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AZO 박막의 전기전도도 향상방법(A METHOD FOR IMPROVING CONDUCTIVITY OF AZO FILM)

  • 기술번호 : KST2017008619
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 투명전도막 중 특히, AZO 투명전도막에 대한 전기전도도 향상에 대해 좀 더 원리적인 접근에 기인한 후처리 방법을 제안하고자 하는 것이다.상기 목적에 따라 본 발명은, AZO 투명전도막에 자외선을 처리함으로써 전기전도도를 향상시키는 방법을 제공하였다. 또한, 본 발명은, AZO 투명전도막에 수소와 아르곤 혼합기체로 플라즈마를 방전하여 후처리 공정을 실시하여 전기전도도로 향상시키는 방법을 제공하였다. 또한, 본 발명은, AZO 투명전도막에 수소와 아르곤 혼합기체로 플라즈마를 방전하여 처리하고 난 다음 다시 자외선을 조사하는 복합적인 후처리 공정을 제공하였다.
Int. CL H01B 13/00 (2015.12.23) H01B 1/08 (2015.12.23) H01B 5/14 (2015.12.23) H01B 13/016 (2015.12.23) H05B 3/00 (2015.12.23)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020150157073 (2015.11.10)
출원인 군산대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0055028 (2017.05.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.10)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 군산대학교산학협력단 대한민국 전라북도 군산시 대학로 *** (

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권성구 대한민국 대전광역시 유성구
2 이승헌 대한민국 서울특별시 강남구
3 김정삼 대한민국 충청남도 예산군
4 양건우 대한민국 전라북도 군산시
5 조운길 대한민국 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 군산대학교산학협력단 대한민국 전라북도 군산시 대학로 *** (
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-1091520-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0031539-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0165904-65
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0425165-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0532618-74
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0532639-22
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0719856-55
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.11.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1161565-74
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-1161595-33
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0868370-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038912-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153535-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
AZO 투명전도막에 자외선 조사 처리하여 AZO의 댕글링 본드(dangling bond)를 소멸시키고, 챔버 내 압력은 300 내지 500 mTorr, 챔버 내 온도는 상온 내지 100℃ 또는 175 내지 300℃로 하여, 혼합가스 중 수소가스의 비율이 10 내지 30%인 수소와 불활성 가스를 혼합한 혼합 가스 플라즈마로 표면 처리하여, AZO 투명전도막의 전기전도도를 개선하고, AZO 투명전도막 표면에 국지적으로 고온상태를 유발하여 열적 표면결함을 치유하여 면저항 5
2 2
제1항에 있어서, 조사에 사용하는 자외선은 UV A, B, C 또는 UV 오존(Ozone) 램프를 사용하거나, 이들의 조합을 사용하는 것을 특징으로 하는 AZO 투명전도막의 후처리 방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 자외선 처리는 UV 오존 램프 또는 UV B 램프를 이용하여 180nm 내지 350nm 파장 대역을 조사하여 실시하는 것을 특징으로 하는 AZO 투명전도막의 후처리 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 인재양성 및 학연산 네트워크 활성화 고미연분 석탄회의 재활용을 위한 플라즈마 기술 연구