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질화규소 원료분말에 기공 형성을 위한 소결 조제의 첨가량을 제어하는 단계;상기 질화규소 원료분말의 균일한 기공 형성을 가능하게 하도록 상기 질화규소 원료분말을 혼합하는 단계; 및 상기 질화규소 원료분말을 불활성 분위기에서 소결하는 단계를 포함하는 다공성 질화규소 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 질화규소 원료분말을 혼합하는 단계는,상기 질화규소 원료분말 및 소결 조제를 혼합하여 슬러리 제조시, 균일한 물성을 가지는 소결체 제조를 위하여 소결 조제만을 24 시간 이상 볼밀로 혼합하는 단계; 및상기 혼합된 소결 조제를 상기 질화규소 원료분말과 섞은 후 24시간 이상 볼밀로 혼합하는 단계를 포함하고, 상기 질화규소 원료분말을 혼합하는 단계 및 상기 소결하는 단계 사이에서, 상기 혼합된 소결 조제 및 질화규소 원료분말을 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 소결체 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 슬러리의 분산제는, 아크릴계 수지, 폴리카르복실산 염, 유기 고분자 계면활성제 중 적어도 하나 이고, 바인더로서는, 폴리 비닐 부틸 수지, 폴리 비닐 알코올 수지, 폴리에스테르계 수지, 스테아르산 수지 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 소결체 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 혼합 원료를 성형하는 단계에서, 성형하는 방법은, 습식 성형법, 일축성형법 및 냉간정수압성형법 중 하나의 성형 방식이고,상기 습식 성형법은, 슬립캐스팅, 가압슬립캐스팅 및 젤캐스팅 중 하나인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 소결체 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 질화규소 원료분말을 소결하는 단계에서, 열처리 온도는 1700 ℃이상 1800 ℃이하이고, 최고 온도에 도달하기까지의 승온 속도는 0
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제1항에 있어서,상기 소결 조제는 Al, Mg, Si, 란탄계 금속(Y, La, Ce, Sm, Er, Yb, Lu)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종의 단일 분말 또는 2종 이상의 혼합 분말인 것을 특징으로 하는 질화규소의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 소결 조제는 Al, Mg, Si, 란탄계 금속(Y, La, Ce, Sm, Er, Yb, Lu) 중 적어도 하나의 성분이 포함된 산화물, 염화물, 질산염 및 초산염 중 하나의 화합물인 것을 특징으로 하는 질화규소의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 소결 조제 함량은 상기 질화규소 원료분말 및 소결 조제의 총합의 1 wt
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 제조 방법에 의해 제조되는 다공성 질화규소 소결체
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제9항에 있어서, 질화규소 결정 입자의 90 vol
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제9항에 있어서, 기공도는 1
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