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트랜지스터;네거티브 커패시턴스를 가지는 커패시터; 및상기 트랜지스터와 상기 커패시터를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하고,상기 커패시터는,돌출부를 구비하는 하부 전극;상기 돌출부의 측면에 배치되는 절연막;상기 돌출부 및 상기 절연막을 제외한 상기 하부 전극 상에 배치되는 강유전체층;상기 강유전체층 상에 배치되며 상기 돌출부보다 아래에 위치하는 상부 전극; 및상기 상부 전극 상에 배치되며 상기 상부 전극에 구동 전압을 인가하는 도전층을 포함하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 하부 전극, 상기 상부 전극, 상기 도전층 및 상기 연결부 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 절연막은 SiO2, HfO2, Al2O3 및 high-k 물질을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 강유전체층은 P(VDF-TrFE)[poly(vinylidenefluoride-trifluoroethylene)], PZT(lead zirconate titanate), BTO(barium titanate)를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 트랜지스터를 연결하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 트랜지스터는 박막 트랜지스터(thin film transistor)를 포함하는 것인 반도체 장치
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제7항에 있어서,상기 트랜지스터는,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
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제8항에 있어서,상기 백게이트, 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제8항에 있어서,상기 게이트 절연막은 SiOx, SiNx, Si2N3, HfOx 및 AlOx(단 x는 0보다 크고 4보다 작거나 같은 실수임)를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제8항에 있어서,상기 채널 영역은 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ZnO를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제8항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 백게이트를 연결하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 트랜지스터는,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
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제13항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 백게이트를 연결하는 것인 반도체 장치
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제1항에 있어서,상기 트랜지스터는 상기 커패시터와 평행하게 배치되는 것인 반도체 장치
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복수의 트랜지스터;네거티브 커패시턴스를 가지는 커패시터; 및상기 복수의 트랜지스터와 상기 커패시터를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하고,상기 연결부는 상기 커패시터로부터의 전압을 상기 복수의 트랜지스터 중 적어도 하나로 인가하는 디코딩부를 포함하는 것인 반도체 장치
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삭제
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제16항에 있어서,상기 커패시터는,돌출부를 구비하는 하부 전극;상기 돌출부의 측면에 배치되는 절연막;상기 돌출부 및 상기 절연막을 제외한 상기 하부 전극 상에 배치되는 강유전체층;상기 강유전체층 상에 배치되며 상기 돌출부보다 아래에 위치하는 상부 전극; 및상기 상부 전극 상에 배치되며 상기 상부 전극에 구동 전압을 인가하는 도전층을 포함하는 것인 반도체 장치
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제18항에 있어서,상기 하부 전극, 상기 상부 전극, 상기 도전층 및 상기 연결부 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제18항에 있어서,상기 절연막은 SiO2, HfO2, Al2O3 및 high-k 물질을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제18항에 있어서,상기 강유전체층은 P(VDF-TrFE), PZT, BTO를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제18항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 복수의 트랜지스터를 연결하는 것인 반도체 장치
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제16항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은 박막 트랜지스터를 포함하는 것인 반도체 장치
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제23항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
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제24항에 있어서,상기 백게이트, 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제24항에 있어서,상기 게이트 절연막은 SiOx, SiNx, Si2N3, HfOx 및 AlOx(단 x는 0보다 크고 4보다 작거나 같은 실수임)를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제24항에 있어서,상기 채널 영역은 IGZO, IZO 및 ZnO를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
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제18항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
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제29항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 복수의 트랜지스터 각각의 백게이트를 연결하는 것인 반도체 장치
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제16항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은 상기 커패시터와 평행하게 배치되는 것인 반도체 장치
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