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평판형 메인유로채널;상기 평판형 메인유로채널의 유체 흐름 방향의 유입측에 상기 메인 유로의 채널 폭과 동일한 폭의 제1 입구; 상기 평판형 메인유로채널의 유체 흐름 방향의 배출측에 상기 메인 유로의 채널 폭과 동일한 폭의 조분 출구; 상기 메인유로채널의 하면으로부터 분지되어 유체 소통가능하게 연결되고, 상기 평판형 메인 유로의 채널 폭과 동일한 폭의 평판형 미분 출구를 포함하는, 마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치로서, 상기 메인유로채널의 유체 흐름 방향(x방향)에 수직한 채널폭(z방향) 및 채널 높이(y방향)를 최단으로 가로지르는 종단면과 상기 제1입구의 개구면은 평행하고,상기 입자 분리 장치는 디퓨저 채널을 포함하고, 상기 디퓨저 채널은 이의 양단면을 최단으로 높이방향에 따라 가로지르는 측면홈을 상기 디퓨저 채널의 측면에 포함하며, 상기 측면홈의 개구면과 상기 제1 입구의 개구면을 통해 상기 디퓨저 채널과 메인유로채널이 유체소통가능하도록 연결되어 있고, 상기 디퓨저 채널은 이의 양단면 중 한면으로부터 타면으로 점증적으로 이의 횡단면의 면적이 감소하는 콘형이고, 상기 디퓨저 채널의 두 양단면 중 더 큰 면에 디퓨저입구를 포함하며, 상기 유체 및 고체 입자가 상기 제1 입구로 주입되어 상기 조분 출구로 큰 입자를 분리하고 상기 미분 출구로 작은 입자를 분리함을 특징으로 하는, 마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 메인 유로의 상면으로부터 상기 유체흐름방향의 반대방향으로 상기 메인유로채널과 예각을 이뤄 상기 메인유로채널로부터 분지되어 유체 소통가능하게 연결되고, 상기 평판형 메인 유로의 채널 폭과 동일한 평판형 제2 입구를 포함하는, 마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제2항에 있어서,상기 제2 입구를 통해 고체 입자를 포함하지 않는 유체가 주입됨을 특징으로 하는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고체 입자의 비중은 상기 유체의 비중에 비해 큼을 특징으로 하는, 마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 미분 출구는 상기 메인 유로의 하면으로부터 상기 유체흐름방향으로 상기 메인유로채널과 90°이하의 각을 이뤄 상기 메인유로채널로부터 분지되어 유체 소통가능하게 연결되고, 상기 평판형 메인 유로의 채널 폭과 동일한 평판형 제2 입구를 포함하는, 마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 디퓨저 채널의 횡단면은 메인유로채널의 평면과 평행한 밑변; 상기 밑변의 상기 측면홈측과 예각을 이루는 빗변; 및 상기 밑변의 상기 측면홈의 반대측에서 상기 빗변과 곡선을 이루는 곡선변으로 이뤄짐을 특징으로 하는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 입자는 탄산리튬이며, 상기 유체는 공기임을 특징으로 하는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 입자는 500 내지 3000 kg/m3의 밀도를 가짐을 특징으로 하는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제9항에 있어서,상기 입자는 동일한 질량의 재료이고 밀도 또는 크기에 따라 분리됨을 특징으로 하는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제5항에 있어서,상기 미분 출구의 상기 메인유로채널과 이루는 각은 조절가능하도록 구성되어 상기 미분 출구와 상기 조분 출구로 분리되는 분리입자의 크기차이를 제어할 수 있는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항에 있어서,상기 미분 출구의 유체흐름 방향의 간격은 조절가능하도록 구성되어 상기 미분 출구와 상기 조분 출구로 분리되는 분리입자의 크기차이를 제어할 수 있는,마이크로유체 시스템에 의한 입자 분리 장치
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제1항의 분리장치를 이용한 방법으로서, 제1 입구를 통해 유체 및 미세 입자를 주입하여 상기 조분 출구로 큰 입자를 분리하고 상기 미분 출구로 작은 입자를 분리하는, 조분 및 미분 입자 분리 방법
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제13항에 있어서,상기 분리 장치는, 상기 메인 유로의 상면으로부터 상기 유체흐름방향의 반대방향으로 상기 메인유로채널과 예각을 이뤄 상기 메인유로채널로부터 분지되어 유체 소통가능하게 연결되고, 상기 평판형 메인 유로의 채널 폭과 동일한 평판형 제2 입구를 포함하고,상기 제2 입구를 통해 고체 입자를 포함하지 않는 유체를 주입하고, 상기 제2 입구의 유체의 속도를 조절하여 미분 출구로 분리되는 조분 입자 및 조분 출구로 분리되는 입자의 입자 크기 차이를 제어함을 포함하는,마이크로유체 시스템에 의한 조분 및 미분 입자 분리 방법
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제13항에 있어서,상기 제1 입구를 통해 유체와 함께 주입되는 입자는 동일한 질량의 재료이고 밀도 또는 크기에 따라 분리됨을 특징으로 하는,마이크로유체 시스템에 의한 조분 및 미분 입자 분리 방법
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제13항에 있어서,상기 미분 출구의 상기 메인유로채널과 이루는 각을 조절하여, 상기 미분 출구와 상기 조분 출구로 분리되는 분리입자의 크기차이를 제어함을 포함하는,마이크로유체 시스템에 의한 조분 및 미분 입자 분리 방법
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제13항에 있어서,상기 미분 출구의 유체흐름 방향의 간격을 조절하여, 상기 미분 출구와 상기 조분 출구로 분리되는 분리입자의 크기차이를 제어함을 포함하는,마이크로유체 시스템에 의한 조분 및 미분 입자 분리 방법
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