,상기 검출부는,2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부; 상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈; 및상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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12
제 11 항에 있어서,상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 12 항에 있어서,상기 하우징부는,상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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14
제 13 항에 있어서,상기 검출부는,상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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15
제 11 항에 있어서,상기 집속 렌즈 및 상기 검출부 사이에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 이송하는 이송부;를 더 포함하는, 상기 검출부는,상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 11 항 또는 제 15 항에 있어서,상기 검출부는,단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 16 항에 있어서,상기 경로 변경부는,원 형태로 상기 전자기파의 경로를 변경하고,상기 검출부용 구동부는,상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 이동시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 16 항에 있어서,상기 경로 변경부는,2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고,상기 검출부용 구동부는,상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시키는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 11 항에 있어서,상기 경로 변경부는,2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고,상기 검출부는,2차원 배열형 검출부인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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제 11 항에 있어서,상기 경로 변경부는,회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합인, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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21
제 11 항에 있어서,입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
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