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Radio-Frequency 전력 유도결합 플라즈마 발생장치(Inductively Coupled Plasma System By Using Radio-Frequency Power)

  • 기술번호 : KST2017008370
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 RF 전력 유도결합 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 유도코일 및 이와 병렬로 연결된 커패시터로 구성된 공진회로의 부하 임피던스와 RF 전력공급원의 내부 임피던스 간 차이에 의해 발생하는 임피던스 미스매칭 문제를, 공진회로 내 유도코일에 접지 탭을 설치하여 접지와 연결시키고 공진회로 내 RF 전류를 접지 탭을 이용하여 RF 전력공급원으로 귀환시켜줌으로써, 공진회로의 공진 주파수 변화 없이 부하 임피던스 값만 조절하여 해결할 수 있으며, 이로부터, 고출력 운전, 복합가스 및 원료분말 대량 투입과 같은 대표적 임피던스 미스매칭 운전 조건에서도 역률개선 및 안정적인 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 하였다.
Int. CL H05H 1/46 (2016.11.18) H03H 7/38 (2016.11.18)
CPC
출원번호/일자 1020160150458 (2016.11.11)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0055926 (2017.05.22) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150158977   |   2015.11.12
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서준호 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 이미연 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
3 남준석 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
4 김정수 대한민국 서울특별시 중랑구
5 양시영 대한민국 전북 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 천지 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 신한빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-1105167-79
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0189697-94
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0492780-69
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0492779-12
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0646160-31
6 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.10.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1035386-65
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1035387-11
8 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0754150-30
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 플라즈마가 형성되는 공간을 제공하는 가둠관;상기 가둠관을 감싸고 있는 유도 코일과, 상기 유도코일과 병렬로 연결된 커패시터와, 상기 유도 코일에 형성되며 상기 유도 코일의 감은 수를 조절하고 접지 기능을 수행하는 접지 탭을 포함하는 공진회로; 및,상기 공진회로에 RF 전력을 공급하는 RF 전력 공급원;을 포함하며,상기 공진회로를 통해 상기 유도 코일에 흐르는 RF 전류가 모두 상기 접지 탭을 통해 상기 RF 전력 공급원으로 귀환되며,상기 공진회로의 전체 임피던스는 상기 접지 탭의 위치에 따라 공진 주파수의 변동없이 조절되는 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 RF 전력 공급원은 자려식 발진기인 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 RF 전력 공급원은,양극, 그리드 및 음극을 포함하는 진공관; 상기 음극과 상기 양극 사이에 연결된 고전압 직류공급회로; 상기 그리드와 상기 음극 사이에 연결되는 그리드탱크회로; 및,상기 음극과 상기 양극 사이에 연결되는 양극탱크회로를 포함하는 양극 동조-그리드 동조 방식의 자려식 발진기인 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 RF 전력 공급원은,양극, 그리드 및 음극을 포함하는 진공관; 상기 음극과 상기 양극 사이에 연결된 직류공급회로; 상기 음극과 상기 양극 사이에 연결되는 양극탱크회로; 및,상기 그리드와 상기 양극의 전압 위상차가 180도가 되도록 상기 진공관의 음극과 그리드에 연결되는 피드백 회로를 포함하는 양극 동조 방식의 자려식 발진기인 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
5 5
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 공진회로는 상기 양극탱크회로에 포함되며, 상기 접지 탭은 상기 진공관의 음극에 접지되어 연결되는 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 RF 전력공급원은 주파수 고정 방식의 타려식 증폭기이고, 상기 공진회로는 상기 타려식 증폭기의 임피던스 정합회로에 포함되는 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 커패시터는 가변 커패시터인 것을 특징으로 하는 RF 유도결합 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 전북대학교 산학협력단 기술료지원사업 플라즈마 이용 기능성 나노신소재 상용화를 위한 150 kVA급 RF 플라즈마 시스템 Pilot 구축