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소정의 강도 변조 주파수를 가지고 강도 변조된 단색 프로브 광을 광전 소자에 제공하는 프로브 광원;상기 프로브 광의 복사선속보다 큰 복사 선속을 가지고 넓은 스펙트럼영역을 가지는 바이어스 광을 상기 광전 소자에 제공하는 바이어스 광원;상기 바이어스 광원에 전류를 제공하여 동작시키는 바이어스 광원 구동부;상기 광전 소자의 출력단에 연결되어 소정의 목표 DC 전류를 제공하는 전류 싱크; 및상기 광전 소자의 출력단 및 상기 전류 싱크에 공통으로 연결되고, 상기 광전 소자의 출력 전류와 상기 목표 DC 전류의 전류 차이를 제공받아, 상기 전류 차이를 제거하도록 상기 바이어스 광원 구동부를 제어하는 제어부를 포함하고,상기 제어부는:상기 광전 소자의 출력 전류와 상기 목표 DC 전류의 전류 차이를 전압 신호로 변경하는 전류-전압 변환기;상기 전류-전압 변환기의 출력 신호의 부호를 변경하여 출력하는 인버터 증폭기; 및상기 인버터 증폭기의 출력 신호를 적분하는 출력하는 적분기;를 포함하고,상기 바이어스 광원 구동부는 상기 적분기의 출력 신호에 비례하는 구동 전류를 상기 바이어스 광원에 제공하고, 상기 전류-전압 변환기의 출력 신호 또는 상기 인버터 증폭기의 출력 신호에서 강도 변조 주파수 성분을 추출하는 록인 증폭기; 및상기 록인 증폭기의 출력 신호를 처리하는 보조 제어부를 더 포함하고,상기 보조 제어부는 상기 전류 싱크의 DC 목표 전류를 변경하도록 DC 목표 전류 제어 신호를 제공하고,상기 보조 제어부는 상기 단색 프로브 광의 파장을 변경하도록 파장 변경 제어 신호를 상기 프로브 광원에 제공하는 것을 특징으로 하는 분광감응도 도함수 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 바이어스 광원은 직렬 연결된 LED인 것을 특징으로 하는 분광감응도 도함수 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 프로브 광원은:넓은 스펙트럼 영역을 가지는 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력을 소정의 강도 변조 주파수로 강도 변조하는 강도 변조부;상기 강도 변조된 광을 파장에 따라 분광하여 단색광을 출력하는 분광부;상기 단색광을 2 개의 경로로 분리하는 빔분리기; 및상기 분리된 빔 중에서 하나의 경로에 배치된 기준 광검출기를 포함하고,상기 빔분리기로부터 상기 분리된 빔 중에서 다른 하나는 상기 광전 소자에 상기 단색 프로브 광으로 제공되는 것을 특징으로 하는 분광감응도 도함수 측정 장치
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소정의 강도 변조 주파수로 강도가 온/오프로 변조되는 단색 프로브 광을 광전 소자에 제공하는 단계;상기 프로브 광의 복사선속보다 큰 복사 선속을 가지고 넓은 스펙트럼영역을 가지는 바이어스 광을 상기 광전 소자에 제공하는 단계;상기 단색 프로브 광과 상기 바이어스 광을 제공받은 상기 광전 소자는 광전류를 생성하고, 상기 광전류와 전류 싱크의 설정된 목표 DC 전류의 전류 차이를 제공받아 상기 전류 차이를 제거하도록 바이어스 광원 구동부를 제어하는 단계; 상기 바이어스 광원 구동부의 구동 전류를 바이어스 광원에 제공하여 상기 바이어스 광을 생성하는 단계 ; 및상기 광전류와 상기 전류 싱크의 설정된 목표 DC 전류의 전류 차이에서 상기 강도 변조 주파수 성분을 추출하는 단계를 포함하고,상기 단색 프로브 광의 파장을 변경하는 단계; 및상기 목표 DC 전류를 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분광감응도 도함수 측정 방법
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제7 항에 있어서,상기 전류 차이를 제거하도록 상기 바이어스 광원 구동부를 제어하는 단계는 비례 제어, 적분 제어, 비례-적분 제어, 또는 비례-적분-미분 제어 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 분광감응도 도함수 측정 방법
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