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오염 및 파손 방지 효과가 우수한 실리콘 웨이퍼 제조 장치 및 이를 이용한 실리콘 웨이퍼의 제조 방법(A PRODUCTION DEVICE FOR SILICONE WAFER WITH EXCELLENT INHIBITING CONTAMINANTS AND BREAKAGE, AND METHOD FOR MANUFACTURING USING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2017008596
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 오염 및 파손 방지 효과가 우수한 실리콘 웨이퍼 제조 장치 및 이를 이용한 실리콘 웨이퍼 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 실리콘 웨이퍼 제조 장치는, 실리콘 잉곳을 쏘잉하여 생성된 웨이퍼 표면을 세척하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치에 있어서, 상기 잉곳의 상부 표면에 부착되는 지그; 상기 잉곳과 지그의 맞닿은 면에 부착되되, 상기 잉곳의 길이방향으로 중앙에 홈이 형성되고, 상기 홈의 양쪽에 이격 배치된 빔; 상기 잉곳을 쏘잉하는 와이어 쏘우; 및 상기 웨이퍼 표면에 세척액을 주입하는 제1 및 제2 액상 주입부;을 포함하고, 상기 제1 액상 주입부는 상기 빔의 홈에 구비되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/78 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01)
출원번호/일자 1020150156005 (2015.11.06)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0053804 (2017.05.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장보윤 대한민국 대전광역시 유성구
2 최선호 대한민국 대전광역시 유성구
3 송희은 대한민국 인천광역시 중구
4 김준수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-1084125-90
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 잉곳을 쏘잉하여 생성된 웨이퍼 표면을 세척하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치에 있어서, 상기 잉곳의 상부 표면에 부착되는 지그;상기 잉곳과 지그의 맞닿은 면에 부착되되, 상기 잉곳의 길이방향으로 중앙에 홈이 형성되고, 상기 홈의 양쪽에 이격 배치된 빔; 상기 잉곳을 쏘잉하는 와이어 쏘우; 및상기 웨이퍼 표면에 세척액을 주입하는 제1 액상 주입부 및 제2 액상 주입부;을 포함하고,상기 제1 액상 주입부는 상기 빔의 홈에 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 제2 액상 주입부는 상기 잉곳의 좌측 및 우측에 길이방향으로 각각 더 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 액상 주입부는 와이어 쏘우 하부 영역에 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 세척액은 에틸렌글리콜계 절삭유 및 계면활성제 중 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 액상 주입부는 세척액을 분사하는 노즐을 구비하되, 상기 노즐의 간격 및 개수는 와이어 쏘우의 간격 및 개수와 대응되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 지그와 빔은 제1접착제에 의해 접착되고,상기 빔과 잉곳은 제2접착제에 의해 접착되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 잉곳은 횡단면이 사각형인 태양전지 웨이퍼 제조용 잉곳인 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 제조 장치
8 8
(a) 액상 주입부가 구비된 웨이퍼 제조 장치의 빔 하부 표면에 실리콘 잉곳을 부착하는 단계;(b) 와이어 쏘우를 이용하여 상기 잉곳을 쏘잉하여 웨이퍼를 생성하는 단계;(c) 상기 액상 주입부의 노즐에서 분사되는 세척액을 상기 웨이퍼 표면에 주입하여 상기 웨이퍼 표면을 세척하는 단계; 및(d) 상기 액상 주입부를 웨이퍼 제조 장치로부터 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 (c) 단계의 노즐에서 분사되는 세척액은 1L/min 이하의 제1평균속도로 웨이퍼 표면에 주입되고, 모세관 현상을 제거하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
10 10
제8항에 있어서,상기 (c) 단계의 노즐에서 분사되는 세척액은 50L/min 이하의 제2평균속도로 웨이퍼 표면에 주입되고, 웨이퍼 표면의 잔존하는 미립자 및 오염물을 제거하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국에너지기술연구원 주요사업(구, 기본사업) 50 미크론 초박형 실리콘 태양전지 사업화 미래원천기술 개발