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대면적 실시간 박막 측정 분광 영상 타원계측 장치(Apparatus of real time imaging spectroscopic ellipsometry for large-area thin film measurements)

  • 기술번호 : KST2017008577
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 실시간 타원 계측 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 시편에 조사되는 편광의 방향을 전자적으로 제어하여, 편광 방향을 빠르게 변화시킬 수 있고, 면 측정방식으로 시편의 박막을 삼차원으로 측정할 수 있는 대면적 실시간 박막 측정 분광 영상 타워계측 장치에 관한 것이다.
Int. CL G01B 11/24 (2015.12.17) G01B 11/06 (2015.12.17) G01N 21/21 (2015.12.17)
CPC G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01)
출원번호/일자 1020150158595 (2015.11.12)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0055661 (2017.05.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주기남 대한민국 광주광역시 광산구
2 서용범 대한민국 광주광역시 북구
3 윤영호 대한민국 광주광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-1101707-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0039455-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0211182-10
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0481721-94
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0534577-36
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0534578-82
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0753447-82
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시편에 방향이 변화하는 편광을 조사하는 광원부; 및 상기 시편에 반사되는 반사광을 수광하여, 편광상태에 따른 시편의 삼차원 영상을 검출하는 검출부;를 포함하고,상기 광원부는광원;과 상기 광원의 전방에 위치하고, 상기 광원의 광을 편광으로 변화시키는 편광자;와 상기 편광자의 전방에 구비되고, 상기 편광방향을 변화시키며 상기 시편에 조사되게 하는 전자 편광조절수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 전자 편광 조절수단은액정층 또는 포켈스 셀(Pockels cell)인 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 광은 백색광 또는 서로 다른 파장의 단색광들인 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
4 4
제 2항에 있어서,상기 광원부에는상기 전자 편광 조절수단에 전압을 인가하여, 상기 편광자를 통과한 편광의 편광 방향이 변화되게 하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
5 5
제 2항에 있어서,상기 광원부는 상기 광원과 상기 편광자 사이에 배치되어, 상기 광원에서 조사된 광을 평행광으로 변화시키는 콜리메이팅 렌즈;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
6 6
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 검출부는상기 시편에 의해 반사된 광을 수광하여 특정 편광이 통과되게 하여 검출하는 검광자;상기 검광자를 통과한 편광을 집광하는 집광 렌즈; 및상기 집광 렌즈를 통해 수용된 광으로부터 상기 시편의 영상을 획득하는 카메라;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
7 7
제 6항에 있어서,상기 카메라는 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
8 8
제 7항에 있어서,상기 카메라는 샤임플러그(Scheimpflug) 원리를 기반으로 하여 디포커스 현상을 보정하도록 구동되는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
9 9
제 6항에 있어서,상기 집광 렌즈는 저배율 렌즈로 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
10 10
제 6항에 있어서,상기 편광자, 상기 검광자 및 상기 전자편광 조절수단은각각 임의의 방위각에 고정 배치되는 것을 특징으로 하는 대면적 실시간 타원 계측 장치
11 11
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항의 대면적 실시간 타원 계측 장치; 및상기 검출부에서 획득한 영상을 수신하여, 상기 시편의 삼차원 박막 구조를 분석하는 컴퓨터;를 포함하는 대면적 실시간 타원 계측 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국생산기술연구원 신성장동력장비경쟁력강화 (조사분석사업명 : 신성장동력장비경쟁력강화사업) 5층 이상의 다층막 구조분석을 위한 토모그라피 기술 개발