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내부 공간을 형성하여 전기적으로 접지되고 일측에 외부 노즐을 형성하는 하우징;상기 외부 노즐의 반대측에서 밀폐되는 상기 하우징에 장착되어 상기 내부 공간에 배치되며, 미립화 대상 액체 및 미립화 작용 기체를 분사하는 내부 노즐; 및상기 내부 노즐의 외주에 제1절연부재를 개재하여 관통구로 장착되어 대향하는 상기 하우징의 내면과의 사이에 방전갭을 형성하고, 인가되는 구동 전압과 유입되는 작동기체로 플라즈마 아크를 발생시켜, 분사되는 미립화 대상 액체 및 미립화 작용 기체에 전기 및 열적 기능을 부여하여 상기 외부 노즐로 분사되게 하는 전극을 포함하는 플라즈마 노즐
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제1항에 있어서,상기 하우징의 측벽에 관통홀을 구비하고, 제2절연부재를 개재하여 상기 관통홀을 관통하여, 상기 하우징의 외부에서 상기 전극에 전기적으로 연결되는 전극 연결 부재를 더 포함하는 플라즈마 노즐
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제2항에 있어서,상기 전극 연결 부재는상기 전극의 외측에 나사 결합되는 플라즈마 노즐
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제2항에 있어서,상기 방전갭은상기 전극에서 상기 관통구의 단부와 상기 외부 노즐의 내면 사이에 설정되는 플라즈마 노즐
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제4항에 있어서,상기 내부 노즐은 상기 전극의 관통구에 결합되며,상기 내부 노즐의 단부는 상기 전극의 단부에서 설정된 제1거리만큼 후퇴하여 배치되는 플라즈마 노즐
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제1항에 있어서,상기 내부 노즐은,상기 관통구에 삽입되는 외부 관체, 및상기 외부 관체의 내부에 이격 배치되어 내측으로 제1통로를 형성하고, 외측으로 상기 외부 관체와의 사이에 제2통로를 형성하는 내부 관체를 포함하는 플라즈마 노즐
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제6항에 있어서,상기 외부 관체와 상기 내부 관체는상기 관통구 내에서 동일한 단부를 형성하는 플라즈마 노즐
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제6항에 있어서상기 내부 관체는상기 관통구 내에서 상기 외부 관체보다 설정된 제2거리만큼 더 돌출되고, 상기 외부 관체와 연통되는 연통구를 구비하며, 상기 외부 노즐을 향하는 분사구를 구비하고, 상기 외부 관체는상기 관통구 내에서 밀폐되는 플라즈마 노즐
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