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레이저 빔을 출력하는 레이저 발진기;제1 지령 주기로 이동이 제어되는 스테이지;상기 레이저 빔의 경로 상에 배치되고, 상기 제1 지령 주기보다 더 짧은 제2 지령 주기로 제어되어 상기 레이저 빔을 이동시키며 피가공물에 조사하는 스캐너;상기 레이저 빔의 경로 상에 배치되어 상기 레이저 빔의 초점 거리를 제어하는 가변 초점부;상기 스테이지에 연결되어, 상기 제1 지령 주기로 상기 스테이지의 이동을 제어하는 제1 제어부;상기 스테이지에 연결되어, 상기 스테이지의 이동 오차를 측정하는 오차 측정부;상기 스캐너에 연결되어, 상기 제2 지령 주기로 상기 스캐너를 제어하는 제2 제어부;상기 오차 측정부와 상기 제2 제어부에 연결되어, 상기 스테이지의 이동 오차를 보상하도록 상기 스캐너의 레이저 조사 경로를 수정하는 보상 제어부;상기 피가공물의 표면 상에 복수 개의 컨트롤 포인트를 생성하는 컨트롤 포인트 설정부; 및상기 컨트롤 포인트에 접하는 가상의 기준 평면을 형성하고, 상기 기준 평면으로부터 상기 가변초점부의 초점 조절 가능 거리를 높이로 설정하여 가상의 직육면체를 형성하며, 상기 가상의 직육면체를 스캐닝 볼륨으로 지정하는 스캐닝 볼륨 설정부를 포함하고,상기 제2 제어부는 상기 스캐너에 의하여 상기 레이저 빔이 상기 스테이지의 가공 중심과 동일한 시간 내에 제1 컨트롤 포인트로부터 제2 컨트롤 포인트로 이동하되 서로 다른 경로로 이동하도록 제어하는 3차원 레이저 조사 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 제어부 및 상기 보상 제어부는 상기 가변초점부와 연결되어 상기 가변초점부를 제어하는 3차원 레이저 조사 장치
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제2항에 있어서,상기 스테이지는, 3차원 직교좌표계의 좌표축을 따라 각각 이동할 수 있는 이송부들과 상기 3차원 직교좌표계의 좌표축 중 적어도 어느 하나를 중심으로 회전 가능하게 설치된 회전부들을 포함하는 3차원 레이저 조사 장치
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제3항에 있어서,상기 3차원 직교좌표계는 서로 직교하는 x축, y축 및 z축을 포함하고,상기 스테이지는, 상기 x축과 나란한 x축 방향으로 이동 가능하게 설치된 제1 이송부, 상기 y축과 나란한 y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 제2 이송부, 상기 z축과 나란한 z축 방향으로 이동 가능하게 설치된 제3 이송부, 상기 x축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 제1 회전부 및 상기 y축을 중심으로 회전 가능하게 설치된 제2 회전부를 포함하는 3차원 레이저 조사 장치
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제4항에 있어서,상기 스캐너는 상기 x축 방향 및 상기 y축 방향으로 상기 레이저 빔을 이동시킬 수 있고,상기 가변초점부는 상기 z축 방향으로 상기 레이저 빔을 이동시킬 수 있는 3차원 레이저 조사 장치
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제1항에 있어서,상기 오차 측정부는 상기 스테이지의 위치를 측정하는 복수개의 위치 엔코더와 상기 스테이지의 회전을 측정하는 복수개의 각도 엔코더를 포함하는 3차원 레이저 조사 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 지령 주기는 상기 제2 지령 주기의 10배 내지 1000배인 3차원 레이저 조사 장치
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제1 지령 주기로 스테이지의 이동을 제어하면서, 상기 제1 지령 주기 보다 더 짧은 제2 지령 주기로 스캐너를 제어하여 레이저 빔을 이동시키며 피가공물에 조사하는 레이저 빔 조사 단계;상기 스테이지가 이동하는 동안 상기 스테이지의 위치 오차를 측정하는 오차 측정 단계; 및상기 스캐너가 상기 레이저 빔을 이동시키며 조사하는 동안 상기 스테이지의 위치 오차를 보상하도록 상기 스캐너를 제어하여 상기 레이저 빔이 이동하는 경로를 수정하는 경로 보정 단계; 및상기 피가공물의 표면 상에 복수 개의 컨트롤 포인트를 생성하는 컨트롤 포인트 생성 단계를 포함하고,상기 레이저 빔 조사 단계는, 상기 스테이지의 가공 중심과 상기 레이저 빔을 제1 컨트롤 포인트로부터 제2 컨트롤 포인트로 이동시키되, 상기 레이저 빔을 상기 스테이지의 가공 중심과 동일한 시간 내에 다른 경로로 상기 제1 컨트롤 포인트에서 상기 제2 컨트롤 포인트로 이동시키고, 상기 컨트롤 포인트 사이를 잇는 경로 상에 상기 스테이지의 위치를 설정하여 선단 벡터를 설정하고, 상기 선단 벡터 방향으로 3차원 직교좌표계의 축별 스캐닝 길이를 설정하여 가상의 직육면체 형상의 스캐닝 볼륨을 설정하며, 상기 스캐닝 볼륨 내에 속하는 상기 피가공물의 표면을 유효 가공부분으로 국한하여 상기 레이저 빔을 조사하는 3차원 레이저 조사 방법
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제10항에 있어서,상기 경로 보정 단계는 상기 스캐너와 함께 상기 제2 지령주기로 레이저 빔의 초점 거리를 제어하는 가변초점부를 제어하는 3차원 레이저 조사 방법
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제11항에 있어서,상기 스테이지의 가공 중심 및 상기 레이저 빔이 동일한 컨트롤 포인트 상에 위치하는지 여부를 판단하는 동기화 단계를 더 포함하는 3차원 레이저 조사 방법
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제11항에 있어서,상기 레이저 빔 조사 단계는,상기 스테이지를 상기 컨트롤 포인트 사이의 3차원 최단 거리로 이송하는 것을 포함하는 3차원 레이저 조사 방법
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제11항에 있어서,상기 3차원 직교좌표계는 서로 직교하는 x축, y축 및 z축을 포함하고,상기 축별 스캐닝 길이는 상기 스캐너의 스캔 영역에 대응하는 상기 x축과 나란한 x축 방향 및 상기 y축과 나란한 y축 방향의 스캐닝 길이와 상기 가변초점부의 초점 조절 가능 거리에 대응하는 상기 z축과 나란한 z축 방향의 스캐닝 길이를 포함하는 3차원 레이저 조사 방법
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제16항에 있어서,상기 레이저 빔 조사 단계는,서로 직교하는 x축, y축 및 z축을 포함하는 3차원 직교좌표계의 적어도 하나의 좌표축을 따라 상기 스테이지를 이동시키거나, 상기 3차원 직교좌표계의 좌표축 중 적어도 어느 하나를 중심으로 상기 스테이지를 회전시키는 것을 포함하고,상기 경로 보정 단계는,다음 조건에 따른 상기 스테이지의 위치 오차를 계산하여 상기 스캐너 또는 상기 가변초점부로 경로를 보정하는 것을 포함하는 3차원 레이저 조사 방법
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