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반구형 공진기 금속박막 증착장치(APPARATUS FOR THIN METAL FILM DEPOSITION ON A HEMISPERICAL RESONATOR)

  • 기술번호 : KST2017008515
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반구형 공진기 박막 증착방법 및 증착장치에 관한 것으로, 반구와 스템을 구비하는 반구형 공진기; 및 상기 반구 및 스템으로부터 이격 형성되어 상기 반구형 공진기의 내부 영역에 박막을 증착시키는 타겟을 포함하고, 상기 타겟은, 상기 반구 및 스템과의 사이에 적어도 일부가 위치하는 것을 특징으로 하는 반구형 공진기 박막 증착장치와 이를 이용한 증착방법이 개시된다.
Int. CL C23C 14/34 (2017.05.16) C23C 14/50 (2017.05.16) C23C 14/14 (2017.05.16)
CPC
출원번호/일자 1020170057557 (2017.05.08)
출원인 국방과학연구소
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0055461 (2017.05.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2015-0133351 (2015.09.21)
관련 출원번호 1020150133351
심사청구여부/일자 Y (2017.05.08)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안준은 대한민국 대전광역시 유성구
2 박우성 대한민국 대전광역시 유성구
3 이정신 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0439692-27
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0388214-99
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0689224-25
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0689227-62
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0709419-37
6 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.11.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1118623-26
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-1118620-90
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0844016-29
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.12.28 무효 (Invalidation) 1-1-2017-1306577-23
10 보정요구서
Request for Amendment
2018.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0005246-04
11 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2018.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0017963-47
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반구와 상기 반구의 내면의 중심으로부터 돌출되어 상기 반구의 중심을 향하여 연장되게 형성되는 스템을 구비하여 세차 운동 가능하게 형성되는 반구형 공진기; 및상기 반구 및 스템 사이에 배치되도록 내부 중앙에 상기 스템이 수용되는 홈을 포함하며, 상기 반구형 공진기의 내부 영역에 박막을 증착시키는 타겟;을 포함하고,상기 반구와 인접하도록 형성되는 상기 타겟의 외곽은, 상기 반구와 서로 마주보고 있는 상태에서 증착이 이루어지도록 상기 반구와 대응되는 반구 형상을 가지고 상기 반구에 인접하게 배치되고, 상기 스템과 인접하도록 형성되는 상기 타겟의 홈은, 상기 스템과 서로 마주보고 있는 상태에서 증착이 이루어지도록 상기 스템과 대응되는 형상을 구비하여 상기 스템에 인접하게 형성되는 것을 특징으로 하는 반구형 공진기 금속박막 증착장치
2 2
제1항에 있어서,상기 타겟의 일측에 연결되어 상기 스템을 따라 전진 또는 후진하거나, 상기 타겟이 회전할 수 있도록 하는 구동부; 및상기 구동부에 전원을 공급하는 전원 공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반구형 공진기 금속박막 증착장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020170034703 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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