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반도체 장치(SEMICONDUCTOR DEVICE)

  • 기술번호 : KST2017008680
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 네거티브 커패시턴스를 가지는 강유전체 커패시터와 트랜지스터를 연결하는 것을 통하여 트랜지스터의 서브스레숄드 슬로프(subthreshold slope, SS) 특성을 개선하고 스티프 스위칭(steep switching)을 구현할 수 있는 반도체 장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면 트랜지스터; 네거티브 커패시턴스를 가지는 커패시터; 및 상기 트랜지스터와 상기 커패시터를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하는 반도체 장치가 제공된다.
Int. CL H01L 27/108 (2016.01.06) H01L 21/28 (2016.01.06)
CPC H01L 27/10855(2013.01) H01L 27/10855(2013.01) H01L 27/10855(2013.01)
출원번호/일자 1020150164373 (2015.11.24)
출원인 서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1743987-0000 (2017.05.31)
공개번호/일자 10-2017-0060247 (2017.06.01) 문서열기
공고번호/일자 (20170607) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.24)
심사청구항수 28

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울시립대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신창환 대한민국 서울특별시 동대문구
2 조재성 대한민국 서울특별시 동대문구
3 조가람 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이창범 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **,*층 (서초동, 헤라피스빌딩)(제이엠인터내셔널)
2 박준용 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **(역삼동, 대우디오빌플러스) ***호(새론국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자 주식회사 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-1143606-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.17 수리 (Accepted) 4-1-2017-5009116-18
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0006833-99
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0285920-77
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0402486-73
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0402485-27
8 등록결정서
Decision to grant
2017.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0377253-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5191631-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
트랜지스터;네거티브 커패시턴스를 가지는 커패시터; 및상기 트랜지스터와 상기 커패시터를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하고,상기 커패시터는,돌출부를 구비하는 하부 전극;상기 돌출부의 측면에 배치되는 절연막;상기 돌출부 및 상기 절연막을 제외한 상기 하부 전극 상에 배치되는 강유전체층;상기 강유전체층 상에 배치되며 상기 돌출부보다 아래에 위치하는 상부 전극; 및상기 상부 전극 상에 배치되며 상기 상부 전극에 구동 전압을 인가하는 도전층을 포함하는 것인 반도체 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 하부 전극, 상기 상부 전극, 상기 도전층 및 상기 연결부 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 절연막은 SiO2, HfO2, Al2O3 및 high-k 물질을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 강유전체층은 P(VDF-TrFE)[poly(vinylidenefluoride-trifluoroethylene)], PZT(lead zirconate titanate), BTO(barium titanate)를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 트랜지스터를 연결하는 것인 반도체 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 트랜지스터는 박막 트랜지스터(thin film transistor)를 포함하는 것인 반도체 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 트랜지스터는,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
9 9
제8항에 있어서,상기 백게이트, 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
10 10
제8항에 있어서,상기 게이트 절연막은 SiOx, SiNx, Si2N3, HfOx 및 AlOx(단 x는 0보다 크고 4보다 작거나 같은 실수임)를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
11 11
제8항에 있어서,상기 채널 영역은 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ZnO를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
12 12
제8항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 백게이트를 연결하는 것인 반도체 장치
13 13
제1항에 있어서,상기 트랜지스터는,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
14 14
제13항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 백게이트를 연결하는 것인 반도체 장치
15 15
제1항에 있어서,상기 트랜지스터는 상기 커패시터와 평행하게 배치되는 것인 반도체 장치
16 16
복수의 트랜지스터;네거티브 커패시턴스를 가지는 커패시터; 및상기 복수의 트랜지스터와 상기 커패시터를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하고,상기 연결부는 상기 커패시터로부터의 전압을 상기 복수의 트랜지스터 중 적어도 하나로 인가하는 디코딩부를 포함하는 것인 반도체 장치
17 17
삭제
18 18
제16항에 있어서,상기 커패시터는,돌출부를 구비하는 하부 전극;상기 돌출부의 측면에 배치되는 절연막;상기 돌출부 및 상기 절연막을 제외한 상기 하부 전극 상에 배치되는 강유전체층;상기 강유전체층 상에 배치되며 상기 돌출부보다 아래에 위치하는 상부 전극; 및상기 상부 전극 상에 배치되며 상기 상부 전극에 구동 전압을 인가하는 도전층을 포함하는 것인 반도체 장치
19 19
제18항에 있어서,상기 하부 전극, 상기 상부 전극, 상기 도전층 및 상기 연결부 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
20 20
제18항에 있어서,상기 절연막은 SiO2, HfO2, Al2O3 및 high-k 물질을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
21 21
제18항에 있어서,상기 강유전체층은 P(VDF-TrFE), PZT, BTO를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
22 22
제18항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 복수의 트랜지스터를 연결하는 것인 반도체 장치
23 23
제16항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은 박막 트랜지스터를 포함하는 것인 반도체 장치
24 24
제23항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
25 25
제24항에 있어서,상기 백게이트, 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역 각각은 TiN, TaN, Pt, Au, Al 및 폴리실리콘을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
26 26
제24항에 있어서,상기 게이트 절연막은 SiOx, SiNx, Si2N3, HfOx 및 AlOx(단 x는 0보다 크고 4보다 작거나 같은 실수임)를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
27 27
제24항에 있어서,상기 채널 영역은 IGZO, IZO 및 ZnO를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 재료를 포함하는 것인 반도체 장치
28 28
삭제
29 29
제18항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은,백게이트;상기 백게이트를 덮는 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 배치되는 채널 영역; 및상기 채널 영역의 양 측면에 배치되는 소스 영역 및 드레인 영역을 포함하는 것인 반도체 장치
30 30
제29항에 있어서,상기 연결부는 상기 돌출부와 상기 복수의 트랜지스터 각각의 백게이트를 연결하는 것인 반도체 장치
31 31
제16항에 있어서,상기 복수의 트랜지스터 각각은 상기 커패시터와 평행하게 배치되는 것인 반도체 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울시립대학교 중견연구자지원 위상학적 절연체 및 강유전체를 이용한 10nm 이하급 CMOS Extension 기술 연구