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진공 용기;상부면이 개방되고 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 증착 물질을 수납하는 직육면체 형상의 도전성 도가니;상기 도전성 도가니와 정렬되고 상기 도전성 도가니의 상부면에 삽입되어 배치되고 복수의 관통 노즐들을 포함하는 직육면체 형상의 도전체로 형성된 노즐 블록;상기 노즐 블록과 상기 증착 물질 사이에 배치되고 개구부를 통하여 상기 증착 물질의 증기를 확산시키는 도전성 확산판; 상기 도전성 도가니 및 상기 노즐 블록을 감싸도록 상기 제1 방향으로 연장되어 배치되어 상기 도전성 도가니, 상기 도전성 확산판, 및 상기 노즐 블록을 비접촉식으로 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및상기 유도 가열 코일을 지지하는 지지부를 포함하고,상기 노즐 블록의 하부면에는 함몰부가 형성되고,상기 도전성 확산판은 상기 함몰부의 하부면에 장착되어 버퍼 공간을 제공하고,상기 노즐 블록과 상기 도전성 도가니는 서로 정렬되고, 서로 분해결합할 수 있도록 결합하고, 상기 관통 노즐은:상기 제1 방향으로 이격되어 배치되는 제1 열 관통 노즐; 및상기 제1 방향에 수직한 방향으로 이격되어 상기 제1 열 관통 노즐과 나란히 배치되는 제2 열 관통 노즐;을 포함하고,상기 노즐 블록의 온도는 상기 도전성 도가니의 온도보다 높게 독립적으로 설정되는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 유도 가열 코일에 대하여 상기 도전성 도가니의 하부에 제2 방향으로 이격되어 자속을 구속하도록 배치된 공간 온도 조절부를 더 포함하고,상기 도전성 확산판의 개구부는 상기 관통 노즐과 직선 상에서 배치되지 않도록 오프셋되어 배치되는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 관통 노즐은 상기 노즐 블록의 중심에 대하여 좌우 대칭적으로 배치되고, 상기 관통 노즐들 사이의 간격은 상기 제1 방향으로 비균일하게 배치되고,상기 도전성 확산판의 개구부는 상기 관통 노즐과 직선 상에 배치되지 않도록 오프셋되어 배치되는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 개구부는 상기 도전성 확산판의 배치 평면의 중심에 배치되는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 개구부는 상기 도전성 도가니의 내부 측면과 접촉하는 부위에 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 도전성 도가니 내부에 배치되고 상기 증착 물질의 상부면을 감싸도록 배치되는 증착 물질 덮개부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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제6 항에 있어서,상기 증착 물질 덮개부는 상기 증착 물질이 증발함에 따라 상기 도전성 도가니의 내측면을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치
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